李晓东
- 作品数:5 被引量:4H指数:1
- 供职机构:吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项吉林省科技发展计划基金更多>>
- 相关领域:电子电信更多>>
- 感应耦合等离子体刻蚀制备低损耗倒脊形聚合物光波导
- 利用高密度感应耦合等离子刻蚀方法制备了底面平整、侧壁陡直的聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯倒脊形光波导。系统研究了天线射频功率、偏置功率、气体流量和压强对波导形貌的影响,利用原子力显微镜和扫描电子显微镜分析了刻蚀速率...
- 孙小强张琨陈长鸣李晓东王菲张大明
- 关键词:感应耦合等离子体聚合物波导光损耗
- 文献传递
- 层间互溶对DR1/SU-8材料非线性效应的影响
- 随着光通信网络对光信号处理速度要求的不断提高,具有高速度、高带宽和低功耗的极化聚合物波导电光调制器,成为极具发展潜力的光子器件。波导电光调制器主要是利用聚合物电光材料的二阶非线性效应实现对光信号的调制,所以电光材料在波导...
- 李晓东张大明王菲陈长鸣张峰刘天际孙小强
- 关键词:电光调制器扫描电子显微镜电光系数
- 文献传递
- 基于PDMS的倒脊形波导电光调制器的设计与制备被引量:1
- 2011年
- 选用价格低廉、介电性能良好、低传输损耗的聚二甲基硅氧烷作为波导的包层材料,旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯作为芯层,设计并制备了一种倒脊形聚合物波导马赫-曾德尔电光调制器及共面波导行波电极,获得了调制器的调制信号响应.针对SF6气体刻蚀聚二甲基硅氧烷的再淀积现象,提出了采用SF6和O2的混合气体对聚二甲基硅氧烷进行反应离子刻蚀的方法,发现当SF6∶O2流量比为50 sccm∶10 sccm时,刻蚀形成的凹槽侧壁陡直,底部平坦;实验制备的倒脊形马赫-曾德尔波导在1 550 nm波长下通光良好.
- 李晓东谭震宇王菲郑红丽孙小强张大明
- 关键词:反应离子刻蚀聚合物电光调制器
- 键合型有机/无机杂化材料加载条形波导电光调制器被引量:3
- 2011年
- 相对于普通的有机/无机杂化材料,侧链键合型有机/无机杂化材料能提高生色团的掺杂浓度,避免出现结晶、相分离等现象,同时生色团极化有序性的弛豫因生色团运动受阻而降低,具有较高的热稳定性.本文采用溶胶凝胶法合成了一种性能优良、稳定的侧链键合型有机/无机杂化材料,并将这种材料应用于电光调制器的电光层,利用传统的半导体工艺,采用加载条形波导结构,成功制备了马赫-曾德尔(Mach-Zehnder,M-Z)型电光调制器.测试得到电光调制器在1 550 nm波长下10 kHz的响应信号,为键合型杂化材料应用于光电器件的进一步研究打下了基础.
- 张峰李晓东谭震宇李涛陈长鸣张大明
- 关键词:电光调制器
- 650nm聚合物阵列波导光栅波分复用器基础研究
- 对中心波长为650nm聚合物阵列波导光栅波分复用器进行了研究,设计了版图结构参数,给出了中心波长为650nm,16×16信道的阵列波导光栅波分复用器版图,计算机模拟结果表明,器件的波长间隔为0.8nm,插入损耗5 ̄10d...
- 谭震宇李晓东张峰陈长鸣王菲张大明
- 关键词:阵列波导光栅波分复用器