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宋柏泉

作品数：11 被引量：24H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 2篇专利

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇电磁
  • 3篇电机
  • 3篇绕组
  • 3篇微电机
  • 3篇畴壁
  • 2篇电磁微电机
  • 2篇永磁
  • 2篇射频溅射
  • 2篇绕组线圈
  • 2篇微型机器人
  • 2篇稀土永磁
  • 2篇线圈
  • 2篇机器人
  • 2篇溅射
  • 2篇毫米级
  • 2篇反磁化
  • 2篇感器
  • 2篇AL
  • 2篇传感
  • 2篇传感器

机构

  • 9篇上海交通大学

作者

  • 9篇宋柏泉
  • 6篇赵小林
  • 4篇蔡炳初
  • 3篇余晋岳
  • 3篇周勇
  • 2篇章吉良
  • 2篇张寿柏
  • 2篇杨春生
  • 2篇张琛
  • 2篇周狄
  • 2篇李明
  • 1篇曾祥林
  • 1篇张宏
  • 1篇徐东

传媒

  • 3篇微细加工技术
  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇应用科学学报
  • 1篇磁性材料及器...

年份

  • 1篇2000
  • 1篇1997
  • 3篇1996
  • 3篇1995
  • 1篇1994
共 11 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
微型NiFe条形薄膜元件在反磁化过程中的磁畴活动被引量：1
1996年
该文应用Ｂｉｔｔｅｒ粉纹技术系统地观察，并从能量分析了微型４０ｎｍ厚度ＮｉＦｅ薄膜条状元件在难轴方向反磁化过程中，磁畴结构的特性和变迁过程．研究表明，元件中的Ｂａｒｋｈａｕｓｅｎ跳跃是畴壁合并、壁态转变和塞漏畴转变等不可逆磁畴结构变化过程的结果．
余晋岳周勇宋柏泉叶伟春张宏
关键词：反磁化磁畴畴壁NIFE磁记录
毫米级电磁微电机
本发明公开了一种毫米级的电磁型微电机，它由平面微型绕组线圈(定子)、磁阻传感器、磁性转子及控制电路等组成。其磁性转子(1)由稀土永磁和镍铁软磁材料复合薄膜制成，位于平面绕组线圈(5)上方，其直径与平面绕组线圈(5)的直径...
张寿柏张琛赵小林蔡炳初宋柏泉
文献传递
溅射气体和基板偏压对溅射Al_2O_3薄膜内应力和密度的影响
1996年
在纯Ar和Ar＋10％O2两种工作气体及不同基极偏压条件下，用射频溅射方法制备了Al2O3薄膜，测量了每个样品的内应力和密度，并对部分样品用X射线光电子谱进行了结构分析。结果表明，薄膜呈非晶态，薄膜的内应力均为压应力，并给出了气体种类和们压对膜的密度和应力的影响。
章吉良李明杨春生赵小林宋柏泉
关键词：射频溅射内应力氧化铝
离子束刻蚀过程中光刻胶收缩行为研究被引量：12
1994年
光刻胶作为离子束刻蚀的掩膜已得到了普遍采用，由于它在受到离子束轰击时会发热收缩、不利于刻蚀线条高宽比的提高，限制了它的进一步使用。在离子束的轰击下，光刻胶的收缩不仅与其发热程度有关，而且与刻蚀线条的宽度也有关，通过改变刻蚀时基片和旋转台之间的热接触状态发现，光刻胶发热越厉害，收缩量越大。而在光刻胶发热程度很小或者不发热时，收缩量极小，可以忽略不计。而在同一发热状态下，不同宽度线条的光刻胶收缩量也不一样，宽度越大，收缩量就越大，宽度越小，收缩量也越小。结果造成在不同宽度线条的接合处，线条边缘出现弯曲。
曾祥林宋柏泉赵小林蔡炳初
关键词：离子束刻蚀光刻胶微电子器件
溅射条件对Al_2O_3薄膜介电强度和沉积速率的影响
1995年
用射频溅射方法，在不同工作气体（纯Ａｒ和Ａｒ＋１０％Ｏ＿２）和不同基片偏压（－３０Ｖ到－１８０Ｖ，间隔－３０Ｖ）下，由烧结Ａｌ＿２Ｏ＿３靶材制备Ａｌ＿２Ｏ＿３薄膜。测试了样品的介电强度和沉积速率，对部分样品的结构和成份分别用ＸＰＳ和Ｘ射线进行了分析。结果表明：薄膜均呈非晶态；在两种工作气体中，随着基片负偏压的升高，沉积速率和介电强度均下降，但在－６０Ｖ偏压时，介电强度具有最大值。含氧的工作气体导致沉积速率下降，但提高了介电强度。在含氧和－６０Ｖ偏压下，Ａｌ＿２Ｏ＿３薄膜的平均介电强度为３．４６ＭＶ／ｃｍ。纯氩气氛中制备的Ａｌ＿２Ｏ＿３薄膜是缺氧的，而含氧的工作气体可使薄膜中的氧含量提高。
章吉良李明杨春生赵小林宋柏泉
关键词：射频溅射介电强度沉积速率氧化铝薄膜
微型薄膜磁阻传感元件在磁化和反磁化过程中的磁畴结构研究被引量：2
1995年
微型薄膜磁阻传感元件在磁化和反磁化过程中的磁畴结构研究余晋岳，周勇，宋柏泉，徐东（上海交通大学信息存储研究中心）摘要：应用Ｂｉｔｔｅｒ粉纹技术观察和分析了微型磁阻传感元件在磁化和反磁化中磁畴结构变化的全过程，研究表明和元件中的Ｂａｒｋｈａｕｓｅｎ跳跃...
余晋岳周勇宋柏泉徐东
关键词：磁化反磁化畴壁
毫米级电磁微电机
本发明公开了一种毫米级的电磁型微电机，它由平面微型绕组线圈(定子)、磁阻传感器、磁性转子及控制电路等组成。其磁性转子(1)由稀土永磁和镍铁软磁材料复合薄膜制成，位于平面绕组线圈(5)上方，其直径与平面绕组线圈(5)的直径...
张寿柏张琛赵小林蔡炳初宋柏泉
文献传递
电磁型微电机定子绕组的研制被引量：8
1995年
本文主要阐述应用微细力。工技术研究和开发电磁型微电机定子绕组的制备工艺，重点介绍制备定子绕组所涉及到的各种材料及其用途。采用掩模电镀技术解决了平面工艺难以解决的线围绕组。本研究结果为双层十七圈三对六组绕组系统。最小线宽为３μｍ，微电机直径为２ｍｍ，最大工作电流１２０ｍＡ，电阻值在２４－２６Ω之间。输出力矩为１．５μＮｍ，转子转速每分钟可达５００转。
赵小林宋柏泉周狄
关键词：电磁型微电机定子绕组
微型磁阻元件中磁畴活动和畴壁态极性转变的研究被引量：1
1997年
采用Bitter粉纹技术详细观察和研究了微型磁阻元件在磁化和反磁化过程中的磁畴结构，结果表明Barkhausen噪声来源于磁化和反磁化过程中的磁畴活动和畴壁态极性转变。磁阻元件中的曲折状畴的产生、强化和畴壁合并及畴壁态极性转变是不可逆过程，是磁阻元件输出信号噪声的主要根源。实验发现，在磁阻元件和引线的连接处存在着磁畴结构，且这一过程是不可逆的。目前尚未见过报道。这必然也是磁阻元件输出信号噪声的来源之一。
周勇余晋岳宋柏泉周狄蔡炳初
关键词：磁阻元件
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