刘晓红
- 作品数:73 被引量:105H指数:6
- 供职机构:中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:一般工业技术金属学及工艺机械工程理学更多>>
- ZrO2薄膜在硅烷化单晶硅表面的制备和性能研究
- 利用自组装成膜技术制备ZrO薄膜。应用接触角测定仪、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜分析表征了薄膜的组成和结构。结果表明,通过硅烷偶联剂3-巯丙基-三甲氧基硅烷在单晶硅基底表面的成功组装,获得了较为均匀的硅烷化表面,而Z...
- 王金清杨生荣刘晓红杨祖华
- 文献传递
- 一种多种环境下具有自适应长效润滑性能的金/碳复合薄膜及其制备方法
- 本发明公开了一种多种环境下具有自适应、长效润滑性能的金/碳复合薄膜,是利用磁控溅射技术在基材表面制备了结构包括基材表面的钛打底层、碳/钛混合梯度过渡层、金/碳复合层的复合薄膜,该复合薄膜利用金和不含氢碳的活性位点之间的弱...
- 吉利李红轩裴露露刘晓红周惠娣陈建敏
- 一种耐腐蚀耐磨损低摩擦碳复合薄膜及其制备和在滚动轴承表面的应用
- 本发明公开了一种耐腐蚀耐磨损低摩擦碳复合薄膜,应用于海洋环境中滚动轴承表面具有优异的耐腐蚀性能、低摩擦系数、长耐磨寿命等特点,属于真空镀膜技术领域和轴承表面处理技术领域。本发明采用闭合磁场‑多靶溅射沉积技术,以Ti和石墨...
- 李红轩刘晓红吉利许文举赵旭张瑞周惠娣陈建敏
- 采用磁控溅射法制备真空电接触部件金导电润滑薄膜的方法
- 本发明公开了一种采用磁控溅射法制备真空电接触部件金导电润滑薄膜的方法,其特点是采用磁控溅射法制备,在预镀部件上施加超低温冷却,促使晶粒细化,膜层显微结构极其致密,大幅改善了金薄膜的硬度和耐磨性能,赋予其在真空条件下展现了...
- 吉利李红轩谢博华刘晓红周惠娣陈建敏
- 采用闭合场-磁控溅射沉积技术制备碳基多层薄膜的方法
- 本发明公开了一种采用闭合场‑磁控溅射沉积技术制备碳基纳米多层薄膜的方法,是以石墨靶、金属靶为溅射靶材,以氩气,碳氢气体为反应气源,通过气相沉积系统在基底上原位自形成金属或金属碳化物层与碳层交替排列的多层结构。本发明将金属...
- 李红轩王伟奇吉利刘晓红周惠娣陈建敏
- 文献传递
- 非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能被引量:12
- 2011年
- 利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅基底上沉积了类石墨非晶碳膜。利用X射线光电子光谱、Ram an光谱、高分辨透射电子显微镜及原子力显微镜对沉积薄膜的微观结构进行了详细表征;利用纳米压痕仪和球盘摩擦试验机分别对其力学性能和摩擦学性能进行了测试。结果表明,当前制备的非晶碳膜中sp2杂化碳占主导呈现出类石墨特征,但薄膜硬度可达14.2 GPa。大气环境中的摩擦性能测试表明,所制备的类石墨非晶薄膜具有优异的摩擦学性能:其承载能力高达2.8 GPa,同时具有较低摩擦因数(~0.05)和磨损率(~10-11cm3/Nm)。类石墨碳膜优异的摩擦学性能主要归因于其独特的结构、较低的内应力及良好的热稳定性。
- 王永军李红轩吉利刘晓红吴艳霞周惠娣陈建敏
- 关键词:磁控溅射
- MoS_(2)基复合薄膜真空高温摩擦学性能及其机理研究被引量:3
- 2023年
- 采用闭合场非平衡磁控溅射技术分别制备了纯MoS_(2)薄膜以及MoS_(2)-Ti和MoS_(2)-Ti-TiB2复合薄膜,利用真空高温摩擦试验机对比考察三种薄膜在真空环境中25~300℃下的摩擦学性能,通过拉曼光谱(Raman)、X射线衍射(XRD)和透射电镜(TEM)等分析复合元素对薄膜结构的影响以及摩擦前后薄膜结构的变化,探讨摩擦磨损机理.结果表明:纯MoS_(2)薄膜以(002)和(100)晶面取向生长,结构疏松,硬度低,在真空不同温度下摩擦寿命很短;Ti和TiB2复合后,薄膜呈现致密的非晶结构,硬度升高;MoS_(2)-Ti薄膜在低温下(25和100℃)下具有优异的摩擦学性能,当温度达到200℃以上时,摩擦寿命急剧降低;MoS_(2)-Ti-TiB2复合薄膜在25~300℃全温度范围内都保持低的摩擦系数和磨损率,这与其致密的非晶结构、摩擦界面MoS_(2)(002)晶面有序化以及高硬度耐高温TiB2掺入有关;低温下薄膜以磨粒磨损为主,高温下以擦伤为主.
- 王茹李红轩吉利刘晓红孙初锋
- 关键词:摩擦学性能
- 一种耐空间原子氧辐照的长寿命二硫化钼基复合薄膜的制备方法和应用
- 本发明提供了一种耐空间原子氧辐照的长寿命二硫化钼基复合薄膜及其制备方法和应用,属于固体润滑技术领域。Ti层能够增加二硫化钼基复合薄膜与基底间的结合强度,位于Ti层表面的MoS<Sub>2</Sub>‑LaF<Sub>3<...
- 赵晓琴李红轩居世凡刘晓红吉利周惠娣陈建敏
- 一种高温环境下具有稳定性和抗氧化性能的CrYO薄膜及其制备方法
- 本发明公开了一种高温环境下具有稳定性和抗氧化性能的CrYO薄膜,是利用多弧离子镀技术,以铬靶、钇靶作为阴极靶材,氩气为溅射气源,先在基材表面沉积Cr/Y打底层,再以氧气为反应源沉积CrYO薄膜,并对CrYO薄膜进行退火处...
- 李红轩刘晓红贾丙森吉利周惠娣陈建敏
- 调制周期对CrAl/CrAlN多层薄膜结构及耐腐蚀性能的影响被引量:4
- 2013年
- 采用中频非平衡磁控溅射技术制备CrAl/CrAlN多层薄膜,研究了调制周期对CrAl/CrAlN多层薄膜的微观结构、机械性能和耐腐蚀性能的影响。研究表明:CrAl/CrAlN多层薄膜具有致密的层状结构。随着调制周期的增大,薄膜应力由拉应力转变为压应力,当调制周期为285.7nm时,CrAl/CrAlN多层薄膜的硬度出现了极大值。此外,调制周期对薄膜的耐腐蚀性能有显著的影响。经过96h盐雾(3.5%NaCl)试验,调制周期为142.8nm的CrAl/CrAlN多层薄膜依然没有发生腐蚀现象,表明此条件下CrAl/CrAlN薄膜具有优异的耐腐蚀性能。
- 吕艳红吉利刘流李红轩刘晓红陈建敏周惠娣
- 关键词:磁控溅射微观结构耐腐蚀性能