2025年1月23日
星期四
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王宇
作品数:
304
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院光电研究院
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发文基金:
电子信息产业发展基金
国家高技术研究发展计划
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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机械工程
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合作作者
周翊
中国科学院光电研究院
陈进新
中国科学院光电研究院
吴晓斌
中国科学院光电研究院
王魁波
中国科学院光电研究院
赵江山
中国科学院光电研究院
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作者
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王宇
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周翊
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赵江山
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2011
1篇
2009
1篇
2008
2篇
2005
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一种激光器温控系统
本实用新型公开了一种激光器温控系统,其中该激光器包括放电腔、多个温度检测器和多个温度控制装置,所述放电腔在工作时会产生热量,所述多个温度检测器用于检测与放电腔的温度有关的多个位置的温度,多个温度控制装置用于冷却或加热放电...
张立佳
吴晓斌
赵江山
丁金滨
陈进新
李慧
刘斌
崔惠绒
周翊
王宇
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一种材料分压放气率测试器
本实用新型公开了一种材料分压放气率测试器,包括一个测量室、一个真空泵组和一个限流小孔;真空泵组通过插板阀与测量室连接,限流小孔的前端通过角阀与测量室连接,后端直接与真空泵组连接;通过四极质谱仪和分离规,分别测量测量室为空...
张罗莎
王魁波
吴晓斌
罗艳
陈进新
谢婉露
王宇
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环形泵浦激光器
本实用新型公开了一种环形泵浦激光器,包括泵浦光输入装置、激光腔和泵浦光回收装置,泵浦光输入装置用于产生泵浦光并入射到所述激光腔内,激光腔用于对激光振荡输出,泵浦光回收装置用于将从所述激光腔泄露的泵浦光回收后重新输入到激光...
范元媛
王倩
翟晔
宋兴亮
张立佳
蔡茜玮
彭卓君
崔惠绒
周翊
王宇
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一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统
本实用新型公开了一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统,测试设备包括EUV光源腔室(A)、收集镜腔室(B)和样品腔室(C),真空获得装置包括分别连接到各腔室的真空泵单元和真空计单元、连接于腔室之间的第一、第二插板阀(...
陈进新
王宇
吴晓斌
谢婉露
王魁波
崔惠绒
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光机分离式双腔准分子激光器整机框架系统
本发明公开了一种双腔准分子激光器整机框架系统,所述双腔准分子激光器包括有主振荡放电腔、功率放大腔以及与该两个腔体相关的光学系统,所述系统包括安装基座(1)、基础框架(2)、光学系统框架(3)和放电腔框架(4),其中,所述...
丁金滨
齐威
刘斌
沙鹏飞
周翊
王宇
赵江山
文献传递
一种包含新型放电腔的激光光源系统
本实用新型公开了一种包含放电腔的激光光源系统,属于气体激光技术领域,解决了现有高压脉冲电源中,因外部条件限制激光光源系统更大能量、更高重频的发展要求的技术问题。该激光光源系统由放电腔、聚光模块和线宽压窄模块组成。所述放电...
陈进新
王宇
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一种调焦调平装置
一种调焦调平装置,由照明系统、成像系统和探测系统组成,其中:成像系统中包括有第一偏振片、1/4波片和SAVART板组成的起偏光路,由该起偏光路将接收到的硅片反射光分成两束偏振方向垂直,空间上错开半个周期的两幅图像。本发明...
刘广义
齐月静
王宇
周翊
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用于高压脉冲电源的过电流抖动检测电路
一种用于高压脉冲电源的过电流抖动检测电路,包括一高压脉冲电路和一参考信号发生电路,其中,高压脉冲电路放电主回路通过一电流互感器与参考信号发生电路的输出端连接至一电压比较器。本实用新型的检测电路可以检测到发生在0~π/4和...
马英麒
徐向宇
王宇
周翊
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一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法
本发明公开了一种多孔陶瓷的准分子激光抛光和检测方法,其特征在于,包括以下步骤:利用表面粗糙度分析设备扫描多孔陶瓷待加工面的表面轮廓,使用光束均匀器和聚焦透镜实现准分子激光光束的聚焦和匀化,确定抛光用准分子激光的离焦量,规...
郭馨
王宇
丁金滨
刘斌
张立佳
周翊
赵江山
齐威
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基于等腰直角三角棱镜的激光线宽压窄扩束装置
本实用新型公开了一种激光线宽压窄扩束装置,包括光束扩束装置,光束扩束装置用于对激光进行一维扩束,且所述光束扩束装置由单个棱镜或棱镜组构成,所述单个棱镜和组成棱镜组的棱镜均为等腰直角三棱镜。本实用新型具有结构简单、加工精度...
李慧
赵江山
单耀莹
沙鹏飞
宋兴亮
蔡茜玮
彭卓君
范元媛
张立佳
鲍洋
周翊
王宇
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