刘翔
- 作品数:18 被引量:9H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法
- 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法,其特征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构:所述的双极板的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和疏水膜层构成,上层极板包括...
- 李铁皋华敏刘翔周萍王跃林
- 文献传递
- 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
- 设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,...
- 高安然李铁刘翔焦继伟王跃林
- 关键词:温度梯度
- 静电力驱动的液滴数字传输芯片被引量:1
- 2010年
- 设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片。通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低。目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动。分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动。
- 皋华敏李铁许磊刘翔王翊周萍王跃林
- 关键词:静电力液滴
- 一种可连续调节的光功分器
- 本发明涉及一种可连续调节的光功分器,包括光耦合器,以及置于所述光耦合器的模式演化区的加热器,所述加热器根据其两端施加电压的不同来调节所述模式演化区的温度,进而调节所述光耦合器的功分比。本发明能够减少光功分器的分光比偏差,...
- 刘翔甘甫烷盛振赵瑛璇
- 一种任意功分比的光耦合装置及其制备方法
- 本发明涉及一种任意功分比的光耦合装置及其制备方法,装置包括:前端过渡区,包括两条前端过渡波导;光耦合区,包括两条耦合波导,所述耦合波导的第一端与对应的所述前端过渡波导连接,其中一条所述耦合波导的宽度沿其第一端向第二端逐渐...
- 刘翔甘甫烷盛振赵瑛璇
- 一种低损耗紧凑型MMI功率耦合器及其制作方法
- 本发明涉及一种低损耗紧凑型MMI功率耦合器及其制作方法,其中,MMI功率耦合器包括由下至上设置的硅衬底、二氧化硅层和硅波导层,所述硅波导层一侧连接若干条形波导作为输入,另一侧连接一根条形波导作为输出;所述硅波导层划分为若...
- 刘鸿葆赵瑛璇黄蕊刘翔甘甫烷
- 一种基于双层SOI的绝热定向耦合器及其制备方法
- 本发明涉及一种基于双层SOI的绝热定向耦合器及其制备方法,所述双层SOI衬底依次包括基底、埋氧层、第一波导层、第二埋氧层、第二波导层。基于双层SOI的绝热定向耦合器(ADC),同时兼具超大带宽,低损耗,小尺寸的性能特点,...
- 刘翔甘甫烷赵瑛璇刘强常永伟
- 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究被引量:1
- 2010年
- 设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.
- 高安然李铁刘翔焦继伟王跃林
- 关键词:温度梯度
- 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片
- 微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点,近年来发展迅速,在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中,精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微...
- 刘翔皋华敏李铁周萍王跃林
- 关键词:微全分析系统
- 文献传递
- 一种基于逆向设计算法的热光移相器
- 本发明涉及一种基于逆向设计算法的热光移相器,其特征在于,包括从下到上依次生成的衬底、埋氧层和覆盖层,所述覆盖层内设有芯层波导和加热器,所述芯层波导置于所述埋氧层上且与所述埋氧层相接,所述加热器包括位于所述芯层波导上方且与...
- 刘翔甘甫烷盛振赵瑛璇