黄闯
- 作品数：15 被引量：10H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会基础研究重点项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术化学工程更多>>
- 面向未来需求的细间距电化学沉积金凸点工艺(英文)被引量：1
- 2008年
- 研究了电化学沉积金凸点的晶圆级直径和厚度分布及表面粗糙度随电镀电流密度和镀槽温度的变化。电化学沉积的金凸点在整个晶圆上的各个位置和方向上直径都增大了。当在40℃下电镀时,金凸点的直径分布与光刻胶的分布规律相似;而电镀温度为60℃时,金凸点的直径分布更倾向于对称分布。其次,当镀槽温度从40℃提高到60℃或者电镀电流密度从8 mA/cm2降低到3mA/cm2时,金凸点的厚度分布更加均匀。再次,60℃下电镀的金凸点表面粗糙度为130到160纳米并与电镀电流密度无关,但是在40℃下电镀时,表面粗糙度随着电镀电流密度的增加从82 nm急剧增加到1572 nm。
- 靖向萌陈迪黄闯陈翔刘景全Gunter Engelmann
- 关键词：金凸点电镀晶圆级封装
- 带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器
- 一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：支撑基座、U型SU－8驱动层、U型金属加热层、热臂单元、冷臂单元、延伸臂。U型SU－8驱动层包括SU－8热臂、SU－8冷臂、SU－8柔性...
- 丁桂甫吴义伯张丛春黄闯张小波
- 文献传递
- 基于柔性基底的生物微电极阵列的制备方法
- 本发明涉及一种基于柔性基底的生物微电极阵列的制备方法，采用二次光刻和电铸工艺，在基片表面依次涂覆聚二甲基硅氧烷牺牲层和聚酰亚胺酸，热固化形成聚酰亚胺柔性基底，在柔性基底上通过溅射、光刻和电铸工艺制备金属电路，然后刻蚀金属...
- 陈迪刘舒维黄闯陈翔刘景全朱军
- 文献传递
- 基于柔性基底的生物微电极阵列的制备方法
- 本发明涉及一种基于柔性基底的生物微电极阵列的制备方法，采用二次光刻和电铸工艺，在基片表面依次涂覆聚二甲基硅氧烷牺牲层和聚酰亚胺酸，热固化形成聚酰亚胺柔性基底，在柔性基底上通过溅射、光刻和电铸工艺制备金属电路，然后刻蚀金属...
- 陈迪刘舒维黄闯陈翔刘景全朱军
- 文献传递
- 带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器
- 一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：支撑基座、U型SU-8驱动层、U型金属加热层、热臂单元、冷臂单元、延伸臂。U型SU-8驱动层包括SU-8热臂、SU-8冷臂、SU-8柔性...
- 丁桂甫吴义伯张丛春黄闯张小波
- 文献传递
- 一种新型的电热驱动MEMS微继电器的研制被引量：1
- 2009年
- 设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械(MEMS)继电器,并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺,利用Cu作为牺牲层材料,Ni作为微继电器的结构材料。微继电器是基于杠杆放大原理设计的,因此能够获得较大的行程;驱动臂采用"U"型梁设计,能够在不增加功耗的条件下,获得较大的驱动力。并采用Ansys10.0有限元软件对微继电器进行了模拟分析。测试结果表明,这种微型继电器具有体积小、驱动电压低、切换速度快等优点。
- 胡志军陈迪黄闯陈翔朱军刘景全
- 关键词：MEMS微继电器电热驱动有限元分析
- 基于热驱动放大的串联射频微电子机械开关及其制备方法
- 一种射频微机电系统技术领域的技术领域的基于热驱动放大的串联射频微电子机械开关，包括：热驱动臂、放大臂、接触块、隔离块、放大臂固定端和热驱动臂固定端，其中：两根热驱动臂相互平行且一端与放大臂的一端固定连接，两根热驱动臂的另...
- 陈迪黄闯胡志军陈翔朱军
- 基于左右手复合传输线和MEMS的新型微波器件研究
- 在分析左右手复合传输线结构特性和微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技术基础上,设计分析了耦合蛇形线结构和横向热驱动MEMS开关。运用这两种设计,本论文主要进行了新型带...
- 黄闯
- 关键词：微机电系统平衡器滤波器
- 文献传递
- 基于热驱动放大的串联射频微电子机械开关及其制备方法
- 一种射频微机电系统技术领域的技术领域的基于热驱动放大的串联射频微电子机械开关，包括：热驱动臂、放大臂、接触块、隔离块、放大臂固定端和热驱动臂固定端，其中：两根热驱动臂相互平行且一端与放大臂的一端固定连接，两根热驱动臂的另...
- 陈迪黄闯胡志军陈翔朱军
- 文献传递
- 基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究被引量：3
- 2010年
- 设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列,用于植入式人造视网膜应用。采用非硅MEMS技术,在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性,电极高度为80μm的生物刺激电极阵列,通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放。实验中器件以聚酰亚胺和PDMS封装,电极柱和焊盘均镀金,从而提高电极的生物相容性。采用三电极法对微电极进行了电化学性能测试,在10-1～105Hz频率范围内,其阻抗为1.5～0.3 kΩ。制造出的器件尺寸小,质量轻,可靠性高,机械柔性好,符合生物电刺激要求。
- 周然陈迪黄闯陈翔刘景全朱军
- 关键词：视觉假体MEMS技术
