戎华
- 作品数：59 被引量：101H指数：6
- 供职机构：南京师范大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 微电子机械系统多层膜应力和杨氏模量的测量结构及方法
- 微电子机械系统多层膜应力和杨氏模量的测量结构及方法，该测量结构由n层等长不等宽的被测膜材料重叠设置、两端固定，构成多层两端固定的支梁(1)，支梁的两端分别设有加固的锚区(301)，在锚区的两边为支边(302)，在两个支边...
- 黄庆安聂萌李伟华戎华
- 文献传递
- 机电耦合MEMS器件等效电路宏模型及相关理论的研究
- MEMS器件通常涉及多个能量域之间的耦合,对单个MEMS器件静态特性的分析主要是采用有限元的方法,但有限元分析计算量大,计算时间长,已经不适宜于单个器件的动态分析,对包含有传感器、执行器及信号处理单元的复杂MEMS系统就...
- 戎华
- 关键词：MEMS宏模型吸合
- 文献传递
- 硅的反应离子刻蚀工艺参数研究被引量：12
- 2006年
- 对硅的反应离子刻蚀(R IE)工艺参数进行了研究.通过控制变量法,得出了刻蚀速率与射频功率、刻蚀气体压强和刻蚀气体流量之间的关系曲线.结果表明,随着射频功率的增加,刻蚀速率不断增加;刻蚀速率开始随刻蚀气体压强的增加而加快,压强超过一定值时,刻蚀速率反而减小;刻蚀速率在刻蚀气体流量较小时,随气体流量的增加而加快,在较大的气体流量下反而降低.通过比较不同条件下的刻蚀结果,得到了刻蚀硅的优化工艺条件.最后用DEKTAK 6M型台阶仪测出了优化工艺条件下的刻蚀深度和粗糙度.测试结果表明在优化工艺条件下刻蚀速率快,粗糙度低.
- 葛益娴王鸣戎华
- 关键词：反应离子刻蚀刻蚀速率
- 基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松比在线测量方法研究被引量：1
- 2010年
- 提出了一种基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松比在线测量方法.该方法采用直角悬臂梁作为测试结构,在上下两电极之间加上电压后,在静电力的作用下,与锚区相连的第一段直梁将发生弯曲变形和扭转变形.先由米劳干涉仪测得悬臂梁的变形,然后分离出形变中的弯曲分量和扭转分量,进而计算出薄膜材料的泊松比.用CoventorW are软件验证.结果显示该方法精度很高.
- 赵彩峰戎华
- 关键词：MEMS薄膜泊松比
- 静电作用下多层两端固支梁pull-in电压的解析模型
- 受静电力作用的多层两端固支梁MEMS器件具有广泛的应用,其pull-in电压V<,PI>对器件性能通常有重要的影响,本文运用能量法分析了多层两端固支梁在静电作用下的弯曲情况及发生pull-in现象时,梁中央的归一化位移β...
- 戎华黄庆安李伟华
- 关键词：能量法
- 文献传递
- F-I类比方法及MEMS梁的等效电路宏模型被引量：3
- 2003年
- 建立了一种基于力 -电流 ( F- I)类比、适用于梁结构机电耦合系统小信号时域及频域分析的等效电路宏模型 ,与已有的基于力 -电压 ( F- V)类比的等效电路宏模型相比 ,基于 F- I类比的等效电路宏模型的电网络与原来的机械网络具有相同的拓扑结构 ,因此 ,基于 F- I类比的等效电路宏模型能为复杂机电系统等效电路宏模型的建立带来很大的方便 .模拟结果表明该模型具有较高的精度 .
- 戎华黄庆安李伟华
- 关键词：等效电路宏模型拉格朗日方程微机电系统
- 扩散硅压力传感器负热灵敏度漂移补偿方法的研究被引量：4
- 2005年
- 分析恒压源供电和恒流源供电两种情况下扩散硅压力传感器的灵敏度随温度变化的关系式,提出用负阻抗变换器补偿负热灵敏度漂移的方法。模拟结果表明补偿效果非常显著。
- 张莉丽戎华刘仁
- 关键词：压力传感器负阻抗变换器
- 理想静电传感器的大信号等效电路宏模型
- 2003年
- 从MEMS器件的机电耦合关系式出发,采用关系式各项与电路相对应的方法,研究了刚性平行极板纵向运动静电换能器的大信号等效电路的宏模型,其中利用了SPICE中的多项式受控源的形式来简化等效电路结构。对带有此刚性极板结构的集总参数的理想静电传感器进行系统级模拟,并对所建立的传感器大信号等效电路宏模型进行了分析及验证。
- 闻飞纳李伟华戎华
- 关键词：受控源宏模型
- 多晶硅电热微执行器模型、制备与表征
- 黄庆安李家硕李伟华许高斌戎华聂萌黎仁刚
- 该项目开展了多晶硅电热微执行器的模型建立、优化设计、多晶硅力学与热学特性的测量与表征、多晶硅电热微执行器的制备技术研究。综合考虑了热、力、电三种能量的耦合，建立了电热执行器的设计理论；提出了多晶硅薄膜力学特性、热学特性的...
- 关键词：
- 关键词：多晶硅
- MEMS薄膜平均应力梯度及等效弹性模量在线提取方法被引量：1
- 2006年
- 薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及薄膜的弹性模量对器件性能有重要影响.提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及等效弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲及实现其固定端接近理想固支的方法,提高了吸合电压的计算精度.实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量.
- 戎华王鸣
- 关键词：悬臂梁弹性模量
