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聂兰舰

作品数：64 被引量：34H指数：2
供职机构：中国建筑材料科学研究总院更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：化学工程一般工业技术金属学及工艺电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 43篇专利
  • 14篇会议论文
  • 7篇期刊文章

领域

  • 22篇化学工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇电气工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇理学

主题

  • 55篇石英玻璃
  • 10篇抗酸性
  • 10篇氟气
  • 9篇疏松
  • 8篇网络
  • 7篇气相沉积
  • 7篇炉膛
  • 6篇四面体
  • 6篇炉壁
  • 6篇炉顶
  • 6篇氯化
  • 6篇化学气相
  • 6篇化学气相沉积
  • 6篇反射镜
  • 6篇掺杂
  • 5篇低膨胀
  • 5篇四氯化硅
  • 5篇温度梯度
  • 5篇氯化硅
  • 5篇冷加工

机构

  • 63篇中国建筑材料...
  • 1篇武汉理工大学
  • 1篇《中国建材》...

作者

  • 64篇聂兰舰
  • 60篇向在奎
  • 49篇王玉芬
  • 43篇王慧
  • 37篇王蕾
  • 36篇邵竹锋
  • 35篇饶传东
  • 34篇贾亚男
  • 29篇符博
  • 24篇张辰阳
  • 21篇刘飞翔
  • 21篇王宏杰
  • 12篇隋梅
  • 7篇宋学富
  • 5篇王佳佳
  • 3篇徐驰
  • 2篇张晓强
  • 2篇杜秀蓉
  • 2篇邵竹峰
  • 2篇张昕

传媒

  • 5篇2017年全...
  • 3篇建筑玻璃与工...
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇中国建材
  • 1篇武汉理工大学...
  • 1篇电子元件与材...
  • 1篇2011年全...
  • 1篇第十八届全国...
  • 1篇强激光材料与...

年份

  • 1篇2020
  • 7篇2019
  • 6篇2018
  • 23篇2017
  • 6篇2016
  • 12篇2015
  • 3篇2014
  • 2篇2012
  • 4篇2011
共 64 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光学石英玻璃的合成制备和应用被引量：1
2017年
光学石英玻璃因其优异的综合性能而成为激光核技术、航空航天、半导体集成电路、光电器件和精密仪器等高端光电子技术领域不可或缺的关键光学材料。重点介绍了化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等光学石英玻璃合成制备工艺的优缺点、发展现状、材料性能与应用等。
聂兰舰王玉芬向在奎饶传东王慧
关键词：光学材料石英玻璃合成制备半导体集成电路光电子技术综合性能
石英玻璃的制备方法及石英玻璃
本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解...
聂兰舰向在奎贾亚男王蕾邵竹锋王慧张辰阳符博王玉芬
石英玻璃中羟基对其性能的影响
化学气相沉积合成石英玻璃中羟基主要以三种形式存在,即孤立羟基、相邻羟基和强氢键羟基。由于羟基存在结构形式不同,它对石英玻璃理化性能的利害作用也不同。本文主要概述了均化工艺对合成石英玻璃中羟基含量的影响,以及羟基存在结构形...
符博王慧贾亚男王蕾邵竹锋聂兰舰向在奎
关键词：石英玻璃羟基性能特点
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石英玻璃的制备方法及石英玻璃
本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶...
聂兰舰向在奎贾亚男王蕾邵竹锋王慧张辰阳符博王玉芬
文献传递
石英玻璃的制备方法及石英玻璃
本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解...
聂兰舰向在奎贾亚男王蕾邵竹锋王慧张辰阳符博王玉芬
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制备石英玻璃砣的沉积炉
本实用新型公开了一种制备石英玻璃砣的沉积炉，包括：炉体，所述炉体由炉顶、炉壁和炉底组成，所述炉顶、炉壁和炉底围成炉膛；燃烧器，设置于炉顶；基础杆，自所述炉底垂直伸入到所述炉膛内，所述基础杆可相对于炉体在垂直方向上移动，所...
王玉芬聂兰舰向在奎饶传东王宏杰刘飞翔
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制备石英玻璃的烧结方法及石英玻璃
本发明是关于一种制备石英玻璃的烧结方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制备领域，主要目的在于避免或降低间接合成法工艺制备石英玻璃中气泡的产生，以及提高石英玻璃的烧结效率、降低成本。用于将二氧化硅疏松体在烧结空间中进行烧结；所述方...
聂兰舰向在奎饶传东王蕾刘飞翔邵竹锋王慧王宏杰贾亚男符博张辰阳王玉芬
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卤素对石英玻璃的影响
石英玻璃以其优越的物理、化学性能被广泛应用于航空、航天及各高新技术领域,而卤素的存在会对石英玻璃的性能产生影响。卤素对石英玻璃的影响主要涉及氟和氯两种元素对石英玻璃结构、性能的影响两个方面,本文综合国内外关于氟和氯对石英...
贾亚男聂兰舰王蕾张辰阳符博
关键词：石英玻璃卤素结构弛豫
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一种间接合成石英玻璃的方法及其专用设备以及一种石英玻璃
本发明一种间接合成石英玻璃的方法及其专用设备以及一种石英玻璃，属于玻璃制造领域。该方法包括：1)将四氯化硅原料气在600-1200℃的氢氧火焰中反应，使四氯化硅水解或氧化生成纳米二氧化硅微粒，纳米二氧化硅微粒再经沉积形成...
聂兰舰宋学富向在奎隋梅王玉芬
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半导体刻蚀用耐久性石英玻璃制备及发展现状被引量：1
2018年
高性能石英玻璃材料及制品是半导体集成电路制造过程不可或缺的关键配套辅材．本文介绍了半导体刻蚀工艺原理、刻蚀过程用石英玻璃材料情况、在此基础上，重点介绍了国内外半导体刻蚀用耐久性石英玻璃掺杂元素种类、含量、熔制工艺等制备技术，以及对刻蚀速率的影响。
聂兰舰向在奎贾亚男张辰阳王蕾
关键词：半导体集成电路刻蚀速率耐久性玻璃制备
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