于明岩
- 作品数：13 被引量：24H指数：3
- 供职机构：哈尔滨理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金哈尔滨市科技创新人才研究专项资金黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学更多>>
- 一种AlN陶瓷基热隔离结构四单元阵列气体传感器及其制作方法
- 一种AlN陶瓷基热隔离结构四单元阵列气体传感器及其制作方法，涉及一种气体传感器及其制造方法。解决了目前的硅基微热板集成阵列气体传感器在热稳定性差及硅基微热板集成阵列气体传感的成膜工艺复杂、高温下硅基存在热失配的问题。本发...
- 赵文杰刘丛宁施云波于明岩周真
- 文献传递
- 微纳系统电子束光刻关键技术及相关机理研究
- 电子束光刻技术在微纳系统的集成电路光掩模制造领域具有不可替代的作用，是推动微纳系统特征尺寸不断降低的关键技术，同时也是纳米电子学、纳米光学以及半导体量子结构制作等科学研究领域中不可或缺的加工手段。电子束光刻技术的性能不仅...
- 于明岩
- 关键词：电子束光刻集成电路
- 液晶光学相控阵子阵列寻址电极的加工工艺
- 2014年
- 基于液晶光学相控阵(LCOPA)电极基板的子阵列连接方案,利用电子束直写和激光直写混合光刻技术,进行了通光区域电极条纹、外围电路和子阵列联络孔的微纳米加工工艺研究。结果表明利用激光直写技术,可以形成最小线宽0.5μm的液晶光学相控阵电极图案,曝光时长48 min,具备可制造性。利用富含导电颗粒的SX AR-PC5000/90.1涂层,可以有效解决电子束在绝缘玻璃基底上直写时由电荷积累所产生的电子束曝光场拼接偏移与火花放电等问题,保证了电子束直接曝光子阵列电极上下导电层之间的联络孔套刻精度。利用特定电子束直写对准标记,解决了绝缘体表面在混合光刻中套刻对位精度问题。
- 尹聿海徐林王鹏罗媛杨宁史俊锋于明岩陈宝钦
- 关键词：微纳加工激光直写光刻
- 基于BP算法的传感器单气体定量识别被引量：5
- 2011年
- 气体的定性识别与定量分析一直是气体检测领域的主要难点,也是气体传感器应用中的研究热点。文中在对多个气体传感器进行气体定性分析和实时数据采集基础上,通过BP网络分析方法,实现了气体的定量识别,然后对训练前后气体浓度的误差进行对比分析,仿真结果表明:平均相对误差均控制在1%以内,最大相对误差控制在2%以内,提高了对气体浓度的预测精度。
- 于明岩施云波赵文杰
- 关键词：气体传感器BP网络
- 应用微波技术抑制光刻胶图形的坍塌与黏连被引量：3
- 2015年
- 针对显影工艺中水的表面张力导致的高高宽比抗蚀剂图形的坍塌及黏连,提出了一种基于微波加热的干燥技术来有效改善纳米抗蚀剂图形的干燥效果。该方法利用微波穿透光刻胶结构直接加热光刻胶图形间隙中残存的去离子水,水分子吸收微波的光子能量迅速蒸发,从而有效地抑制光刻胶图形的坍塌与黏连现象。利用提出的基于微波加热的干燥方法,成功获取了高260nm、宽16nm的光刻胶线条组和直径为20nm的光刻胶柱形阵列,其中高高宽比线条组和由15 625根柱子组成的柱形阵列结构没有出现坍塌及黏连情况,验证了在微波产生的交变电场作用下,可以减小水分子团簇,降低水的表面张力。
- 于明岩施云波赵士瑞郭晓龙徐昕伟景玉鹏陈宝钦
- 关键词：电子束光刻黏连高宽比微波加热
- 一种微波激发的超临界干燥装置及方法
- 本发明公开了一种微波激发的超临界干燥装置及方法，该超临界干燥装置包括：腔室(3)；设置于腔室(3)内盛载待测硅片(5)的石英装置(4)；设置于腔室(3)外且与石英装置(4)连通的真空抽水装置(1)；设置于腔室(3)内侧壁...
- 于明岩景玉鹏郭晓龙赵士瑞徐昕伟
- 一种对纳米图形进行紫外清洗的装置及方法
- 本发明公开了一种对纳米图形进行紫外清洗的装置及方法，该装置包括：反应腔室(1)；设置于腔室内部顶端的紫外灯(2)；设置于腔室内部用来固定待清洗硅片(5)的托盘(4)；设置于托盘下方的加热管(3)；设置于腔室底部且连接于托...
- 赵士瑞景玉鹏于明岩郭晓龙徐昕伟
- 文献传递
- 基于神经网络的电化学多气体传感器数据融合研究
- 随着科技的发展,现如今多种气体已经被应用到工业、农业以及生产生活中,并占有重要地位。在气体（尤其是有毒气体）应用过程中,需要对它们的成分及浓度进行检测,而单一气体传感器大都存在着精度低以及交叉干扰等问题,这就需要研制一个...
- 于明岩
- 关键词：电化学气体传感器BP神经网络数据融合
- 文献传递
- 一种半导体干燥装置及方法
- 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体干燥装置。所述干燥装置，包括：腔室；石英装置，设置于所述腔室内，用于盛载待测硅片；GHz电磁波发生装置，设置于所述腔室内，用于产生交变电场对所述待测硅片进行加热，并且使石英装置...
- 徐昕伟景玉鹏郭晓龙于明岩赵士瑞
- 文献传递
- 一种微波激发的超临界干燥装置及方法
- 本发明公开了一种微波激发的超临界干燥装置及方法，该超临界干燥装置包括：腔室(3)；设置于腔室(3)内盛载待测硅片(5)的石英装置(4)；设置于腔室(3)外且与石英装置(4)连通的真空抽水装置(1)；设置于腔室(3)内侧壁...
- 于明岩景玉鹏郭晓龙赵士瑞徐昕伟
- 文献传递
