虞慧娴
- 作品数：33 被引量：26H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺理学自动化与计算机技术更多>>
- 红外探测器用碲锌镉晶体材料的合成技术研究
- 碲锌镉晶体是研制碲镉汞红外焦平面探测器所需的衬底材料，其制备技术由源材料合成、晶体生长、衬底加工和测试评价四个部分组成。本文针对合成工艺中的放热过程和合成料化学计量比的控制方法进行了研究。实验使用可视监控系统观测了碲锌镉...
- 徐超周昌鹤孙士文虞慧娴杨建荣
- 关键词：碲锌镉衬底红外
- 一种利用温度梯度合成碲锌镉多晶的合成装置
- 本专利公开了一种利用温度梯度合成碲锌镉多晶的合成装置。本合成装置包括加热氧化铝炉膛，内衬炉膛，控温系统，反应器皿，且可以进行两段独立或联合升降温。所述方法通过改变高温区和低温区的温场分布来实现温度梯度的调控，通过改变晶料...
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- 文献传递
- 一种无蜡磨抛碲锌镉晶片的方法
- 本发明公开了一种无蜡磨抛碲锌镉晶片的方法，首先设计制作磨抛夹具转接盘，将转接盘水平放置在磨抛夹具吸附平面上，再将晶片放置在转接盘的中央以覆盖转接盘上的所有真空导流小孔。然后，将研磨夹具与真空发生器相连接，晶片被吸附固定。...
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- 文献传递
- 一种快速揭示碲锌镉晶体各类缺陷的方法
- 本发明公开了一种快速揭示碲锌镉晶体各类缺陷的方法，该方法先使用体积分数为3％-5％的溴甲醇溶液，对单晶材料(111)B面进行30-60分钟的化学减薄，去除材料加工损伤层，获得表面光亮平整的样品。再使用Everson腐蚀液...
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- 文献传递
- 碲锌镉衬底研究进展
- 碲锌镉是制备碲镉汞红外焦平面探测器的一种理想衬底材料。本文介绍了上海技术物理研究所在碲锌镉衬底研制方面的最新进展。采用垂直布里奇曼法实现了Ф90mm单晶的常规生长,可以小批量制备50×50 mm~2衬底。成功试验生长了Ф...
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- 关键词：碲锌镉CDZNTEEPD夹杂
- 文献传递
- X射线衍射形貌术在碲锌镉晶体中的应用被引量：3
- 2014年
- 碲锌镉晶体中存在着各种典型晶体缺陷,X射线衍射形貌术是一种非破坏性地整体研究晶体材料结构完整性、均匀性的有效方法。本文将反射式X射线衍射形貌术应用于碲锌镉晶体质量的评价,研究了入射线狭缝宽度、积分时间、扫描步长等测试参数以及样品表面加工状态对X射线衍射形貌的影响。结果表明入射线狭缝宽度对碲锌镉晶体的X射线衍射成像及晶体质量筛选应用影响很大,积分时间、样品扫描步长等测试参数的选择与入射线狭缝宽度密切相关。
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- 关键词：碲锌镉晶体缺陷
- 碲锌镉衬底研究进展
- 碲锌镉是制备碲镉汞红外焦平面探测器的一种理想衬底材料。本文介绍了上海技术物理研究所在碲锌镉衬底研制方面的最新进展。采用垂直布里奇曼法实现了Φ90mm单晶的常规生长，可以小批量制备50×50mm2衬底。成功试验生...
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- 关键词：碲锌镉CDZNTEEPD夹杂
- 碲锌镉衬底晶片切割损伤层的检测与控制研究
- 本文提出了梯度化学减薄腐蚀法对碲锌镉衬底晶片的切割损伤层厚度进行检测,先使用体积分数为1%-5%的溴甲醇溶液,对晶片(111)B面进行10-30分钟的化学梯度减薄,获表面为斜面的样品。再使用Everson腐蚀液揭示晶体的...
- 虞慧娴孙士文储远洋周梅华周昌鹤徐超杨建荣
- 关键词：损伤层碲锌镉
- 文献传递
- CZT晶体用化学机械抛光液的制备及其性能研究被引量：1
- 2015年
- 化学机械抛光工艺是碲锌镉(Cadmium Zinc Telluride,CZT)晶体表面处理的关键技术之一。其中,化学机械抛光液是影响晶片表面质量的重要因素。目前用于CZT晶片的抛光液主要是依靠进口的碱性抛光液,这严重制约了我国CZT晶体研究的发展。采用硅溶胶和次氯酸钠(NaClO)溶液作为主要原料,制备了碱性化学机械抛光液。然后采用该抛光液对CZT晶片表面进行了化学机械抛光,并对抛光表面进行了表征。实验结果表明,抛光后晶片表面的粗糙度小于2 nm,因此采用硅溶胶-次氯酸钠碱性抛光液可制备出高质量的CZT抛光表面。
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- 关键词：化学机械抛光CZT粗糙度
- 表面处理对Au-CdZnTe电极接触性能的影响被引量：2
- 2016年
- 碲锌镉(CdZnTe)是制备X射线、γ射线探测器的一种理想半导体材料。CdZnTe欧姆接触电极是制备CdZnTe核辐射探测器的关键技术之一。表面加工状态是影响欧姆接触性能的重要因素,文中研究了4种表面处理工艺对Au-CdZnTe电极接触性能的影响。研究发现对晶片表面进行溴甲醇腐蚀处理和机械化学抛光均有助于提升Au-CdZnTe电极欧姆接触性能。对晶片进行机械化学抛光后再进行溴甲醇腐蚀处理,使用这种晶片所制备的电极具有更加优良的综合电学性能。
- 张大众朱丽慧孙士文周昌鹤虞慧娴徐超
- 关键词：碲锌镉表面处理欧姆接触
