李颖鹏
- 作品数：9 被引量：28H指数：3
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>
- 半导体材料微体缺陷的激光检测技术研究
- 半导体材料微米/纳米级缺陷的无损检测是当前国内外微/纳米技术研究中的热点之一，半导体材料一致性是大规模集成电路及微机电系统(MEMS)功能实现和进一步发展的重要保证。为实现半导体材料微体缺陷的无损、高效、和准确检测，本论...
- 李颖鹏
- 关键词：半导体材料微体缺陷散射光强分布激光检测
- 用构造光系统实现3-D形貌测量的研究被引量：12
- 1999年
- 介绍了一个用构造空间二进制编码进行非接触３Ｄ形貌测量的系统。它以一台ＬＣＤ投影仪为硬件基础，用８幅条纹投影图案对被测物体表面进行空间编码。用ＣＣＤ摄像机获取物体编码信息，用基于单一像素的三角法原理从摄像机图像中获取三维形貌数据。指出了二进制编码图案生成软件及其生成的条纹图案的特点。为了提高３Ｄ形貌测量的精度，分析了由摄像机和投影仪镜头造成的误差，建立了它们的透镜误差矫正公式，并取得了良好的实验结果。
- 董斌尤政刘兴占李颖鹏
- 关键词：三角法LCD投影仪
- 特征提取在近红外激光检测半导体内微缺陷中的应用被引量：2
- 2002年
- 提出了利用近红外激光散射光强分布分析来检测半导体材料内部微体缺陷的检测方法。在研究广义洛仑兹 米氏理论 (GeneralizedLorenz MieTheory)的基础上 ,通过对理论上散射光强分布的分析 ,近红外激光散射光强分布空间FFT的截止频率被提取为判定半导体材料缺陷大小的判据 ,依据这一判据 ,可以快速的判定微体缺陷的大小。并通过对GaAs样品进行了实验研究 ,证明了该方法和判据的有效性。
- 尤政李颖鹏李滨
- 关键词：散射特征提取半导体材料
- 基于空间二进制编码的3D形貌测量方法被引量：11
- 1999年
- 介绍了一种基于空间二进制编码的非接触３Ｄ 形貌测量方法。它用一台ＬＣＤ 投影仪对被测物体表面进行空间编码，再用一台ＣＣＤ 摄像机获取物体编码信息，最后用三角法原理从摄像机图像中获取三维形貌数据。提出了基于三角法的空间二进制码的重要特性，描述了高效编码的构造方法。用这个构造方法构造出一个完全数字化的７ 位字长的二进制编码。基于这种编码的３Ｄ 形貌测量方法在被测物体表面非常不连续和非构造的环境下取得了良好的测量结果。
- 董斌尤政李颖鹏杨韧
- 关键词：三角法
- 空间编码与灰度投影相结合实现高效3-D形貌测量的研究被引量：7
- 2000年
- 介绍了一种结合空间编码与灰度投影来实现高效三维形貌测量的方法。用空间编码完成对被测空间的粗略编码，用灰度投影完成精确编码，将它们结合起来得到被测物体表面丰富的编码信息，作为一种基于三角法的三维形貌测量方法，能够在物体表面非常不连续和外部光照造成的背景光强分布不确定的情况下工作良好。同时，与传统的空间编码方法相比，它大大提高了空间编码的效率。实验表明，该方法用５ 幅图像取得了与灰度码１０幅图像相当的测量结果。
- 董斌尤政刘兴占李颖鹏
- 关键词：三角法
- 半导体材料微体缺陷激光扫描分析技术被引量：1
- 2001年
- 半导体材料内部的一致性是实现微器件功能的重要保证。为实现半导体材料微体缺陷的无损、高效、和准确检测 ,在研究广义 L orenz- Mie理论的基础上 ,通过将散射光分布分析引入到检测当中 ,提出了对近红外激光散射信号探测和缺陷大小特征的判据 ,来检测半导体材料缺陷的方法。介绍了检测的基本原理和理论模型 ,以及基于这一构想的全自动检测系统的实现方法 ,并提出了微缺陷检测的判据。对一组 Ga As样品进行了实验研究 。
- 尤政李颖鹏杨建中陈非凡于世洁
- 关键词：半导体材料微体缺陷散射光强分布
- 半导体材料微米/纳米级体缺陷检测理论与实验研究
- 通过对近红外激光散射信号探测和信号分布分析,来检测半导体材料体缺陷是一种很有前途的方法.本文简要介绍了检测的基本原理和理论模型,在此基础上提出了判断缺陷尺度的判据,并通过对一组GaAs样品的实验研究,验证了其可行性.
- 尤政李颖鹏陈非凡于世洁
- 文献传递
- MEMS器件中的微体缺陷检测研究被引量：1
- 2002年
- 为实现对硅基材料和MEMS器件内微体缺陷的无损、高效和准确检测 ,在研究广义洛仑兹 米氏散射理论的基础上 ,针对硅基材料和MEMS器件的物理特点 ,对球形缺陷与红外激光相互作用在非垂直方向散射光强分布特点进行了研究和计算机仿真 ,提出利用红外激光背散射分布分析对硅基材料和MEMS器件内部缺陷进行检测的方法 ,并通过实验验证了该方法的有效性。
- 李颖鹏尤政李滨
- 关键词：硅基材料微体缺陷背散射MEMS
- 一种用于液晶曝光中的激光检测系统
- 1999年
- 介绍了一种非接触式激光检测系统，可用于检测液晶曝光中液晶模板与基板之间的间隙，给出了该种系统的测量原理、硬件系统、信号处理方法、测量结果、分辨力和误差分析，并指出了这种测量系统的应用。
- 杨韧林闽董斌李颖鹏刘兴占尤政
- 关键词：液晶
