李直
- 作品数:6 被引量:27H指数:4
- 供职机构:清华大学更多>>
- 相关领域:机械工程理学电子电信天文地球更多>>
- 双激光束干涉条纹处理方法的研究被引量:4
- 2001年
- 在分析了双激光束干涉条纹特点的基础上 ,提出了基于遗传算法的最小二乘非线性曲线拟合法 ,以实现对双激光束干涉条纹的高精度细分定位。该算法以高斯调制余弦平方函数为拟合模型 ,为克服目标函数在参数空间上存在多极 (小 )值现象 ,引入了具有全局优化能力的遗传算法以实现对目标函数寻优。仿真及实验研究表明
- 李直赵洋李达成
- 关键词:干涉条纹遗传算法
- 用于微位移测量的笔束激光干涉仪被引量:5
- 2001年
- 介绍了一种基于空间干涉原理的亚微米零差干涉位移测量方法。该方法是对笔束激光干涉仪在微位移测量领域的应用 ,干涉仪的测量精度不受光束波前畸变等光源噪声的影响。给出了干涉仪主要结构参数的选取原则 ;构建了用于微位移测量的笔束激光干涉仪实验系统。实验结果表明 ,该系统具有纳米测量分辨率。
- 李直赵洋李达成
- 关键词:微位移测量
- 相位板衍射图样处理方法的研究被引量:1
- 2001年
- 分析了准直激光束照明条件下 ,相位板中心偏离准直光束中心对衍射图样的影响 ,并给出了数值仿真结果 ;提出了一种基于多层前馈神经网络的相位板衍射图样处理方法 ,相对于传统的最小二乘曲线拟合处理方法而言 ,精度大为提高。该方法并能适用于包括无衍射光束等复杂图样的细分处理 。
- 李直赵洋李达成
- 关键词:准直技术相位板图像处理衍射图样数值仿真
- 同步辐射用大型非球面光学表面轮廓测量系统的研究
- 该文首先分析了目前在同步辐射光学元件轮廓测量中得到应用的基于双细光干涉原理的长程面形仪(LTP)方案,并进行了实验研究.总结了这类顺序扫描式轮廓仪的一般特点,进而指出了LTP方案的不足之处,为开发新型长程面形仪奠定了基础...
- 李直
- 文献传递
- 基于遗传算法的干涉条纹数据处理方法被引量:5
- 2001年
- 提出了基于遗传算法的干涉条纹数据处理方法。该方法是在最小二乘余弦曲线拟合的基础上 ,引入了具有全局优化能力的遗传算法以解决目标函数多极值问题 ,从而使得最小二乘余弦曲线拟合对干涉条纹处理具有很好的鲁棒性和自适应能力。仿真结果表明 ,在 2 0 %均匀分布噪声条件下 ,拟合模型主要参数 -干涉条纹空间频率及初相位 -拟合误差小于 0 .5 %。
- 李直赵洋李达成
- 关键词:遗传算法干涉条纹数据处理CCD
- 衍射型长程大型非球面轮廓测量仪被引量:14
- 2002年
- 分析了基于衍射准直技术的f θ系统的特点 ,在此基础上提出了一种新型长程面形仪用以实现对大型非球面光学表面 ,特别是同步辐射中掠入射光学元件的高精度轮廓测量。成功地研制了样机 ,目前新型长程面形仪样机的纵向扫描范围可达 370mm ,分辨率优于 0 2 5 μrad ,单点稳定性小于 0 7μrad/ 2 0 0s ,全程测量精度可达1 14 μrad ,全长扫描的重复精度为 0 0 9μrad。样机测试结果表明 。
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