汤华斌
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：深圳大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：深圳市传感器技术重点实验室开放基金广东省大学生创新实验项目深圳市基础研究计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学动力工程及工程热物理电气工程更多>>
- 衬底温度对PLD法沉积CdS及ZnS薄膜材料的影响被引量：2
- 2013年
- 以ITO玻璃为衬底,利用脉冲激光沉积(PLD)法在温度为50、200和400℃下制备了CdS、ZnS薄膜。测量分析了温度对CdS及ZnS薄膜的透射光谱特性、光学带隙、Raman光谱特性等的影响。结果显示,在实验温度范围内:①ZnS薄膜比CdS薄膜透射性能好,光学带隙大;②ZnS薄膜的Raman光谱复杂,Raman特征峰较弱;CdS薄膜的Raman特征峰明显;③随温度升高,CdS与ZnS相比禁带宽度增加明显、Raman特征峰增高变窄。对此现象进行了解释,为利用CdS或ZnS薄膜作为CIGS薄膜太阳电池缓冲层提供了参考。
- 胡居广李启文郑彬汤华斌王培罗仲宽曹慧群林晓东
- 关键词：脉冲激光沉积CDS薄膜ZNS薄膜
- MgZnO薄膜的准分子激光晶化(英文)
- 2012年
- 利用KrF准分子激光,在室温下对PLD法制备的MgZnO薄膜进行激光退火处理,研究了激光能量密度为50~167 mJ/cm^2时对薄膜结晶性能的影响,并用XRD、AFM、透射光谱等测试手段对薄膜进行表征。结果表明,在能量密度为125 mJ/cm^2时,薄膜具有最佳结晶效果。由于激光具有良好的可控性,可以实现区域选择性退火。本实验为维持较低的基底温度下实现MgZnO薄膜的退火处理提供了参考。
- 胡居广李启文林晓东罗仲宽曹慧群刁雄辉张一倩陈展耀汤华斌
- 关键词：晶化激光退火
- 近红外激光退火晶化CIGS薄膜研究被引量：1
- 2013年
- 利用脉冲激光沉积法在石英基底上沉积铜铟镓硒薄膜为前驱物,采用波长1 064 nm的近红外脉冲激光在不同能量密度下对其进行退火晶化.对薄膜的光学特性、晶体结构和形貌等进行表征分析,结果表明,随着激光能量密度增加,铜铟镓硒薄膜结晶度增加,晶粒尺寸变大,压应力减小,禁带宽度增加.当激光能量密度为325 mJ/cm2时,薄膜的结晶度达最高值29.46%,晶粒尺寸达最大为15.4 nm,压应力最小,薄膜结晶质量最好,过低和过高的能量密度都不利于薄膜的结晶.同时分析了高能量密度时薄膜表面条纹的形成机理.
- 胡居广汤华斌李启文李学金郑彬刘毅龙井华林晓东
- 关键词：薄膜物理激光退火能量密度压应力
