耿漫
- 作品数：38 被引量：92H指数：5
- 供职机构：深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心更多>>
- 发文基金：国防科技重点实验室基金国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术电子电信理学更多>>
- 全方位离子注入及增强沉积工业机及应用
- 本文报告了为深圳国家“八六三”计划材料表面工程技术研究开发应用中心研制开发的新一代全方位离子注入及增强沉积工业机。该机的真空室由不锈钢制成,外侧分层覆盖有永磁体、冷却水管、软铁、铅皮及装饰不锈钢板,用于冷却、在真空室内形...
- 童洪辉陈庆川霍岩峰王珂穆莉兰冯铁民赵军严兵耿漫
- 关键词：全方位离子注入
- 等离子体浸没离子注入(PIII)技术在现代材料表面改性中的应用及发展
- 该文综述了80年代发展起来的一种新型的用于材料表面改性的离子注入新技术－等离子体浸没离子注入(PIII)，待处理的材料直接浸泡在等离子体中进行处理。该技术保留了常规束线离子注入(CBII)技术的主要特点，还具有许多独特的...
- 赵青耿漫
- 关键词：离子注入材料表面改性
- 文献传递
- 氮离子注入Co-WC硬质合金试样二次离子质谱分析
- 1989年
- 一、引言 已经证实,氮离子注入Co-WC可以改善磨损性能,这意味着越来越多的工具和部件可使用这种工艺进行处理。 为了检验和评价注入效果,仅仅用实验室的磨损试验是不够的。
- 耿漫严东海陶士慧朱毓坤邵先华
- 关键词：离子注入硬质合金质谱分析
- 复合真空镀膜技术制备金属装饰膜的工业应用
- 磁控溅射和蒸发镀都属于物理气相沉积技术,是目前应用在工业领域中的重要薄膜制备手段。在利用上述两种方法制备金属膜时,一些情况下会因为两种工艺各自的缺点导致一些单凭自身技术解决不了的问题。以塑料表面金属化为例,利用磁控溅射工...
- 马胜歌康光宇耿漫
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
- 双元检测法动态测定PSII靶温度被引量：4
- 2000年
- 研制了快速、准确、简单地测定 PSII靶温度的系统 ,提出了用双元检测法动态测量PSII靶温度的方法。实验表明 ,双元检测法测量温度准确、可靠 ,且测温系统成本低、稳定性好。
- 赵青耿漫童洪辉陈庆川霍岩峰孙爱萍穆莉兰郑永真
- 应用PⅢ和等离子体氧化的SMART-CUT工艺研究
- 讨论了现有Smart-Cut工艺的不足,提出了改进措施,并对实验中所涉及到的各种参量进行了分析,通过实验论证了改进工艺的可行性。
- 许泽金陈庆川童洪辉耿漫
- 关键词：SOISMART-CUT
- 文献传递
- 用于改进Smart-Cut工艺的氢-氧复合注入探讨
- 论述了改进Smart-Cut工艺的氢-氧复合注入,分析了氢-氧复合注入的特点与效率,论证了其用于改进工艺的可行性。
- 许泽金陈庆川童洪辉耿漫
- 关键词：SOISMART-CUT离子注入
- 高能氮离子注入人造金刚石的热稳定性被引量：2
- 1997年
- 叙述了在ＧＬＺ－１００Ｅ工业离子注入机上采用２０～６０ｋｅＶ氮离子及氮分子离子注入人造金刚石晶体的实验研究。ＸＰＳ分析表明，注入离子在人造金刚石颗粒表面形成了一层较为稳定的含氮混合物层。高温差热分析（ＤＴＡ）的实验表明，经氮离子束处理的金刚石，其氧化起始温度Ｔ（ｏｎｓｅｔ）由原来的７３０℃左右提高到８００℃以上，且随着氮注入剂量的增加而增加，氧化速度也随之变缓；差热分析还表明，随着温度的升高，金刚石首先转化为石墨（ＤＴＡ曲线上表现为吸热），然后氧化燃烧生成ＣＯ２（放热），而注入离子能量的增加，氧化温度的提高幅度略有下降。离子注入还使其高温石墨化性能显著改善。
- 李鹏远耿漫铁军黄培基崔西蓉严冰王经权姜元琦
- 关键词：人造金刚石离子注入热稳定性高能氦离子
- 升温Ta+N双注入对硬质合金性能的影响被引量：4
- 2002年
- 利用升温离子注入技术 ,在PSII装置中实现了N +Ta双注入对硬质合金的有效表面改性 ,注入剂量为8× 10 1 7ions·cm- 2 ,注入表面温度分别为 10 0℃和 40 0℃。用显微硬度计测定硬度 ,表明试样表面显微硬度均有提高 ,其中 40 0℃试样表面显微硬度提高最大 ,高达 2 0 0 %。用俄歇电子能谱分析元素的浓度剖面 ,发现把温度从 10 0℃提高到 40 0℃ ,其注入层深度显著增加。X射线衍射测出了注入层表面形成的WN、TaN析出相。升温双元离子注入取得升温单元离子注入改性同样的效果 。
- 赵青任文静耿漫
- 关键词：硬质合金氮钽表面改性
- 双辉光离子渗金属──一种新颖的等离子体表面冶金技术被引量：10
- 1996年
- 综述了双辉光离子渗金属这一新颖的等离子体表面冶金技术，介绍了双辉光交链增强型放电这一独特的放电现象，讨论了双辉光交链增强的条件和交链增强的机理以及它在双辉光离子渗金属技术中的作用，介绍了双辉光离子渗金属的实验研究结果及在国内工业化推广应用的情况，评述了它的应用前景及在推广应用中应注意的问题．
- 李家全余萍袁斌耿漫尚振魁王经权徐重王从曾苏永安
- 关键词：离子渗金属等离子体表面冶金
