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文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇原子
  • 5篇原子结构
  • 3篇氧化硅
  • 2篇电子特性
  • 2篇微观结构
  • 2篇界面过渡区
  • 2篇关键参数
  • 2篇硅表面
  • 2篇分析纯
  • 2篇SI/SIO...
  • 2篇材料微观结构
  • 2篇层结构
  • 2篇纯酒精
  • 1篇酸溶液
  • 1篇抛光
  • 1篇氢原子
  • 1篇细磨
  • 1篇显微结构
  • 1篇显微结构分析
  • 1篇磷酸

机构

  • 7篇电子科技大学

作者

  • 7篇杜龙欢
  • 6篇荣丽梅
  • 5篇杜江峰
  • 4篇于庆伟
  • 2篇周龙
  • 2篇肖聪
  • 2篇谢涛
  • 2篇郑晓明
  • 2篇郑小明
  • 1篇杜江锋

传媒

  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇2013‘全...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2014
  • 2篇2013
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
一种腐蚀液的用途和腐蚀方法
本发明公开了一种腐蚀液的用途,应用于腐蚀钇钆石榴石铁氧体样品,所述腐蚀液为质量分数为60%~90%的磷酸溶液。相关腐蚀方法,包括以下步骤:(1)对钇钆石榴石铁氧体样品进行过粗磨、细磨、机械抛光处理;(2)将处理过的样品使...
荣丽梅郑晓明谢涛杜龙欢于庆伟杜江峰
文献传递
一种腐蚀液的腐蚀方法
本发明公开了一种腐蚀液的用途,应用于腐蚀钇钆石榴石铁氧体样品,所述腐蚀液为质量分数为60%~90%的磷酸溶液。相关腐蚀方法,包括以下步骤:(1)对钇钆石榴石铁氧体样品进行过粗磨、细磨、机械抛光处理;(2)将处理过的样品使...
荣丽梅郑晓明谢涛杜龙欢于庆伟杜江锋
文献传递
硅‑二氧化硅界面原子结构模型的建立方法
本发明公开了一种硅‑二氧化硅界面原子结构模型的建立方法,包括以下步骤:(1)建立硅、二氧化硅的晶胞结构模型;(2)分别建立硅、二氧化硅的超晶胞结构;(3)分别建立硅表面结构与二氧化硅表面结构;(4)利用所建立的表面结构构...
荣丽梅杜龙欢周龙肖聪杜江峰
文献传递
Si/SiO_2界面的原子结构模型
2013年
理论计算已逐渐成为从原子尺度上研究Si/SiO2界面特性的必要手段,选择合适的Si/SiO2界面原子结构模型是准确计算Si/SiO2界面特性的前提。梳理比较了Si/SiO2界面特性研究方面目前主要的实验研究结果及其理论计算结果,介绍了Si/SiO2界面原子结构模型及其特点。并从Si衬底晶向、过渡区的组成与厚度以及电子特性方面,分析了这些模型的优缺点及其适用性。认为以亚氧化态Si作为过渡层的模型能更好地解释实验数据,并适用于界面结构特性和电子特性等的仿真计算。本研究对改进Si/SiO2原子结构模型、研究界面缺陷以及在原子尺度上分析界面缺陷对器件特性影响有着重要的意义。
杜龙欢荣丽梅杜江峰于庆伟郑小明
关键词:原子结构电子特性氧化硅过渡层
Si/SiO2界面结构模型仿真及应用研究
Si/SiO2结构是组成硅基器件和电路的最重要的部分之一,对其性能有着至关重要的影响。在纳米尺度下,一方面Si/SiO2界面结构中的过渡区对界面特性的影响越来越显著,界面缺陷的存在会导致栅介质可靠性和器件性能下降,对 S...
杜龙欢
关键词:氧化硅原子结构
文献传递
Si/SiO2界面的原子结构模型研究
理论计算已逐渐成为从原子尺度上研究Si/SiO2界面特性的必要手段,选择合适的Si/SiO2界面原子结构模型是准确计算Si/SiO2界面特性的前提.本文梳理比较了Si/SiO2界面特性研究方面目前主要的实验研究结果及其理...
杜龙欢荣丽梅杜江峰于庆伟郑小明
关键词:氧化硅原子结构电子特性
文献传递
硅-二氧化硅界面原子结构模型的建立方法
本发明公开了一种硅-二氧化硅界面原子结构模型的建立方法,包括以下步骤:(1)建立硅、二氧化硅的晶胞结构模型;(2)分别建立硅、二氧化硅的超晶胞结构;(3)分别建立硅表面结构与二氧化硅表面结构;(4)利用所建立的表面结构构...
荣丽梅杜龙欢周龙肖聪杜江峰
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