唐才学
- 作品数：42 被引量：39H指数：4
- 供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中国工程物理研究院科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 平面抛光盘表面形状误差的检测装置
- 本实用新型提供一种检测精度较高的抛光盘表面形状误差的检测装置。平面抛光盘表面形状误差的检测装置，设置有支撑座，在所述支撑座上端设置有横梁，在所述横梁上设置有导轨和电机，所述电机包括定子和动子，移动块通过滑块设置在所述动子...
- 廖德锋赵世杰谢瑞清陈贤华王健许乔钟波袁志刚邓文辉唐才学徐曦周炼
- 文献传递
- 大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法
- 本发明提供一种高精度的大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法。大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀方法，先进行光学元件侧边平行于水平坐标轴的调节，然后对光学元件表面沿中心轴线对称坐标位置的Z向进行调平，最后...
- 金会良张清华邓文辉唐才学徐曦袁志刚侯晶陈贤华
- 文献传递
- 全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法
- 本发明提供一种全口径平面抛光中检测精度高的抛光盘表面形状的检测方法。全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法，该方法包括以下步骤：1）确定移动块运动导轨的直线度误差；2）结合抛光盘的旋转运动和移动块的直线运动测得抛光盘表...
- 廖德锋谢瑞清赵世杰陈贤华王健许乔钟波袁志刚邓文辉唐才学徐曦周炼
- 文献传递
- 光学元件精密加工中的磁流变抛光技术工艺参数被引量：11
- 2013年
- 为了充分掌握磁流变抛光中磁场强度、浸入深度、抛光轮转速、磁流变液水分含量等工艺参数对抛光结果的影响规律,以期提高元件的面形精度和表面的质量,在研究了磁流变抛光材料的去除数学模型的基础上,结合实验室的PKC100-P1型抛光设备,对上述的关键工艺参数分别进行了研究,设置了一系列的实验参数,进行了详细的实验探索,分析了单因素条件下材料的去除量以及元件表面质量同关键工艺参数的内在联系,得出了相应影响关系曲线。从关系曲线表明:工艺参数对抛光斑的去除效率以及被加工元件表面质量存在着明显的影响规律,掌握这些影响关系就能用于分析和优化磁流变加工的结果,为高精度光学表面的加工提供可靠的保障,同时实验的结果也很好地验证了磁流变抛光材料去除理论的正确性。
- 秦北志杨李茗朱日宏侯晶袁志刚郑楠唐才学
- 关键词：磁流变抛光去除函数磁流变液
- 大口径非球面元件磁流变加工稳定性研究被引量：2
- 2014年
- 重点分析了非球面元件磁流变加工的动态稳定性影响因素。设计了非球面元件的自动装调定位系统,提高了装调精度。采用一种拟合光栅式加工的新方法来验证其效果,通过测量元件表面形成的直线沟壑深度、宽度波动比例来评价去除的动态稳定性。在400 mm×400 mm口径的方形非球面元件上进行面形收敛验证实验,波长λ为632.8 nm时,加工后的透射波前误差PV值达到0.331λ,低频透射波前梯度误差GRMS值达到了0.008λ/cm。
- 袁志刚唐才学陈贤华侯晶郑楠邓文辉
- 关键词：磁流变非球面面形精度动态稳定性
- 连续位相板磁流变加工中高精度边缘延拓技术被引量：1
- 2019年
- 为了提高磁流变加工连续位相板边缘加工质量,实现元件全口径抛光,必须对元件原始误差面形进行边缘延拓,针对现有边缘延拓算法的不足,提出了采用改进的二维Gerchberg带宽受限延拓算法实现连续位相板元件面形频域匹配的边缘延拓。该方法首先采用复调制频谱放大技术Zoom FFT对元件原始误差面形进行频谱分析,计算其高低截止频率;然后采用改进后的二维Gerchberg带宽受限延拓算法进行迭代计算,在原始面形外围延拓出与原始面形同频的高精度延拓结构面形。采用尺寸为100 mm×100 mm具有复杂频谱结构的连续位相板元件进行边缘延拓和磁流变加工实验,实验结果表明:采用改进的Gerchberg边缘延拓技术延拓的面形边缘更加规整,边缘效应影响半径由5 mm减小到2 mm,面形残余误差RMS从19.3 nm减小到了9.7 nm。这说明该边缘延拓技术可以明显提高连续位相板面形的边缘加工质量和整体收敛精度。
- 唐才学颜浩罗子健张远航温圣林
- 磁流变数控抛光技术研究被引量：3
- 2013年
- 磁流变加工技术则具有高效率、高精度、低亚表面缺陷等优点,而非球面元件由于自身的优点得到广泛应用,实现非球面元件的磁流变加工技术具有重要的意义,因此,文章进行了非球面的磁流变抛光工艺软件设计,对非球面的磁流变加工算法进行了研究,同时对自研磁流变机床运动形式进行了分析,实现了非球面元件的自动装调定位系统设计,开展了对大口径的方形非球面元件的磁流变加工验证实验,非球面元件的透射波前误差得到了收敛,最终实现了面形精度PV为λ/3。验证了磁流变加工非球面元件的能力。
- 袁志刚唐才学郑楠钟波
- 关键词：磁流变非球面面形精度
- 大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀装置
- 本发明提供一种高精度的大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀装置，空气压缩机、储气罐、过滤器、电磁阀、调速阀和气动滑台之间依次通过气管连接，所述气动滑台安装在支撑架上，所述气动滑台端部连接触发测头，所述触发测头的上下...
- 金会良张清华邓文辉唐才学徐曦袁志刚侯晶陈贤华
- 文献传递
- 大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀装置
- 本发明提供一种高精度的大气等离子体加工大口径非球面光学元件的对刀装置，空气压缩机、储气罐、过滤器、电磁阀、调速阀和气动滑台之间依次通过气管连接，所述气动滑台安装在支撑架上，所述气动滑台端部连接触发测头，所述触发测头的上下...
- 金会良张清华邓文辉唐才学徐曦袁志刚侯晶陈贤华
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- 大口径平面光学元件的磁流变加工被引量：10
- 2016年
- 为了实现大口径平面光学元件的高精度加工,开展了磁流变加工技术的研究。介绍了磁流变加工原理及去除函数的数学模型。根据磁流变加工的特点,建立了元件整体加工的工艺流程,给出了元件加工的工艺要素。然后,开发了抛光斑的提取软件,并基于轨迹段划分的速度模式开发了工艺软件,分析了工艺软件的各项功能模块。最后,基于元件加工的工艺流程,对一件800mm×400mm的元件进行了加工实验。利用检测设备测得了元件的低、中、高频的加工指标,其低频反射波前PV值为34nm,中频波前功率谱密度(PSD1)值为1.7nm,高频粗糙度Rq值为0.27nm。实验显示了较好的实验结果,验证了利用磁流变加工技术实现了大口径光学元件的高精度加工的可行性。本文还阐述了磁流变加工技术在高功率激光元件中应用的优点。
- 侯晶王洪祥陈贤华谢瑞清邓文辉唐才学
- 关键词：平面光学元件抛光面形精度高功率激光器
