孙大智
- 作品数：28 被引量：32H指数：4
- 供职机构：天津理工大学更多>>
- 发文基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金天津市高等学校科技发展基金计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术理学化学工程更多>>
- 适用SAW器件的纳米金刚石膜及制备方法与用途
- 本发明公开了一种适用SAW器件的纳米金刚石薄膜及制备方法与用途，这种利用微波等离子化学气相沉积法制备的C－轴取向的金刚石纳米膜，膜厚6μm，晶粒度为：200－250nm，sp<Sup>3</Sup>成分≥90％，满足波长...
- 杨保和熊瑛陈希明吴晓国孙大智
- 文献传递
- 射频磁控溅射法LiNbO_3薄膜的制备及其影响因素研究被引量：2
- 2008年
- 采用射频磁控溅射法在Si(111)和Si(100)上制备LiNbO3薄膜.通过XRD技术探讨了硅基片取向和所制备的薄膜的取向之间的联系,研究了不同靶材对薄膜的影响,讨论了热处理温度、工艺和所制备的薄膜取向的关系.报道了在Si(111)基片上制备高c轴取向的LiNbO压电薄膜的制备方法.
- 孙大智熊瑛杨晓萍
- 关键词：射频磁控溅射
- InGaAsP/InP多量子阱锁模激光器及其超短脉冲产生
- 杜荣建丁哲刘君刘津丽孙大智朱亚东夏秀兰
- 该项目组研制出一套输出波长1550nm、重复频率高（10GHz）、脉冲宽度窄（～3ps）的超快、超短脉冲光源InGaAsP/InP多量子阱锁模半导体激光器实验装置。即在实验中，采用直接RF高频调制的方法，通过多量子阱外腔...
- 关键词：
- 关键词：半导体激光器超短脉冲
- LiNbO<Sub>3</Sub>/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及其制备方法
- 本发明公开了一种LiNbO<Sub>3</Sub>/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及制备方法。所说的多层膜结构声表面波器件是在CVD金刚石膜和LiNbO<Sub>3</Sub>薄膜之间有高C-轴择优取向的纳米ZnO...
- 杨保和陈希明熊瑛徐晟孙大智李明
- 文献传递
- 一种碳空心球与多孔掺硼金刚石复合膜传感器电极的制备方法
- 一种碳空心球与多孔掺硼金刚石复合膜传感器电极的制备方法。制备步骤如下：1)利用热丝CVD法在钽片上沉积掺硼金刚石膜，在腔室通入氢气，碳源和硼源，开灯丝电源，加偏压，调节压强和控制温度、时间；2)采用射频磁控溅射仪在掺硼金...
- 李明吉王雪峰李红姬李翠平孙大智杨保和
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- 一种采用复合工艺进行金刚石薄膜平坦化的方法
- 一种采用复合工艺进行金刚石薄膜平坦化的方法，步骤如下：1)采用热化学机械抛光工艺(TCMP)对金刚石薄膜表面大的凹凸部分进行第一次抛光处理，即将金刚石薄膜浸在抛光盘上熔融态的氧化剂中，同时用金刚石磨料对金刚石薄膜进行热化...
- 张楷亮王莎莎王芳曲长庆孙大智
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- 碳纳米管@石墨烯核壳材料及其制备方法和应用
- 本发明公开了一种碳纳米管@石墨烯核壳材料及其制备方法和应用,碳纳米管@石墨烯核壳材料的制备方法包括以下步骤:制备CNT/HAuCl<Sub>4</Sub>/PVA固体混合物膜,利用直流电弧等离子喷射化学气相沉积设备在CN...
- 李明吉刘丹丹李红姬李翠平孙大智钱莉荣杨保和
- 文献传递
- 测量多层膜结构中薄膜厚度的一种新方法被引量：7
- 2005年
- 提出一种基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法。该方法用有效电极直径Φ3 mm电容传感头,通过变化空气隙Δh进行多次测量,对输出电压V值进行线性拟合,得到空气隙与测量电压的关系,计算出被测厚度,测量精度达0.01μm。若采用有效电极直径Φ1 mm传感头,测量精度可达0.001μm。通过理论分析和实验证实,该方法不需对被测材料提前标定相对介电常数,不需特殊制备样件,是非接触测量,测量方法简单、成本低。因此适用于各种薄膜、特别是多层结构膜的无损膜厚测量及平面度测量。
- 陈希明马靖徐晟吴小国孙大智杨保和
- 关键词：多层膜结构薄膜厚度平面度测量测量电压传感头空气隙
- 纳米金刚石薄膜的制备被引量：8
- 2008年
- 采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷、氩气和氧气为前驱气体,在直径为5 cm的(111)取向镜面抛光硅衬底上沉积出高平整度纳米金刚石薄膜。利用扫描电镜、X射线衍射谱和共焦显微显微拉曼光谱我们分析了薄膜的表面形貌和结构特征。该薄膜平均粒径约为20 nm。X射线衍射谱分析表明该薄膜具有立方相对称(111)择优取向金刚石结构。在该薄膜一阶微显微拉曼光谱中,1332 cm-1附近微晶金刚石的一阶特征拉曼峰减弱消失,可明显观测到的三个拉曼散射峰分别位于1147 cm-1、1364 cm-1和1538 cm-1,与己报导的纳米金刚石拉曼光谱类似。该方法可制备出粒径约为20 nm粒度分布均匀致密具有较高含量的sp3键的纳米金刚石薄膜。
- 杨保和崔建熊瑛陈希明孙大智李翠平
- 关键词：纳米金刚石薄膜微波等离子体化学气相沉积
- 一种垂直石墨烯/掺硼金刚石传感电极的制备方法
- 本发明涉及一种垂直石墨烯/掺硼金刚石传感电极的制备方法，涉及新型电子材料工艺技术，采用电子辅助热丝化学气相沉积方法制备得到掺硼金刚石，然后通过金作为催化物，在掺硼金刚石表面采用等离子体喷射化学气相沉积的方法生长石墨烯，从...
- 李明吉李潇杰李红姬李翠平孙大智杨保和
- 文献传递
