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蒋宾

作品数：18 被引量：15H指数：2
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>
发文基金：上海市教育委员会重点学科基金上海市科学技术委员会资助项目上海市科委科研计划项目更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 3篇一般工业技术

主题

  • 5篇衬底
  • 4篇红外
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇电容
  • 3篇入射
  • 3篇入射光
  • 3篇金属连线
  • 2篇电偶
  • 2篇电容量
  • 2篇多频
  • 2篇多频段
  • 2篇压痕
  • 2篇凸起
  • 2篇频段
  • 2篇热电偶
  • 2篇热电偶传感器
  • 2篇微桥结构
  • 2篇纳米

机构

  • 18篇上海集成电路...
  • 3篇复旦大学

作者

  • 18篇蒋宾
  • 9篇康晓旭
  • 4篇周伟
  • 3篇吴子景
  • 3篇吴晓京
  • 3篇全冯溪
  • 2篇李佳青
  • 2篇姚峰英
  • 2篇赵宇航
  • 2篇王勇
  • 1篇卢意飞
  • 1篇左青云
  • 1篇胡少坚
  • 1篇任铮
  • 1篇王彬
  • 1篇何波
  • 1篇陈虹
  • 1篇卢茜
  • 1篇陈寿面
  • 1篇黄寅

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇复旦学报（自...
  • 1篇西安交通大学...

年份

  • 1篇2023
  • 4篇2022
  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2016
  • 2篇2013
  • 1篇2011
  • 4篇2008
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
红外探测器及其制备方法
本申请提供一种红外探测器及其制备方法，涉及红外探测器技术领域，该红外探测器包括基底、牺牲层以及微桥结构；牺牲层设置在基底上，牺牲层内设置有连接孔；微桥结构的部分设置在所述连接孔内，且位于该连接孔内的所述微桥结构与设置在所...
康晓旭蒋宾
文献传递
纳米压痕试验在纳米材料研究中的应用被引量：11
2008年
纳米材料由于其本身特殊的尺度,呈现出与体材料完全不同的力学、摩擦学性质.纳米压痕试验作为一种在纳米尺度进行力学、摩擦学性质表征的有效手段,已经被成功地运用于单层/多层薄膜、超薄膜、纳米线/管等纳米材料的纳米摩擦学研究中.在硬度、弹性模量的测量以及弹性/塑性形变、应变强化等现象的研究中已经取得了许多重要的成果.但是,目前的纳米压痕试验还存在着重复性差、精确定量困难、缺少统一的测试标准等问题.寻找解决这些问题的方法,是纳米压痕试验未来发展中的重要课题.
吴晓京吴子景蒋宾
关键词：纳米摩擦学纳米压痕原子力显微镜
SiGe HBT的Mextram 504模型温度参数提取与模型改进被引量：2
2008年
针对IMEC0．13μm准自对准SiGe BiCMOS工艺制成的基区Ge组分二阶分布结构SiGe异质结双极晶体管，在25～125℃温度范围内，对其进行了包括Early电压，Gummel图形等在内的完整双极晶体管特性曲线测量，提取了该器件在25～125℃范围内的温度可变Mextram 504模型参数．在此基础上，为Mextram 504模型对0．13μm基区Ge组分二阶分布SiGe异质结双极晶体管探索了完整的模型提取方案．提出了对Mextram 504模型温度参数提取方法的改进，优化了提取流程．对SiGe异质结双极晶体管雪崩电流受温度影响的特性进行了讨论，为Mextram模型提出了雪崩外延层的有效厚度的温度变化经验公式和新的雪崩电流温度变化参数，提高了Mextram模型对不同温度下SiGe双极型晶体管进行模拟仿真的精确度．
任铮胡少坚蒋宾王勇赵宇航
关键词：异质结双极晶体管
光学探测器及其制造方法
本发明提供了一种光学探测器及其制造方法。所述光学探测器包括衬底、微桥、若干介质结构和反射结构。所述反射结构的受光面包括若干第一反射凸起和若干第二反射凸起，所述若干第一反射凸起与所述若干介质结构一一对应排布，至少一个所述第...
康晓旭张南平蒋宾蔡巧明陈武佳姚峰英李佳青
Cu／Ta／SiO2／Si薄膜在纳米压痕下的分层现象研究被引量：1
2008年
采用磁控溅射技术在热氧化单晶硅衬底上先后淀积了厚度分别为50 nm的Ta膜和400 nm的Cu膜。使用纳米压入仪在样品表面进行压入测试,在薄膜表面制造出残留压痕。使用扫描电镜(SEM)、聚焦离子束(FIB)、透射电镜(TEM)和X射线能谱仪(EDX)对残留压痕形貌、剖面上的分层现象进行观察,确定分层所在的位置。发现在69 mN的最大载荷作用后,在Ta/SiO2界面处发生分层。分层的原因主要归结为在应力作用下,多层膜中各种材料的应变、弹性恢复能力不同。
吴子景吴晓京卢茜Shen Weidian蒋宾
关键词：纳米压痕
一种金属-氧化物-金属电容的制造方法
本发明提供一种MOM电容的制造方法，其包括在晶圆基底上，沉积以High-K介质作为材料的第一绝缘介质层；通过光刻和刻蚀定义第一绝缘介质层介质图形；在晶圆表面沉积以常规介质或low-k介质作为材料的第二绝缘介质层；使用化学...
全冯溪周伟蒋宾
文献传递
光学探测器及其制造方法
本发明提供了一种光学探测器及其制造方法。所述光学探测器包括衬底、微桥、若干介质结构和反射结构。所述反射结构的受光面包括若干第一反射凸起和若干第二反射凸起，所述若干第一反射凸起与所述若干介质结构一一对应排布，至少一个所述第...
康晓旭张南平蒋宾蔡巧明陈武佳姚峰英李佳青
红外传感器结构及其制备方法、探测系统
本发明提供了一种多频段输出的红外传感器结构，具有多个探测单元，每个探测单元具有传感结构，每个所述传感结构的顶部设置有频谱过滤结构，用于入射光的选择性透过，从而实现每个探测单元对入射光的选择性吸收；多个探测单元中至少一部分...
康晓旭蒋宾
文献传递
一种金属-介质-金属电容及其制造方法
本发明涉及一种金属‑介质‑金属电容及其制造方法。通过本发明的电容及其制造方法，可以将具有较高介电常数的介质层的电容集成到采用常规或者较低介电常数介质的后道互连工艺中，从而可以实现在大容量集成电容的时候，提高电容的面积利用...
周伟全冯溪蒋宾
文献传递
热电偶传感器及其制备方法
本发明提供了一种热电偶传感器及其制备方法。所述热电偶传感器的衬底内设置有内腔结构和阻挡结构，所述阻挡结构围设于所述内腔结构的开口端部，避免了使用复杂的背面工艺形成背腔，有效降低了工艺成本；通过所述阻挡结构控制所述内腔结构...
康晓旭钟晓兰蒋宾
文献传递
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