李雅卓
- 作品数：2 被引量：4H指数：2
- 供职机构：中国计量学院机电工程学院太赫兹技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 基于太赫兹时域光谱的半导体材料参数测量被引量：3
- 2008年
- 根据太赫兹时域光谱系统(TDS)的测量原理,提出了一个考虑F-P效应的半导体材料参数测量方案。利用该方案可以在时域波形中,截取多个反射回峰,以提高材料参数提取的精确度。另外,考虑到多重反射对样品厚度的准确性要求较高,提出了一种有效的厚度优化方法。以GaAs为待测样品,利用上述方法精确提取了其折射率与消光系数谱。并采用返波振荡器(BWO)作为太赫兹辐射源对相同样品进行测量,有效的验证了使用TDS系统对半导体材料参数测量的准确性。
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- 关键词：太赫兹时域光谱技术
- 基于返波振荡器的光学材料参数高精度测量被引量：2
- 2009年
- 以返波振荡器作为太赫兹波辐射源,搭建了一个基于Fabry-Perot干涉原理的光学材料参数测量系统.利用返波振荡器的可调谐特性,测量了样品的透射谱,并提出了精确提取材料光学参数的方案.该方案包括:基于模拟退火的光学材料介质常数寻优算法,针对样品厚度误差的厚度优化方法以及根据测量系统特点设计的峰谷权值优化.并以半导体砷化镓(GaAs)样品的光学材料参数测量为例,验证了材料光学参数提取方案的有效性.
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- 关键词：太赫兹光谱返波振荡器
