蔡清元
- 作品数：96 被引量：20H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
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- 相关领域：理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 用于海洋水色定量化遥感的光学薄膜技术
- 2023年
- 以海洋一号C/D卫星中国水色水温扫描仪[COCTS (HY-1C/D)]的光学薄膜研制为例,介绍了海洋水色定量化遥感中应用的光学薄膜技术。在单片基片的不同通道区域依次镀制多块滤光膜以抑制杂散光的产生,充分研究了光束空间角频率分布带来的光谱及偏振影响,实现了5%带宽的定位精度,将通道滤光膜对偏振灵敏度的影响降到0.3%以下,采用双离子束溅射工艺来保证膜层的可靠性和光谱性能。此外,通过光学薄膜元件的偏振调控设计以及元件间的偏振补偿,实现了系统偏振灵敏度达到国际先进水平,0°扫描角时的平均偏振灵敏度小于1%。光学薄膜技术的应用有效提升了海洋水色的定量化遥感质量,结合大气校正,COCTS (HY-1C/D)获得的水色产品数据量化精度与美国的中分辨率成像光谱仪(MODIS)和可见光红外成像辐射仪(VIIRS)相当。
- 蔡清元冯旗陈刚宋庆君黄小仙于天燕丁静李耀鹏刘保剑刘建强段微波刘定权
- 关键词：海洋光学光学薄膜偏振灵敏度
- 薄膜生长设备中近红外宽光谱监控系统的研制
- 薄膜材料与器件已大量应用于微电子、光通讯、光传感、光存储等光电子产业中,应用前景光明。为了提高薄膜质量,通常需要对薄膜生长过程进行实时监控。宽光谱监控方法因其能实时追踪薄膜光谱的变化,并能监控非λ/4膜系而逐渐为人们所关...
- 郑玉祥陈良尧张荣君陆卫杰蔡清元张冬旭
- 文献传递
- 硅纳米晶光学常数随温度变化特性研究
- 本文自行研制了一套可控变温样品室装置，对硅纳米晶薄膜进行加热实验，并基于洛伦兹色散模型，对实验获得的椭偏参数进行拟合，得到不同温度下的nc-Si和SiO2的复合层折射率随温度的变化关系。实验结果表明镶嵌在二氧化硅中的硅纳...
- 林崴郑玉祥蔡清元张冬旭吴康宁张荣君陈良尧
- 关键词：光学性质温度效应
- 不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的光学特性研究被引量：4
- 2014年
- 光学薄膜的光学特性是薄膜设计与制备的基础。硅材料是红外光学薄膜中一种重要的高折射率材料。研究了在不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的折射率和消光系数的变化。结果表明,在200℃时,硅薄膜折射率最大,消光系数随温度升高而减小。
- 罗海瀚蔡清元李耀鹏刘定权
- 关键词：非晶硅光学特性沉积温度
- 一种温度可变椭圆偏振仪样品室装置及其变温方法
- 本发明属于光学电子器件技术领域，具体为一种温度可变椭圆偏振仪样品室装置及变温方法。该装置包括气瓶，气阀，电磁阀，杜瓦瓶，样品室，样品台，加热电阻器，温度传感器，温度控制器等。样品室分成上腔体和下腔体两部分，下腔体呈长方体...
- 郑玉祥蔡清元陈良尧张荣君李晶王松有杨月梅
- 文献传递
- 一种偏振方向可控光强不变的线偏振光产生装置
- 本发明公开了一种偏振方向可控光强不变的线偏振光产生装置。该装置包括转台、光筒、光源、准直透镜组、滤光片组合和起偏器。各部件按光路顺序装入光筒，光筒安装在转台上；光源为白光光源；准直透镜组为消色差透镜组；滤光片组合为多种带...
- 蔡清元冯旗刘定权刘宝丽罗海瀚冯鑫周靖马小凤孔园园王凯旋
- 文献传递
- 基于等离激元纳米结构非对称集成的二维材料自驱动光响应增强的研究进展(特邀)
- 2021年
- 金属-二维材料-金属是最常见的二维材料光探测器件的结构。由于结构简单、易于集成,该类器件受到最广泛的关注和研究。其自驱动光探测的模式具有很低的暗电流,有望成为高性能红外探测的新途径。然而金属-二维材料-金属的自驱动光探测存在两个瓶颈问题:(1)反对称的金属-二维材料结区引起的泛光照射下光响应的抵消;(2)二维材料有限光吸收导致的低响应率。文中介绍了利用等离激元纳米结构的非对称集成引入非对称的光耦合,从而打破泛光照射下二维材料与两端电极接触区域产生的光电流的对称性,实现净的自驱动光响应;同时利用等离激元纳米结构产生的局域强光场提高二维材料光吸收率和光响应率的一系列研究进展。在石墨烯等离激元纳米谐振腔复合结构中,实现两个电极附近的光响应对比度超过100倍,突破了对称光耦合导致的光响应抵消的难题。由于具有将入射光耦合成局域模式的优越能力,等离激元纳米谐振腔比亚波长金属光栅更有效地提高石墨烯响应率一个数量级以上。
- 郭尚坤邓杰周靖张东海余宇邓嘉男蔡清元蔡清元陆卫李志峰
- 关键词：红外探测
- 一种介质金属膜堆的低偏振灵敏度分色膜的制作方法
- 本发明公开了一种介质金属膜堆的低偏振灵敏度分色膜的制作方法，首先基于介质-金属-介质结构的膜堆组合，通过光学导纳技术来确定初步的光学薄膜设计；通过光学薄膜设计软件进行膜系微调和优化，使膜系结构方便监控制作；对基片进行清洗...
- 蔡清元刘定权郑玉祥周靖罗海瀚丛蕊秦杨王曙光刘保剑
- 文献传递
- 硅纳米晶的椭圆偏振光谱研究被引量：3
- 2010年
- 硅纳米晶量子点是硅发光研究领域最有潜力、最重要的一个研究方向。用热蒸发法在硅片上生长了富含硅纳米晶体的SiO2薄膜,观测到嵌埋于SiO2薄膜中硅纳米晶的较强光致发光谱;室温下在可见光区对该薄膜进行了椭圆偏振光谱测量研究。用有效介质近似（EMA）模型结合洛伦兹色散模型对椭偏参数进行了拟合,得到直径分别约为3 nm和5 nm大小的硅纳米晶在约300~830 nm光谱区的光学常数值。这些数据在硅基微纳光子学器件的研究中具有一定的参考价值。
- 张荣君陆卫杰蔡清元俞翔周薇溪郑玉祥陈良尧
- 关键词：薄膜光学光学常数硅纳米晶尺寸效应
- 一种用于光谱设备的光束精确校准辅助装置
- 本发明公开了一种用于光谱设备光束精确校准的辅助装置，它由一个能适应多种光路的空间调整机构和反射镜支撑装置组成空间位置调整机构，由两块可旋转角度反射镜和一块可变光程固定角度反射镜组成V型光路调整机构。该装置能保证不改变原光...
- 周明刘定权蔡清元张莉
- 文献传递
