马森
- 作品数：23 被引量：26H指数：3
- 供职机构：北京交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>
- 一种可调谐拍波线扫描的表面三维干涉测量系统
- 本发明公开了一种可调谐拍波线扫描的大量程高分辨率表面三维干涉测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、两个光纤隔离器、三个光阑、三个自准直镜、两个衍射光栅、七个平柱透镜、两个线阵光电耦合器、3dB-耦合器、分光...
- 谢芳马森刘义秦李昭莹
- 基于光线扫描的纳米表面三维干涉测量系统
- 本文提出了一个新的基于光线扫描的微纳表面三维干涉测量系统。色散光栅将宽带光源发出的宽谱光色散成扇形光片，将其准直成平行光片后利用此平行光片扫描被测表面进行测量。不同波长的光由被测表面上不同被测点返回，与参考光干涉后，由线...
- 马森
- 关键词：数据处理
- 文献传递
- 基于光纤双波干涉的台阶高度在线高精度测量研究被引量：2
- 2014年
- 提出一种基于双波干涉的台阶高度光纤在线干涉测量系统。利用光纤光栅(FBG)只反射布拉格波长的特性,使两个波长同时并独立地工作于同一个光纤干涉测量系统中,每个波长的干涉信号分别并同时被探测,将测量量程扩大为半合成波波长。利用反馈电路补偿环境干扰对光纤干涉测量系统的影响,使光纤干涉测量系统适合于在线测量。本光纤干涉测量系统可测量的最大台阶高度达1mm,测量分辨率小于1nm。
- 马森谢芳王韵致陈亮
- 关键词：光纤测量
- 一种基于光纤复合干涉的高精度远程绝对位移测量系统
- 本发明公开了一种基于光纤复合干涉的高精度远程绝对位移测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、光纤隔离器、三个3dB-耦合器、四个自准直镜、两个光纤光栅、四个反射镜、两个探测器、环行器、一维平移台、压电陶瓷、反...
- 谢芳马森刘义秦李昭莹
- 一种基于波数分辨的低相干干涉绝对距离测量系统
- 本发明公开了一种基于波数分辨的低相干干涉绝对距离测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、光纤隔离器、3dB-耦合器、自准直镜、光纤光栅、测量镜、参考镜、探测器、环行器、光栅、透镜、线阵探测器、压电陶瓷、反馈控...
- 谢芳赵可强马森王韵致
- 高稳定大量程复合光纤干涉位移测量系统研究被引量：3
- 2012年
- 为了使位移测量系统达到大量程、高分辨率,采用复合光纤干涉的方法,进行了理论分析和实验验证。利用光纤光栅作为反射镜,构成两个干涉光路几乎共路的光纤迈克尔逊干涉仪。其中一个光纤迈克尔逊干涉仪通过反馈控制补偿环境干扰对测量系统的影响,使测量系统适合在线测量;另一个干涉仪用于完成测量工作。两个不同波长的光同时作用于完成测量的干涉仪中,测量量程由两个波长的合成波干涉信号确定,使测量量程大于1mm;测量分辨率由其中一个单波长干涉信号确定,测量分辨率小于1nm。结果表明,这种基于复合光纤干涉仪的位移测量系统可以实现大量程、高稳定的位移在线测量。
- 李恒鹤马森谢芳
- 关键词：光纤反馈控制
- 光线扫描超分辨率精密表面干涉在线测量系统研究
- 随着先进制造、航空航天、光学、生物医学、材料、微电子、微机电系统等领域的发展，出现了很多精密和超精密表面。这些精密和超精密表面在很大程度上决定了产品的使用性能，对这些表面进行高精度测量对产品的设计、制造及使用具有重要意义...
- 马森
- 关键词：分辨率
- 一种基于光谱色散线扫描的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统
- 本发明公开了一种基于光谱色散线扫描的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统，属于光学测量领域。所述系统由宽带光源，隔离器，光纤及光纤接头，柱面及球面透镜，光阑，光栅，一维振幅型光瞳滤波器，分光镜，反射镜，法布里‑珀罗滤波器...
- 谢芳王韵致马森赵可强董连连
- 文献传递
- 基于复合干涉的光纤低相干干涉传感系统研究被引量：3
- 2012年
- 研究一种能够进行远程及绝对测量的光纤低相干干涉传感系统。该系统包含两个光纤干涉仪,其中一个光纤干涉仪置于被测场中感应被测量的变化,可实现远程测量;另一个光纤干涉仪解调被测量的值。运用波分复用技术,使用于解调的光纤干涉仪同时工作于低相干干涉和高相干干涉状态。用低相干干涉信号决定被测量的幅值,对被测量实现绝对测量,并使测量量程不受波长限制;同时,用高相干干涉信号对被测量进行高精度的测量。系统的测量量程为6mm,测量分辨率小于1nm,位移实验结果的线性相关系数R为0.99。
- 李昭莹谢芳马森刘义秦
- 关键词：光纤光学光纤传感远程测量绝对测量
- 一种基于光谱色散全场的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统
- 本发明公开了一种基于光谱色散全场的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统，属于光学测量领域。所述系统由宽带光源，隔离器，光纤及光纤接头，球面及柱面透镜，分光镜，直角棱镜，光阑，光栅，反射镜，面阵探测器，光电探测器，法布里-...
- 谢芳王韵致马森赵可强董连连
- 文献传递
