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李延宝
作品数:
2
被引量:9
H指数:1
供职机构:
浙江理工大学
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冯平
浙江理工大学
雷勇
浙江理工大学
陈本永
浙江理工大学
王俊茹
浙江理工大学
张丽琼
浙江理工大学
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磁悬浮式纳米级微动工作台的理论分析与建模研究
被引量:9
2006年
磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围纳米级精度的微运动。本文构建了一种新型的磁悬浮微动工作台,从理论上对磁悬浮式微动工作台的运动机理进行了详尽分析,建立了磁悬浮式微运动的电磁驱动模型,用Matlab对磁悬浮式微动工作台的运动控制进行了仿真研究,结果表明,设计的磁悬浮式微动工作台能达到纳米级的微运动。本文的研究成果为磁悬浮式微动工作台的设计及其控制提供了理论基础。
陈本永
雷勇
李延宝
张丽琼
王俊茹
冯平
关键词:
磁悬浮
微动工作台
磁悬浮微动工作台的理论分析和控制方法研究
在超精密加工、微电子工程、纳米科技等精密工程领域,需要高精密的微运动,因此高性能的微动工作台是这些领域中的重要仪器设备。论文系统地阐述了国内外微动工作台的发展概况和发展趋势,在参考现有微动工作台的基础上,构造了一种基于交...
李延宝
关键词:
磁悬浮
微动工作台
控制方法
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