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吴雄喜

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：浙江工业大学更多>>
发文基金：浙江省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇纳米
  • 2篇AFM
  • 1篇电压
  • 1篇调制
  • 1篇阳极
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇脉冲电压
  • 1篇硅纳米结构
  • 1篇氧

机构

  • 2篇浙江工业大学

作者

  • 2篇吴雄喜
  • 1篇杨林军

传媒

  • 1篇机械与电子

年份

  • 2篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
基于AFM的Si纳米结构的加工被引量：2
2005年
介绍了通过使用原子力显微镜,在H钝化Si(100)的表面局部阳极氧化反应的表面氧化图案上刻写的纳米级Si 结构加工。这种氧化图形可被用作Si的可选择性蚀刻工艺的掩膜。带有临界特性的小到30 nm的边门Si 场效应晶体管也通过这种方法加工。
吴雄喜杨林军
关键词：硅纳米结构原子力显微镜
基于AFM调制脉冲电压下纳米加工研究
纳米技术发展的最终的目的是加工出特定功能的纳米器件。加工纳米量级结构是整个纳米技术的基础，已成为当前世界科学研究急需解决的问题。 　　本文对大气状态下基于AFM的电场加工进行了系统的研究和分析，以期探索一种加工出更加稳...
吴雄喜
关键词：脉冲电压
文献传递
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共1页<1>
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