徐春生
- 作品数：3 被引量：40H指数：3
- 供职机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院更多>>
- 发文基金：国防计量科研项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学一般工业技术更多>>
- 同步移相抗振干涉的研究
- 移相干涉术（PSI）是一种高精度、高灵敏度、非接触式的光学测试方法，但对测试环境要求较高，环境的振动是移相干涉仪测量主要误差源之一。目前，光干涉测量中抗振技术的研究是光干涉测试领域的重要研究课题，其中，同步移相抗振干涉术...
- 徐春生
- 关键词：移相干涉术
- 文献传递
- 基于偏振移相的环路径向剪切干涉被引量：13
- 2010年
- 只需要一幅干涉图就能得到被检波面信息的径向剪切干涉,适于动态波前的测量。将便于干涉图像处理的同步移相技术引入径向剪切干涉中,基于环路径向剪切干涉,利用一个正交的二维光栅分光,采用偏振移相法,能同时得到相移间隔π/2的四幅移相干涉图。运用传统的四步移相算法,结合波面迭代算法复原波面。通过理论公式的推导、计算机的模拟分析,以及初步的实验测试,验证了偏振移相应用于径向剪切干涉的可行性,模拟结果显示均方根精度优于λ/100。具有抗振特点的光栅分光偏振移相的同步移相方案,不仅能够克服剪切干涉的单幅干涉图处理复杂的缺点,更有利于提高剪切干涉的抗干扰能力。
- 孔梅梅高志山陈磊徐春生
- 关键词：光学测量
- 基于二维光栅分光的同步移相干涉测量技术被引量：25
- 2007年
- 为了干涉测量的抗振目的,提出了一种新的同步移相干涉测量方案并搭建了实验装置。整个测量系统在迈克耳孙偏振移相干涉仪的基础上,利用一个正交的二维光栅产生对称分光,选取对于理想光栅衍射效率一致的(±1,±1)级衍射光作为测量分光路,使之分别通过偏振方向依次相差45°的一个偏振片组,从而分别形成0°、90°、180°和270°相移的四幅移相干涉图,按照传统的四步移相算法,对被测波面进行了复原。分析了光强畸变和移相误差对系统的测量误差的影响。利用该系统测量一球面系统,结果与在ZYGO干涉仪上相比较,球面系统的均方根误差相差0.012λ,峰谷值相差0.051λ。
- 左芬陈磊徐春生
- 关键词：光学测量抗振技术同步移相
