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张传维

作品数：98 被引量：21H指数：3
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项中国博士后科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 78篇专利
  • 9篇期刊文章
  • 9篇会议论文
  • 2篇学位论文

领域

  • 14篇机械工程
  • 14篇理学
  • 9篇电子电信
  • 8篇自动化与计算...
  • 5篇一般工业技术
  • 3篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 25篇椭偏仪
  • 22篇偏振
  • 19篇光谱
  • 17篇光学
  • 14篇纳米
  • 12篇波片
  • 10篇半导体
  • 10篇测量方法
  • 9篇入射
  • 9篇偏振光
  • 8篇起偏器
  • 8篇光强
  • 8篇复合波片
  • 7篇旋转补偿器
  • 7篇圆偏振
  • 7篇圆偏振光
  • 7篇向量
  • 7篇向量机
  • 6篇动态随机存储...
  • 6篇噪声

机构

  • 98篇华中科技大学
  • 5篇武汉颐光科技...
  • 2篇武汉光电国家...

作者

  • 98篇张传维
  • 90篇刘世元
  • 66篇陈修国
  • 28篇谷洪刚
  • 19篇杜卫超
  • 17篇江浩
  • 16篇李伟奇
  • 11篇朱金龙
  • 8篇李苏斌
  • 8篇石雅婷
  • 7篇史铁林
  • 6篇钟志成
  • 5篇顾华勇
  • 3篇沈宏伟
  • 3篇陶泽
  • 2篇姚远
  • 2篇陈超
  • 2篇陈锦
  • 2篇郭春付
  • 2篇陈伟

传媒

  • 4篇物理学报
  • 2篇红外与毫米波...
  • 2篇激光技术
  • 1篇光谱学与光谱...
  • 1篇第十六届全国...

年份

  • 1篇2024
  • 4篇2023
  • 2篇2022
  • 3篇2021
  • 1篇2020
  • 6篇2019
  • 4篇2018
  • 4篇2017
  • 11篇2016
  • 14篇2015
  • 11篇2014
  • 15篇2013
  • 8篇2012
  • 3篇2011
  • 4篇2010
  • 4篇2009
  • 3篇2008
共 98 条 记 录，以下是 1-10
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一种线扫描膜厚测量系统
本发明公开了一种线扫描膜厚测量系统，包括：照射模块、光谱成像模块和数据处理模块；所述照射模块采用离散分布的光纤，用于产生离散的线性平行光束，垂直照射待测样品；所述光谱成像模块，用于采集待测样品被照射后表面形成的干涉光，生...
张传维陈鸿飞
文献传递
一种复合波片光轴对准方法
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法，首先，将待对准的复合波片中的一个单波片固定不动，将另外一个单波片与旋转装置相连，使两个单波片之间产生相对转动；然后将偏振光垂直投射在待对准复合波片上，并用探测器探测从待对准复合波片上...
刘世元谷洪刚陈修国张传维李伟奇杜卫超
文献传递
一种纳米结构三维形貌测量方法及装置
本发明公开了一种纳米结构三维形貌测量方法及其装置，可以同时测量纳米结构线宽、深度、侧墙角、线缘粗糙度、线宽粗糙度等三维形貌参数的方法及装置。本发明方法步骤如下：将波长为紫外到近红外波段的光束经分光、起偏、前后相位补偿得到...
刘世元张传维陈修国
文献传递
一种四分之一双波片相位延迟器
本发明公开了一种四分之一双波片相位延迟器，可在紫外、可见及近红外的波段范围内实现消色差，其特征在于，该双波片相位延迟器由两个同种材料或者不同材料的四分之一零级波片构成，该两零级波片沿光轴平行布置，且两光轴夹角为45°，其...
刘世元谷洪刚张传维陈修国李伟奇杜卫超
一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置
本发明公开了一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置。其方法是将线偏振红外光束投射到含有深沟槽结构的样件表面，对沟槽结构各界面反射光形成的干涉信号进行滤波等处理得到测量反射光谱；采用基于偏振的等效介质理论构建该深沟槽结构等效...
刘世元张传维史铁林
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一种透明材料冲击动力学参数获取方法
本发明属于材料冲击动力学参数测量领域，并公开了一种透明材料冲击动力学参数获取方法。该方法包括：(a)建立了平稳冲击波加载下透明薄膜样品的双层薄膜分层模型(b)利用第一性原理，证明了P偏振光以布儒斯特角入射样品时，反射光相...
江浩钟志成刘世元刘佳敏谷洪刚张传维陈修国
一种广义椭偏仪的同步控制系统
本发明属于广义椭偏仪的控制技术，具体为一种广义椭偏仪的同步控制系统。该同步控制系统至少包括：第一、第二中空伺服电机及其内置的增量式编码器、伺服电机控制器、两个补偿器、光谱仪、计算机和单片机。其中伺服电机控制器、光谱仪分别...
刘世元杜卫超张传维陈修国陈锦谷洪刚
文献传递
基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究被引量：2
2008年
利用等效介质理论和严格耦合波理论研究比较微纳米级高深宽比深沟槽结构的红外反射谱,提出一种对等效折射率加入色散修正项的深沟槽结构反射率快速算法.通过超越色散方程分析和大量计算发现,加入的等效折射率色散修正项与波长的平方成反比,并且与深沟槽结构的材料、周期和占空比有关.这种新的计算方法可以非常精确地获得高深宽比深沟槽结构的反射率,而且明显提高了运算速度,在复杂深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量中具有重要的应用价值,可以应用于微电子和微机电系统制造过程中高深宽比微纳深沟槽结构刻蚀进度的在线实时监测.
刘世元顾华勇张传维沈宏伟
关键词：严格耦合波理论反射率
光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法
本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法，可以对IC制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参数进行非接触、非破坏的测量。首先，通过仿真分析的手段，选出最优测量配置与最优等效介质模型；其次，将上述仿...
刘世元石雅婷陈修国张传维
一种用于光学散射测量的基于拟合误差插值的库匹配方法
本发明公开了一种用于光学散射测量的基于拟合误差插值的库匹配方法，包括：确定样品待测结构参数的变化范围并对其执行离散化处理，将所获得的离散网格点及其对应理论光谱值储存到光谱库中；获得待测样品的测量光谱并计算出离散网格点对应...
刘世元陈修国张传维朱金龙
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