柳海鹏
- 作品数：11 被引量：25H指数：4
- 供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信医药卫生更多>>
- 准分子激光增强金属电化学刻蚀特性实验研究被引量：3
- 2004年
- 采用248nm KrF准分子激光照射电化学刻蚀中的金属阳极,记录过程中阳极电流的变化,对不同金属的阳极电流 曲线进行对比分析,发现在激光作用的时间内,阳极电流显著增大,激光作用过后,阳极电流迅速减小,而且脉冲频率越高阳 极电流增加的幅度越大,不同的金属阳极电流曲线有所不同,这反映准分子激光对不同金属电化学特性的增强有所差别。
- 柳海鹏周月豪熊良才史铁林
- 关键词：准分子激光刻蚀
- 准分子激光电化学微结构制造方法及其装置
- 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体...
- 史铁林陈志凌熊良才柳海鹏周月豪马龙
- 文献传递
- 外加电压对激光电化学刻蚀硅的影响研究被引量：1
- 2009年
- 激光电化学刻蚀是将激光加工技术和电化学加工技术有机结合起来而形成的一种复合型刻蚀工艺。为了研究外加电压对激光电化学刻蚀硅的影响,本文采用248nmKrF准分子激光作为光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极半导体n-Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,详细分析外加电压对刻蚀工艺的影响,并对其产生的原因进行了分析。试验结果表明其影响主要有两个方面:(1)正的外加电压保证了Si02钝化膜生成,从而实现了选择性刻蚀;(2)外加电压的增大,刻蚀速率会相应减小。因而外加电压也是调节刻蚀速率的一个重要的手段。
- 龙芋宏史铁林熊良才柳海鹏
- 关键词：准分子激光电化学刻蚀硅
- 电解液对准分子电化学刻蚀硅的影响研究
- 2009年
- 激光电化学刻蚀是将激光加工技术和电化学加工技术有机结合起来而形成的一种复合型刻蚀工艺。为了研究电解液对激光电化学刻蚀硅的影响,本文采用248nm KrF准分子激光作为光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极半导体n-Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,研究了化学溶液对激光电化学刻蚀Si的刻蚀表面形貌和刻蚀速率的影响,并对其产生的原因进行了分析。试验结果表明:化学溶液对刻蚀工艺的影响主要来源于不同浓度的溶液对激光的吸收和折射;采用吸收率较小、浓度较低的溶液和控制液膜厚度能有效减小溶液飞溅和溶液折射。本文中,溶液的厚度控制在1mm左右。
- 龙芋宏史铁林熊良才柳海鹏
- 关键词：准分子激光电化学刻蚀
- 准分子激光电化学微结构制造方法及其装置
- 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体...
- 史铁林陈志凌熊良才柳海鹏周月豪马龙
- 文献传递
- 准分子激光电化学刻蚀硅工艺实验研究
- 准分子激光电化学刻蚀工艺是一种将准分子激光直接刻蚀和电化学刻蚀相结合而形成的新工艺。为研究该工艺对半导体硅材料的刻蚀性能，本文采用248nm KrF 准分子激光作为光源，KOH溶液作为电化学刻蚀液，对其进行了实验研究。在...
- 柳海鹏
- 关键词：硅工艺准分子激光刻蚀技术电化学反应
- 准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究被引量：1
- 2005年
- 提出一种新的准分子激光电化学加工工艺,在阳极钝化区内,通过准分子激光照射,以实现无屏蔽的各向异性的微加工。对该工艺进行了可行性分析,并对其进行了初步试验,证实在钝化区,准分子激光导致刻蚀电流增加的幅度比较明显,在此基础上,深入研究了在准分子脉冲激光作用过程中,刻蚀电流与脉冲数、脉冲频率之间的关系。表明准分子激光在钝化区具有增强电化学特性的能力。
- 周月豪柳海鹏熊良才史铁林
- 关键词：准分子激光电化学刻蚀镍
- 激光诱导湿刻在微结构加工中的应用被引量：4
- 2004年
- 介绍了激光诱导湿刻技术在各种材料微加工中的应用,同时对其作用机理和刻蚀特性进行了简单探讨,并对其发展进行了展望。
- 周月豪柳海鹏熊良才
- 关键词：刻蚀微加工激光诱导微结构导湿
- LIGA工艺中微电铸工艺研究被引量：8
- 2006年
- 为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构。为进一步的微结构加工奠定了基础。
- 马龙周月豪熊良才柳海鹏史铁林
- 关键词：微电铸LIGA准分子激光PMMA
- 准分子激光直刻横向影响区实验研究被引量：5
- 2005年
- 采用248nmKrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区。将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系。在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法。
- 柳海鹏周月豪熊良才史铁林
- 关键词：准分子激光
