吴雪忠
- 作品数:2 被引量:8H指数:1
- 供职机构:华南师范大学物理与电信工程学院更多>>
- 发文基金:广东省工业攻关项目更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 椭偏测厚仪数据处理软件设计
- 以C语言为开发工具,成功设计和编制一套椭偏测厚仪数据处理软件,它具有求解透明膜厚度、折射率和金属复折射率以及绘制(n,d)~(Ψ,?)列线图的功能。可以配合常规椭偏仪使用,扩展测量膜厚范围,提高测量和求解精度,增加实验内...
- 黄佐华吴雪忠何振江杨冠玲
- 关键词:椭偏仪数据处理
- 文献传递
- 椭圆偏振法数据处理软件设计被引量:8
- 2004年
- 以C++Builder6.0为开发工具,成功设计和编制了一套椭偏法数据处理软件,它具有求解透明膜厚度、折射率和金属复折射率以及绘制(n,d)~(Ψ,Δ)列线图的功能,求解膜厚和折射率精度分别达到0.01nm和0.001.实验表明该软件的求解结果是准确和可靠的.
- 黄佐华吴雪忠何振江杨冠玲
- 关键词:椭偏仪数据处理