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赵红雨
作品数:
6
被引量:23
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海硅酸盐研究所
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相关领域:
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合作作者
胡行方
中国科学院上海硅酸盐研究所
宋力昕
中国科学院上海硅酸盐研究所
范秋林
中国科学院上海硅酸盐研究所
张涛
中国科学院上海硅酸盐研究所
赵丽丽
中国科学院上海硅酸盐研究所
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1篇
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2004
1篇
2002
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物理气相沉积纳米复相氮化钛-氮化铝超硬薄膜(中科院)
宋力昕
范秋林
赵红雨
张涛
赵丽丽
胡行方
人们总希望使用的工具具有良好的耐摩擦磨损性能,自1994年德国科学家Veprek等提出纳米复合超硬薄膜概念以来,该材料已成为当今材料科学研究的热点之一。纳米复合超硬薄膜由镶嵌在非晶基体材料中的纳米晶粒组成,具有优异的力学...
关键词:
关键词:
超硬薄膜
氮化钛
Ti-Si-N纳米复合超硬薄膜制备与性能
本文所提纳米复合结构薄膜是指一种或几种纳米晶粒镶嵌在另一种无定形基质中的薄膜,例如过渡金属氮化物纳米晶粒镶嵌在无定形氮化硅基质中构成的薄膜。纳米复合结构薄膜因其优异的力学性能与高温热稳定性,具有广泛的应用前景,引起了国内...
赵红雨
关键词:
超硬材料
复合结构
气相沉积
文献传递
物理气相沉积纳米复相氮化钛-氮化铝超硬薄膜
宋力昕
范秋林
赵红雨
张涛
赵丽丽
胡行方
该项目研发了磁约束电感耦合等离子体增强物理化学气相沉积薄膜复合系统,并以此为成膜手段,TiN-Si3N4为材料研究体系,烧结TiSix合金为靶材和氮气为反应气体,在单晶硅衬底上制备了纳米复合薄膜样品,并对典型样品分别在9...
关键词:
关键词:
超硬薄膜
电致变色材料红外反射调制特性的探讨
电致变色材料具有的电致变色效应使其在着色态与漂白态时的光学常数发生改变,本文通过对电致变色器件膜系的光学模拟计算,证实了电致变色器件可以通过离子的注入与抽出使其具有可观的红外反射率及发射率调制性.文中并通过对直流反应溅射...
章俞之
彭晓峰
黄银松
赵红雨
李莹
曹韫真
宋力昕
胡行方
关键词:
发射率
电致变色材料
调制特性
飞行器
文献传递
纳米复合超硬薄膜的研究现状
被引量:21
2004年
自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.
赵红雨
范秋林
宋力昕
施尔畏
胡行方
关键词:
超硬薄膜
纳米复合结构
CVD
磁控溅射
磁约束电感耦合等离子体增强反应溅射沉积nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合薄膜
被引量:2
2004年
介绍一种新型磁束缚电感耦合等离子体增强的物理化学气相沉积复合系统,并用该系统通过反应磁控溅射TiSi合金靶,在氩气和氮气等离子体作用下,在单晶硅衬底上制备了nc-TiN/a-Si3N4纳米复合薄膜.扫描电子显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱仪和高分辨率透射电子显微镜的分析和观察结果清晰地表明该薄膜是具有纳米结构的复合薄膜,主要由镶嵌在非晶态Si3N4基体中的TiN纳米晶粒组成,TiN晶粒的尺寸约为3nm.
范秋林
赵红雨
宋力昕
张涛
胡行方
关键词:
纳米复合薄膜
氮化钛
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