高勋银
- 作品数:9 被引量:10H指数:2
- 供职机构:广东工业大学机电工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺电子电信更多>>
- 增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置的加工方法
- 本发明是一种增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置的加工方法。其中加工装置包括保护装置、激光束、透镜组、容器、限制层,容器所设中空腔体内装设有工作液体,工件放置在工作液体的表面并与工作液体接触,保护装置装设在工件的顶面,...
- 谢小柱魏昕胡伟苑学瑞胡满凤高勋银
- 文献传递
- 一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置
- 本实用新型是一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置,加工装置主要包括:保护装置、激光束、透镜组、容器、限制层、悬浮颗粒、进气管,容器所设空腔内装有工作液体;在激光作用下工作液在基材下表面产生沉积层,固液接触面处液体中的悬浮...
- 谢小柱高勋银魏昕胡伟胡满凤黄显东
- 文献传递
- 激光诱导空泡技术研究和应用新进展被引量:5
- 2013年
- 可控性强的激光诱导空泡可用于科研和工程实践。阐述了激光诱导空泡中蒸气空泡及等离子空泡的产生机制,分析了其液体属性以及外界环境因素对激光诱导空泡产生过程的影响规律,介绍了激光诱导空泡技术在微电子行业、生物医学、纳米材料的制备和材料处理等领域的应用。
- 谢小柱苑学瑞陈蔚芳魏昕胡伟胡满凤高勋银
- 关键词:激光技术
- 一种激光成形切割蓝宝石基片的加工方法和装置
- 本发明公开了一种激光成形切割蓝宝石基片的加工方法和装置,加工装置主要包括:保护装置、激光束、透镜组、容器、限制层、悬浮颗粒、进气管,容器所设空腔内装有工作液体;在激光作用下工作液在基材下表面产生沉积层,固液接触面处液体中...
- 谢小柱高勋银魏昕胡伟胡满凤黄显东
- 文献传递
- 一种激光成形切割蓝宝石基片的加工方法和装置
- 本发明公开了一种激光成形切割蓝宝石基片的加工方法和装置,加工装置主要包括:保护装置、激光束、透镜组、容器、限制层、悬浮颗粒、进气管,容器所设空腔内装有工作液体;在激光作用下工作液在基材下表面产生沉积层,固液接触面处液体中...
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- 增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置及加工方法
- 本发明是一种增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置及加工方法。其中加工装置包括保护装置、激光束、透镜组、容器、限制层,容器所设中空腔体内装设有工作液体,工件放置在工作液体的表面并与工作液体接触,保护装置装设在工件的顶面,...
- 谢小柱魏昕胡伟苑学瑞胡满凤高勋银
- 文献传递
- 脉冲绿激光划切蓝宝石基片的工艺参量研究被引量:2
- 2014年
- 为了提高划切蓝宝石的成品率和划切效率,研究了脉冲绿激光(波长532nm)的偏振性、脉冲激光能量、激光焦点位置、扫描速率、扫描次数等工艺参量对蓝宝石基片划切质量的影响。结果表明,脉冲绿激光划切蓝宝石基片时,扫描方向平行于入射面线偏振方向,焦点位置为负离焦50μm,可以获得良好的微划槽;脉冲激光能量增加,划槽深度和宽度增加;扫描速率增加,切槽深度减小,划槽宽度先增加后减小;扫描次数增加,划槽深度和宽度增加。这些结果对合理选择激光划切蓝宝石基片工艺参量以获得较好质量的刻槽有一定帮助。
- 谢小柱高勋银陈蔚芳魏昕胡伟
- 关键词:激光技术蓝宝石532NM激光
- 激光诱导背向湿式刻蚀过程中工作液体的研究被引量:3
- 2020年
- 为了使用低成本的红外光纤激光器对蓝宝石进行高效率高质量的加工,采用激光诱导背向湿式刻蚀方法进行了理论分析和实验验证,研制了一种新型的活性高且稳定性高的混合溶液,硫酸铜的质量浓度为28g/L、次磷酸钠的质量浓度为40g/L、氨水的质量浓度为45g/L、pH值为12。在相同的加工条件下,采用硫酸铜水溶液和混合溶液对蓝宝石进行切割。结果表明,蓝宝石在混合溶液中的切割效率高出硫酸铜水溶液中的5倍左右;采用混合溶液对蓝宝石进行成形切割,加工出了高质量的异形蓝宝石零件。此研究对提高低功率激光作用下蓝宝石的加工效率有一定的指导意义。
- 谢小柱周彩霞高勋银高勋银任庆磊
- 关键词:激光技术蓝宝石
- 增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置
- 本实用新型是一种增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置。其中加工装置包括保护装置、激光束、透镜组、容器、限制层,容器所设中空腔体内装设有工作液体,工件放置在工作液体的表面并与工作液体接触,保护装置装设在工件的顶面,限制层...
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