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高功申
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国地质大学(北京)
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发文基金:
国际科技合作与交流专项项目
教育部科学技术研究重点项目
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
王伟
中国地质大学北京
彭志坚
中国地质大学北京
周家斌
中国地质大学北京
付志强
中国地质大学北京
于翔
中国地质大学北京
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周家斌
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王伟
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稀有金属材料...
年份
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2011
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渐变Ni-AlN选择性吸收涂层的中频溅射技术研究
被引量:1
2011年
探讨Ni-AlN复合膜和渐变Ni-AlN选择性吸收涂层的中频溅射技术。结果表明:随着镍靶电流增加和铝靶电流减小,铝靶溅射由金属模式向反应模式转变对应的临界氮气流量降低,制备的Ni-AlN复合膜中镍含量增加,铝含量和氮/铝原子比减少,更容易产生游离铝。随着单层复合材料吸收层沉积时间的增加,Ni-AlN选择性吸收涂层由梯度渐变结构变成多层膜结构,在可见光范围的反射率降低;当单层复合材料吸收层沉积时间为10min时,Ni-AlN选择性涂层在可见光范围的反射率约为10%,具有良好的光谱选择性。
付志强
王成彪
周家斌
高功申
王伟
彭志坚
于翔
关键词:
复合膜
选择性吸收涂层
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