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大气等离子体加工数控方法研究: 现代光学技术的发展对光学零件的要求越来越高，不但要求光学零件具有高的面型精度以及好的表面粗糙度，而且要求尽可能减轻亚表层的损伤。虽然目前的计算机控制光学表面成形（CCOS）工艺较传统的加工方式在很大程度上提高了加工的效率...; 杨允利; 关键词：大气等离子体去除函数光学零件超精密加工; 文献传递

微结构光学零件的大气等离子体数控加工被引量：5: 2013年; 为了实现对微结构光学零件无表面损伤和亚表面损伤的高效加工,建立了大气等离子体数控加工系统。研究了该系统的平台设计、大气等离子体加工工艺特性及其数控加工过程。首先,根据大气等离子体加工的原理及要求介绍了该数控加工系统的组成。然后,以He/SF6/O2加工熔融石英为例,采用针状电极等离子体矩对系统加工工艺的可控性以及多参数工艺特性进行了探索,并根据工艺实验结果拟合出该加工条件下的去除函数。最后,介绍了整个大气等离子体数控加工的实现过程。实验结果表明:利用该系统可以在平面融石英材料上加工出幅值为150nm、波长为6mm的正弦网格结构,由此验证了该数控加工系统的可行性,实现了对复杂面型光学零件表面的确定性加工。; 李娜王波金会良袁野杨允利; 关键词：数控加工系统

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杨允利