吴时彬
- 作品数:165 被引量:391H指数:12
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术被引量:12
- 2012年
- 提出了使用三坐标测量机(CMM)对离轴非球面镜进行测量的方法。通过CMM对离轴非球面镜镜面进行自动测量,获得实际面形的三维坐标数据,并与理论离轴非球面镜模型进行分析比较,得到实际镜面的面形误差值和均方根值;依据CMM的测量结果,完成了对离轴非球面镜精磨阶段的加工,解决了目前离轴非球面镜精磨阶段难于检测,以至于无法加工的问题。随着离轴非球面镜顺利进入抛光阶段,使用CMM实现了离轴非球面镜精磨检测与抛光检测的无缝对接。
- 林长青景洪伟匡龙吴时彬曹学东李杰
- 关键词:三坐标测量机面形误差精磨
- 熔石英玻璃材料测试用折射液配制技术研究被引量:2
- 2012年
- 为了对熔石英光学玻璃应力及光学均匀性进行测试,提出一种测试用高精度折射液配制方法。根据分子结构定量关系及组分的摩尔折光度定量可加的原理,推导了折射液配比公式并制定了折射液的配比工艺;分析了折射液的折射率随测试温度和测试波长不同的变化规律,并进行了实验验证;最后分析了折射液精度对测试结果的影响。通过上述方法在实验室环境配制出与熔石英折射率匹配精度为±2×10-5的折射液;通过对粗磨光学玻璃透射比实验表明,采用该方法配制的折射液对粗磨光学玻璃在450~700nm光谱范围内透射比从低于20%提高到97%以上;利用该方法和选用的成分配制的折射液具有毒性小、挥发性小、无色无味、长时间保存折射率保持性好的优点,可以很好地用于熔石英光学玻璃材料特性测试。
- 胡明鹏吴时彬龚秀明杨伟景洪伟
- 关键词:光学均匀性应力双折射熔石英
- 微结构薄膜望远镜研究进展分析被引量:9
- 2017年
- 微结构薄膜望远镜通过表面微纳结构调制光波相位和传播方向,具有轻量化、公差容限大、易于折叠展开的特点,因此成为大口径轻量化空间光学成像技术中的颠覆性技术。本文通过对国内外微纳薄膜望远镜研究进展的调研和分析,概括了薄膜望远镜研制的关键技术和主要技术途径,重点分析了薄膜材料制备、微结构类型研究、系统光学设计理论等内容。微纳薄膜望远镜研制涉及材料、空间环境工程、微纳加工工艺、精密机械和二元光学等众多交叉学科,随着工程化程度要求的提高,会出现新的技术问题,而随着问题的解决很可能获得具有影响力的科技成果。
- 杨伟吴时彬汪利华范斌罗先刚杨虎
- 关键词:微结构高分辨成像
- 大型菲涅耳透镜的设计和制造被引量:16
- 2001年
- 介绍一种大口径六环组合光学玻璃大型菲涅耳透镜的光学设计原理、整体工艺方案、各个球面环带的工艺计算和加工方法 ;讨论了大型菲涅耳透镜的光学胶合以及整体扇型切割成型方法 ;给出了研制成功大型菲涅耳透镜的光学检测结果。
- 杨力阴旭陈强伍凡吴时彬刘云喜高平起许全益
- 关键词:光学玻璃
- 大口径非球面精磨表面形状检测技术研究被引量:24
- 2001年
- 介绍了一种大相对口径非球面精磨阶段面形的测量方法原理及实现其功能的软件设计。利用机械接触式装置 ,通过长导轨及其光栅探头的高度变化来直接测量非球面的矢高 ,并把所测得的三维数据传输给计算机。经数据修正和预处理 ,通过MATLAB软件计算得到整个镜子的面形特征参数。其结果用来指导大口径非球面的精磨加工。
- 唐健冠伍凡吴时彬
- 关键词:ZERNIKE多项式最小二乘法面形测量
- 单晶硅镜面超光滑表面工艺技术研究被引量:11
- 2003年
- 用古典的沥青盘抛光技术,通过对超光滑抛光时所使用磨料的选取、沥青抛光盘的软硬和 厚度的合理应用、抛光温度的控制等工艺参数的优化,以f220mm内的单晶硅进行了超光滑表面抛光工艺试验。试验结果,单晶硅表面粗糙度RMS值达0.37nm,平面面形误差PV小于l/15,且加工工艺技术稳定可靠。
- 徐清兰伍凡吴时彬王家金雷柏平兰秀清张晶
- 关键词:抛光磨料单晶硅
- 一种电场分布可调的低温等离子体发生装置
- 本发明提供了一种电场分布可调的低温等离子体发生装置,包括上接地板、可升降阵列电极、下接地板、接地板支撑机构、阵列电极固定器、阵列电极升降柱和阵列电极柔性电缆。所述的上接地板和下接地板通过接地板支撑机构连接并整体调节其间距...
- 高国涵罗倩邵俊铭吴湘范斌杜俊峰雷柏平边疆吴时彬杨虎
- 文献传递
- 一种基于三维光刻胶掩膜快速修正光学基底均匀性的方法
- 本发明提供了一种基于三维光刻胶掩膜快速修正光学基底均匀性的方法。包括:三维光刻胶掩膜制作和均匀刻蚀减薄。工作流程为第一步首先进行光学基底初始均匀性测试,然后在光学基底表面完成光刻胶涂层厚度分布测试,接着进行光刻去除量分布...
- 高国涵李志炜雷柏平杜俊峰边疆吴时彬汪利华石恒
- 文献传递
- 用于圆形口径光学元件的功率谱密度检测被引量:3
- 2006年
- 光学元件加工质量的检测和评价是保证整个光学系统安全、正常运行的关键.波前功率谱密度(Power Spectral Density,PSD)能给出光学表面的空间频谱分布,反映高精度光学元件加工质量的特殊要求。在总结现有功率谱密度指标基础上,提出由于圆形口径的旋转对称性,可以采用径向波前功率谱密度来表征圆形口径光学元件波前频谱分布特征的方法,并给出了采用三坐标仪作为测试仪器测量圆形口径光学元件的波前功率谱密度时相应的数值计算方法。
- 陈伟姚汉民伍凡朋汉林吴时彬
- 关键词:功率谱密度光学检测空间频率
- 一种不规则表面光学玻璃材料应力检测装置及方法
- 本发明是一种不规则表面光学玻璃材料应力检测装置,其中包括光源、折射液、被测玻璃、透射窗口、盛装容器、密封塞、探头和支架,光源输出测试光;被测玻璃置于折射液中,使测试光对准探头;透射窗口呈十字形分布,沿测试光的光轴方向安装...
- 吴时彬林昭恒杨伟胡明鹏
- 文献传递