刘翔
- 作品数：11 被引量：9H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法
- 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和疏水膜层构成，上层极板包括...
- 李铁皋华敏刘翔周萍王跃林
- 文献传递
- 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
- 设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,...
- 高安然李铁刘翔焦继伟王跃林
- 关键词：温度梯度
- 静电力驱动的液滴数字传输芯片被引量：1
- 2010年
- 设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片。通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低。目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动。分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动。
- 皋华敏李铁许磊刘翔王翊周萍王跃林
- 关键词：静电力液滴
- 一种低损耗紧凑型MMI功率耦合器及其制作方法
- 本发明涉及一种低损耗紧凑型MMI功率耦合器及其制作方法，其中，MMI功率耦合器包括由下至上设置的硅衬底、二氧化硅层和硅波导层，所述硅波导层一侧连接若干条形波导作为输入，另一侧连接一根条形波导作为输出；所述硅波导层划分为若...
- 刘鸿葆赵瑛璇黄蕊刘翔甘甫烷
- 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究被引量：1
- 2010年
- 设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.
- 高安然李铁刘翔焦继伟王跃林
- 关键词：温度梯度
- 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片
- 微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微...
- 刘翔皋华敏李铁周萍王跃林
- 关键词：微全分析系统
- 文献传递
- 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片被引量：6
- 2011年
- 设计并制作了一种基于静电力驱动的数字微流控芯片,用于构建芯片实验室。介绍了静电力驱动原理和芯片制作工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。该芯片采用硅作衬底,氧化硅作绝缘层,TiW/Au为驱动电极阵列,氮化硅作介质层,碳氟聚合物为疏水层。由于采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,简化了工艺流程,优化了器件结构;而驱动电极阵列嵌入在氧化硅中,改善了减小介质层厚度时介质层对金属的台阶覆盖性,减少了电极边沿突起引起的边界击穿。另外,采用较薄的高质量介质层和疏水性能好的疏水膜层,大大降低了液滴驱动电压。实验显示,在20 V驱动电压下,该工艺可实现液滴按程序设定方式在二维平面内流畅运动,最大运动速度达96 mm/s。提出的芯片制作工艺简单,与IC工艺兼容,可应用于生化分析芯片实验室系统。
- 刘翔皋华敏李铁周萍王跃林
- 关键词：微流控芯片液滴静电驱动低工作电压
- 低轨卫星地面站导频接收机设计与实现
- 本文针对低轨卫星信道的特点和业务需求，以低轨卫星地面站导频接收机为应用对象，设计了可应用于高动态条件下的低轨卫星通信全数字接收机方案，重点研究了信号的同步，并对接收机进行了硬件电路实现。 论文各章节安排如下： 第一章为绪...
- 刘翔
- 关键词：低轨卫星通信导频直接序列扩频捕获
- 文献传递
- 具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法
- 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和疏水膜层构成，上层极板包括...
- 李铁皋华敏刘翔周萍王跃林
- 文献传递
- 基于静电力的微液滴驱动芯片被引量：1
- 2011年
- 为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片。介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列,高质量Si3N4作介质层,碳氟聚合物为疏水层。实验表明:微液滴可在芯片上按程序设定方式在二维平面内流畅运动,最小驱动电压为15V,最大运动速度达96mm/s。芯片制作工艺简单,操作方便,可应用于生化分析芯片实验室系统。
- 刘翔高安然李铁周萍王跃林
- 关键词：微流控液滴静电驱动
