刘杰
- 作品数：5 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测被引量：2
- 1994年
- 叙述了发射光谱法的终点监测原理，锁相放大技术在ＰＩＥ和ＲＩＥ工艺过程监测中的应用，并详尽地讨论了开关电容滤波器的原理，而且在电路设计中采用了跟踪开关电容滤波器的锁相放大器设计，从而提高了系统的动态范围，最后说明了该系统用于实际生产线所获得监测结果。
- 刘杰
- 关键词：锁相放大大规模集成电路离子刻蚀
- 单片机式光电编码器的调零电路
- 本实用新型属于自动化测量技术领域,涉及对光电编码器调零结构的改进。它由开关、电阻、电源、程序存贮器,单片机系统组成。本发明克服了机械调零结构复杂,定位不稳定等缺点。使用电子调零电路,控制编码器与测量系统的零位差值,其结构...
- 曹振夫刘杰蔡秋云王淑杰
- 文献传递
- 半导体激光器减反射膜的涂镀
- 1996年
- 通过对GaAlAs激光器谐振腔前腔面涂镀SiO工艺,分析涂层特性,透射率由无膜时的69%提高到92%,提高激光输出功率和工作寿命。
- 杨晓妍刘杰
- 关键词：激光器减反射膜谐振腔半导体激光器
- 一种光电编码器的电子调零电路
- 本实用新型一种光电编码器的电子调零电路属于自动化测量技术领域,涉及对光电编码器调零结构的改进。它由开关、电阻、电源,计算电路数据处理系统组成。本实用新型克服了机械调零结构复杂,定位不稳定等缺点。使用电子调零电路,控制编码...
- 曹振夫刘杰蔡秋云王淑杰
- 文献传递
- GaAs半导体激光器腔面高反射涂层的研究被引量：5
- 1997年
- 通过对ＧａＡｓ激光器谐振腔后腔面蒸镀ＳｉＯ、Ａｕ高反射膜工艺过程，分析涂层特性。反射率由无膜时的３２％，提高到９４％以上，保护了器件端面，降低阈值电流，提高激光输出功率和工作寿命。
- 杨晓妍刘杰
- 关键词：激光器谐振腔高反射膜砷化镓半导体激光器
