吴旭明
- 作品数:21 被引量:26H指数:3
- 供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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- 基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器被引量:1
- 2006年
- 采用表面微机械技术制作了一种1 310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器。该滤波器的通光孔直径约为70μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm。并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响。
- 侯识华孙捷毛容伟吴旭明马骁宇谭满清陈良惠
- 关键词:可调谐滤波器分布布拉格反射镜FABRY-PEROT
- 用有限元方法分析Si/GaAs的键合热应力(英文)
- 2006年
- 在考虑材料热膨胀系数随温度变化后,采用有限元方法结合ANSYS软件对Si/GaAs键合热应力进行了分析,研究了普通应力、轴向应力和剪切力的分布云图和沿界面的分布.同时提出了新的键合结构以减小热应力的影响,计算结果证明了该结构的有效性.
- 何国荣杨国华郑婉华吴旭明王小东曹玉莲王青陈良惠
- 关键词:键合热应力有限元分析
- 集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器及制作方法
- 一种集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器,包括:一衬底;一下布拉格反射镜制作在衬底上;一下限制层制作在下布拉格反射镜上;一下波导层制作在下限制层上,该下波导层是带隙波长为1.2微米的铟镓砷磷材料;一有源区制作在下波导层...
- 吴旭明王小东谭满清
- 文献传递
- 双源电子束蒸发提高光学薄膜致密性的工艺研究被引量:2
- 2007年
- 采用双源电子束蒸发的方法,在K9玻璃基片上蒸镀Si和SiO2得到的混合膜层,折射率不仅可调,而且比Si膜要高。用原子力显微镜(AFM)分别对单纯镀的Si膜与双源电子束蒸发镀的Si/SiO2混合膜层的表面形貌进行了观测,结果表明,前者表面疏松,有明显的孔洞结构;后者膜层表面细密。采用双源蒸发的成膜理论,对该方法提高膜层致密性的原因进行了探讨。
- 赵妙谭满清周代兵吴旭明王晓东
- 关键词:致密性折射率
- 砷化镓/空气型可调谐滤波器及制作方法
- 一种砷化镓/空气型可调谐滤波器,其特征在于,包括:一衬底,该衬底为砷化镓衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在衬底上;一下分布布拉格反射镜,该下布拉格反射镜制作在缓冲层上,是滤波器的下反射镜;一空气腔,该空气腔制作在下布拉格反射...
- 吴旭明王小东谭满清
- 文献传递
- InGaAsP/InGaP/AlGaAs大光学腔量子阱激光器的优化
- 2006年
- 本文对808nmInGaAsP/InGaP/AlGaAs材料的大光学腔结构激光器进行了理论优化.为确保激光器是单横模激射,我们使用传递矩阵的方法,分别计算了限制层和欧姆接触层厚度对TE2和TE0模式损耗的影响,对上下限制层和欧姆接触层的厚度进行了优化,其优化后的厚度分别为0·8,0·6和0·11μm.高折射率的欧姆接触层被低折射率的限制层和金属层包围形成了无源的次级波导,泄漏波在次级波导中形成了寄生模式.欧姆接触层厚度对模式损耗的影响是周期性的,当欧姆接触层厚度为该模式的λ1/4时发生第一次共振,发生共振的间隔为其垂直注入的泄漏波波长λ1的一半.
- 曹玉莲李慧何国荣王小东王青吴旭明宋国峰陈良惠
- 键合方法制备长波长面发射的实验和分析被引量:5
- 2007年
- 通过疏水键合方法实现了InGaAsP/InP有源区与GaAs/AlAs DBR的单面和双面键合,并通过SEM,I-V曲线和反射谱、光致发光谱等手段研究了GaAs/InP键合界面的机械、光学和电学性质,良好的界面性质为使用键合技术制备长波长面发射激光器提供了可能性.
- 何国荣郑婉华渠红伟杨国华王青吴旭明曹玉莲陈良惠
- 关键词:键合面发射激光器光致发光谱
- 长波长垂直腔面发射激光器的结构和制作方法
- 一种长波长垂直腔面发射激光器的结构,包括:一衬底,该衬底为N型InP衬底;一缓冲层制作在衬底上;一下布拉格反射镜制作在缓冲层上,该下布拉格反射镜用于反射激光腔内的光来形成激光振荡;一有源区,该有源区制作在下布拉格反射镜上...
- 王小东吴旭明谭满清
- 文献传递
- 集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器及制作方法
- 一种集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器,包括:一衬底;一下布拉格反射镜制作在衬底上;一下限制层制作在下布拉格反射镜上;一下波导层制作在下限制层上,该下波导层是带隙波长为1.2微米的铟镓砷磷材料;一有源区制作在下波导层...
- 吴旭明王小东谭满清
- 文献传递
- 长波长微机械可调谐滤波器的结构和制作方法
- 一种长波长微机械可调谐滤波器的结构,包括:一n型砷化镓衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在衬底上;一下布拉格反射镜,该下布拉格反射镜制作在缓冲层上,是滤波器的下反射镜;一n型欧姆接触层,该n型欧姆接触层制作在下布拉格反射镜上,...
- 吴旭明王小东谭满清
- 文献传递