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马涛
作品数:
5
被引量:18
H指数:1
供职机构:
华南师范大学
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发文基金:
广东省重点攻关基金
广东省自然科学基金
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相关领域:
理学
文化科学
机械工程
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合作作者
陈俊芳
华南师范大学物理与电信工程学院
吴先球
华南师范大学物理与电信工程学院
符斯列
华南师范大学物理与电信工程学院
樊双莉
华南师范大学物理与电信工程学院
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微电子
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微电子学
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离子密度
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骨骼肌
机构
5篇
华南师范大学
作者
5篇
马涛
3篇
樊双莉
3篇
符斯列
3篇
吴先球
3篇
陈俊芳
传媒
1篇
华南师范大学...
年份
1篇
2013
1篇
2006
1篇
2005
1篇
2004
1篇
2003
共
5
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增强有机金属化学气相沉积薄膜的装置及方法
一种增强有机金属化学气相沉积薄膜的装置,由磁控管微波发生源、波导管、磁场产生部件、耦合窗、共振腔、沉膜室、样品台、样品台加热部件、样品台偏压部件、真空装置、配气装置、工作气体给气管、反应气体给气管和目视窗共同连接构成。该...
陈俊芳
吴先球
符斯列
樊双莉
马涛
文献传递
增强有机金属化学气相沉积薄膜的装置及其沉积方法
增强有机金属化学气相沉积薄膜的装置,由磁控管微波发生源、波导管、磁场产生部件、耦合窗、共振腔、沉膜室、样品台、样品台加热部件、样品台偏压部件、真空装置、配气装置、工作气体给气管、反应气体给气管和目视窗共同连接构成,磁场产...
陈俊芳
吴先球
符斯列
樊双莉
马涛
文献传递
ECR等离子体的光发射谱研究及在材料表面改性中的应用
随着低温等离子技术的不断发展,电子回旋共振(ElectronCyclotronResonance,简称ECR)等离子体技术也得到广泛关注,应用于薄膜制备、刻蚀、表面改性等工艺中。 本论文利用光发射谱(Optic...
马涛
关键词:
ECR等离子体
表面改性
微电子学
固体电子学
材料表面改性
文献传递
等离子体参数诊断及其特性研究
被引量:17
2004年
利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145A、p=0 1Pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游I区的等离子体受磁场梯度影响、按磁场位形扩散且等离子体分布不均匀;下游II区的等离子体具有良好的径向分布均匀性.下游Ⅱ区z=30cm、直径为16cm区域内等离子体密度均匀性达到了96 3%.这种大面积均匀分布的等离子体在等离子体加工工艺中具有广泛的应用.
符斯列
陈俊芳
吴先球
赵文峰
樊双莉
马涛
关键词:
电子温度
离子密度
不同训练方案对大鼠骨骼肌部分能量代谢酶活性的影响
研究目的: 能量代谢是机体进行运动训练的基础,长期不同的运动训练会使不同的能量代谢系统产生相应的适应,这些适应在体外表现为不同运动能力的提高,在体内表现为一些生理生化指标的变化,其中骨骼肌代谢酶活性的变化是探讨训练...
马涛
关键词:
代谢酶
动物模型
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