袁镇海 作品数:44 被引量:101 H指数:6 供职机构: 广州有色金属研究院 更多>> 发文基金: 广东省自然科学基金 更多>> 相关领域: 金属学及工艺 一般工业技术 电子电信 理学 更多>>
几类硬质薄膜的摩擦磨损性能测试 摩擦磨损试验机考察了几类复合硬质薄膜的摩擦磨损行为,结果表明:复合薄膜的摩擦磨损性能均极大提高.CrN基复合薄膜的硬度与抗磨损性能均较CrN薄膜有极大提高;Al/AlN纳米多层膜具有软质Al层和硬质AlN层的交替结构,在... 华敏奇 张广安 袁镇海 张莎莎关键词:硬质薄膜 动态加载往复摩擦磨损试验对薄膜检测的应用研究 本文应用变加载往复摩擦磨损试验仪,对喷涂膜、气相沉积薄膜、电镀薄层等做定量评价。现有的一些对薄膜(包括装饰膜)的评价方法只能对单一的摩擦磨损指标进行评价,而变加载往复摩擦磨损试验可以相对综合地反应一般工况条件下的摩擦磨损... 华敏奇 袁镇海 于德洋 张莎莎关键词:真空镀膜 动态加载 文献传递 真空阴极电弧沉积TiN超硬膜的研究 被引量:5 1993年 研究了真空阴极电弧法沉积 TiN 超硬膜的工艺和应用.结果表明,氮气分压强和负偏压对膜层的结构和性能有很大影响,在氮气分压强为1.30Pa,负偏压为—300V 时沉积的膜层表面"钛滴"少,膜层致密,为细柱状晶和粒状晶结构,具有(220)和(111)织构,硬度可达到 Hv2100以上,涂层钻头寿命达到了未涂覆涂层钻头的6.7倍. 袁镇海 罗广南 谢致薇 戴达煌关键词:氮化钛 VCAD法沉积氮化钛膜的X-射线研究 被引量:2 1992年 用 VCAD 法在不锈钢和工模具钢基体上沉积均匀、致密的 TiN 膜时,TiN 膜的色泽、结晶取向和点阵常数均可能随着工艺参数的改变而改变,论文作者用 XRD 法研究了不同条件下该 TiN 膜的结构和点阵常数的变化,以及择优取向度,并对膜的行为差异作了分析,结果表明:随着涂层中氮含量的增加,点阵常数值增大;TiN_x 的色泽与氮含量有关;择优取向主要取决于偏压。 刘兴诚 袁镇海 戴达煌 罗广南 谢致薇关键词:X-射线 广东省离子镀硬质膜的进步与展望 近年来,广东省离子镀硬质膜有长足的发展,在镀膜设备升级、镀膜新技术的应用、镀膜产品与新膜系及工艺的开发、膜层性能检测与质量管理水平都有很大的进步;同时,广东的硬质膜市场日益扩大,且出现许多新产品领域,对膜层提出许多新要求... 袁镇海关键词:离子镀 硬质膜 镀膜设备 文献传递 阴极电弧沉积TiN薄膜研究 被引量:7 1992年 对真空阴极电弧沉积TiN装饰膜的沉积工艺和膜层性能的关系进行了研究。结果表明:适当选择N_2分压和负偏压对于改善基体表面离子轰击清洗效果、减少液滴分布、保证膜层颜色和提高膜层耐蚀性至关重要。另外,X射线织构分析表明:(220)织构随负偏压加大而增加,而(111)织构则随N_2分压增大而增加,这可由离子轰击诱导织构效应解释。 谢致薇 罗广南 袁镇海 戴达煌关键词:氮化钛 真空 RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究 被引量:3 2006年 采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法(RF—PCVD)低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜(DLC),主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压U2、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响.试验结果表明,外加磁场B制约了带电粒子逃逸出电极空间,提高了反应气体的离化率及等离子体浓度和活性,并使非独立变量Pf和Uz成为独立变量,有利于工艺调节.当极间距大时,需适当提高Pf,Uz和C-H流量才可得到无色、较硬的DLC膜.在比功率密度大于0.009W·cm^-2·Pa^-1、C-H浓度即体积分数0.9%~1.4%及膜厚小于90nm的条件下,可沉积出无色透明、硬度较高的DLC膜. 朱霞高 侯惠君 林松盛 袁镇海 戴达煌关键词:类金刚石膜 磁感应强度 RF-PCVD制备无色透明类金刚石保护膜的研究 本文在传统的RF-PCVD设备上采用磁约束增强技术,在玻璃上低温沉积(小于150℃)出优质无色透明类金刚石保护膜(Diamond-like Carbon,DLC)。膜/基可见光透光率高(大于90%),有相当高的硬度(HV... 朱霞高 林松盛 侯惠君 袁镇海 戴达煌关键词:无色透明 类金刚石膜 文献传递 一种类金刚石复合扬声器振膜的制备方法 本发明是一种类金刚石复合扬声器振膜的制备方法。本发明采用真空阴极电弧源,使用石墨作阴极靶,运用真空阴极石墨电弧产生的碳等离子体,在被镀振膜上沉积类金刚石膜层。可以批量生产性能优异的各种形状规格的类金刚石复合扬声器振膜。它... 袁镇海 林松盛 侯惠君 李似聪 朱霞高文献传递 金刚石和类金刚石膜研究及其在电声领域中的应用 被引量:8 1995年 金刚石和类金刚石膜是当今材料界的研究热点之一,有着极其诱人的应用前景。本文简要综述了该膜系的发展过程和现在水平。并结合作者自己的研究工作,对膜系应用于扬声器振膜上以提高其高频响应范围的研究和应用工作进行较全面的调研,综述了国内外在该领域的最新进展。 罗广南 谢致薇 郑健红 袁镇海 邓其森 戴达煌关键词:金刚石膜 类金刚石膜