王军华
- 作品数：45 被引量：9H指数：2
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项上海市引进技术的吸收与创新计划项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程理学金属学及工艺更多>>
- 激光干涉条纹特征提取及定中测量技术研究被引量：2
- 2022年
- 针对不透明非球面壳体翻转法测量厚度时,被测件翻转前后需要严格控制定中精度的问题,提出一种基于激光干涉的非接触定中测量技术。配合高精度中空气浮转台、调心调平机构,设计并搭建了一套双向激光干涉定中装置,分别采集翻转前后内外表面不同运动姿态的干涉图,并实时分析其动态特征。基于现代光电探测技术,提出对激光干涉条纹进行实时特征提取算法处理,大幅提高了激光干涉条纹的动态识别精度。对定中精度进行理论分析,并在实验中与确定精度的电感测微计比对验证,实验与理论结果一致,证明所提干涉定中装置及实时特征提取算法可以有效提高定中精度,其绝对误差可达0.424μm。使用所提干涉定中装置和特征提取算法成功测量了不透明非球面壳体翻转前后相对于气浮转台旋转轴的定中偏差,满足定中要求,为翻转法厚度测量精度提供了定位保障,提高了轮廓及厚度测量数据的准确性。
- 高铭锷袁鹤徐敏王军华崔海龙
- 关键词：特征提取动态特征厚度测量
- 长焦距高分辨率全景镜头设计
- 当今的信息化时代对信息获取技术提出了越来越高的要求。在光学成像领域，人们总是希望设计的镜头具有长焦距、大视场角、大相对口径的成像特点。全景镜头是利用特殊的全景成像装置对周围目标实现360°全景环式成像。与其他类型的全景镜...
- 王军华
- 关键词：光学设计径向畸变成像特点
- 文献传递
- 基于TDI的线扫描暗场散射晶圆表面缺陷检测装置及方法
- 本发明属于晶圆检测技术领域，具体为基于TDI探测的线扫描暗场散射晶圆表面缺陷检测装置及方法。本发明检测装置包括照明光源、光束整形组件、运动控制组件、显微镜成像组件、CMOS图像传感器及计算机；光源发出光束经过光束整形组件...
- 徐敏余飞王军华
- 一种基于小样本的波前编码场景数据集增强方法
- 本发明属于波前编码技术领域，具体为一种基于小样本的波前编码场景数据集增强方法。本发明方法包括：获取小样本数据集，使用普通相机和波前编码优化后的相机对相似场景成像进行数据获取；随机抽样定理估计点扩散函数，将图像划分为内点进...
- 王军华李一丹徐敏李旭锋
- 基于望远镜的多功能数字光电测量系统
- 本发明属于光学测量技术领域，具体为一种基于望远镜的多功能数字光电测量系统。该系统由望远镜、OLED微显示器、微显示器照明系统、CCD光电探测器和计算机系统组成；计算机系统分别与OLED微显示器和CCD光电探测器连接，OL...
- 徐敏王军华
- 文献传递
- 一种胶合过程在线应力分析装置
- 本发明公开了一种胶合过程在线应力分析装置。其包括瞬态干涉仪、光学扩束系统、胶合单元、数据处理单元、温度控制单元、UV照明单元和应力分析单元；胶合单元经过真空除气、通过UV照明单元固化，通过温度控制单元实施检测；瞬态干涉仪...
- 徐敏王军华孔令豹
- 一种基于全景结构光的三维重构系统和方法
- 本发明属于三维重构相关技术领域，具体为一种基于全景结构光的三维重构系统和方法。本发明的基于全景结构光的三维重构系统，包括全景相机、全景投影仪、两个多维调节架及计算机处理系统；全景相机和全景投影仪的光学系统均采用二次折反射...
- 王军华田雨涵王鼎徐敏李旭锋
- 用于球面壳体中心监测的激光干涉定中装置
- 本发明属于球面壳体测量技术领域，具体为一种用于球面壳体中心监测的激光干涉定中装置。本发明装置具体包括：激光发射器，针孔，三个透镜，分光棱镜，探测器，45°反射镜，整形透镜组，中空气浮转台、调心调平装置；分别采集翻转前后内...
- 王军华高铭锷李一丹王施相徐敏
- 一种全景镜头的双功能镜头盖
- 本实用新型光学器件技术领域，具体为一种全景镜头的双功能镜头盖。该镜头盖为中空的园台形，盖口内侧具有连接螺纹，该螺纹可与全景镜头的全景环形透镜的外螺纹匹配连接；镜头盖两侧斜面上设有消杂光螺纹。它不仅能实现镜头盖的功能，而且...
- 王军华徐敏
- 文献传递
- 关于光纤低相干测厚系统中光束耦合效率的研究
- 2016年
- 将变焦透镜组的方法用于解决光纤低相干测厚系统中光束损失问题,介绍了一套基于光纤低相干干涉技术的测厚装置。根据光纤耦合条件与光纤出射光束能量分布规律,给出了关于光束耦合效率受光束横向尺寸与反射面曲率半径影响的分析;理论分析了变焦透镜组引入侧厚系统后耦合效率的提升效果。实验证明,引入变焦透镜后信号损失情况明显得到改善,该系统的相对测量误差小于0.05%。
- 陈力王军华徐敏
- 关键词：厚度
