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杨景华

作品数：44 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：理学电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 37篇专利
  • 6篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 6篇理学
  • 3篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 16篇等离子体
  • 10篇放电
  • 8篇自由基
  • 7篇滚轴
  • 6篇放电装置
  • 6篇常压
  • 5篇等离子体发生...
  • 5篇推进器
  • 5篇工作气体
  • 4篇阻挡层
  • 4篇流量阀
  • 4篇接枝
  • 4篇激光
  • 4篇工质
  • 4篇常压等离子体
  • 4篇储罐
  • 4篇垂直剖面
  • 3篇电推进
  • 3篇射频
  • 3篇推力

机构

  • 44篇中国科学院微...

作者

  • 44篇杨景华
  • 30篇王守国
  • 25篇贾少霞
  • 20篇赵玲利
  • 14篇蔡建
  • 10篇张朝前
  • 8篇张超前
  • 5篇韩传余
  • 5篇张兴华
  • 4篇夏洋
  • 4篇李超波
  • 3篇张宸
  • 2篇万军

传媒

  • 2篇第十六届全国...
  • 1篇物理

年份

  • 3篇2023
  • 4篇2022
  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 2篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2016
  • 1篇2014
  • 8篇2013
  • 3篇2012
  • 6篇2011
  • 9篇2010
  • 2篇2009
共 44 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种组合等离子体放电装置
本发明公开了一种组合等离子体放电装置，包括一个位于中间的平板之间的放电和两侧的滚轴之间的放电，该平板之间的放电是由安装在框架上的一个平板地电极和与该平板地电极有一定间隙的高压电极构成，在该平板地电极与高压电极之间设有一个...
张朝前杨景华赵玲利王守国
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一种推进器
本申请公开一种推进器，涉及航天技术领域，能够解决现有的电推进技术通常采用的是气态工质，存储气态工质的气瓶体积大、重量大，难以适用于微小卫星的推进器的问题。推进器，包括：传送器，所述传送器用于传送固态含能工质；激光器，所述...
贾少霞李龙蔡建杨景华张兴华金婷张振华刘芳芳
一种沿保守力作用轨迹无偏飞行的装置
本申请实施例提供的一种沿保守力作用轨迹无偏飞行的装置，涉及航天技术领域，所述装置包括：卫星本体；纯惯性系统模块，所述纯惯性系统模块设置于所述卫星本体内部，所述纯惯性系统模块为所述悬浮质量块提供只受保守力作用的运行环境；微...
蔡建甘庆波贾少霞金婷杨景华刘芳芳
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放电设备
本发明提供了一种放电设备，属于等离子体技术领域。所述放电设备包括：电极阵列，设置成圆弧状，并连接至高频脉冲电源；圆滚轴，由金属制成，并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心，用于在接通高频脉冲电源时，在其与电极阵列之间进行放电。...
杨景华张超前赵玲利王守国
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常压射频介质阻挡等离子体去除光刻胶前后的FTIR分析
常压介质阻挡等离子体可以产生大面积的等离子体,在工业上具有非常广阔的应用前景。本文采用常压介质阻挡等离子体发生器对硅片表面的光刻胶进行了去胶实验,分析了去胶过程中输入功率对OH自由基、0777nm和0844nm谱线强度的...
杨景华贾少霞李超波夏洋王守国
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放电设备
本实用新型提供了一种放电设备，属于等离子体技术领域。所述放电设备包括：电极阵列，设置成圆弧状，并连接至高频脉冲电源；圆滚轴，由金属制成，并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心，用于在接通高频脉冲电源时，在其与电极阵列之间进行放...
杨景华张超前赵玲利王守国
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一种薄膜靶带及制备方法
本发明公开了一种薄膜靶带及薄膜靶带的制备方法，该薄膜靶带包括：基底和激光烧蚀层，所述激光烧蚀层由高分子含能工质、光吸收剂、强氧化剂、添加剂混合后附着在所述基底上形成。由于薄膜靶带的激光烧蚀层中添加了强氧化剂成分，在薄膜靶...
蔡建贾少霞焦龙杨景华金婷刘芳芳
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微等离子体三极管及其应用被引量：1
2010年
一种新型的微电子器件——微等离子体三极管近期被成功研制出来.它的问世奠定了未来更加节能、更加轻便的,具有更高分辨率和更高对比度的等离子体显示的新技术革命基础.文章介绍了微等离子体三极管的工作原理和基本特性,展望了它在发光显示领域的应用前景.
韩传余杨景华王守国
纳秒脉冲常压辉光放电等离子体及应用研究
<正>采用半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1600×100×25 mm~3的常压辉光空气等离子体。等离子体发生器阴极采用针电极阵列,针的直径为1 mm,针的长度为20 mm,针与针之间的...
万军杨景华张朝前王守国
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常压等离子体自由基束流清洗硅片新方法
一种常压等离子体自由基束流清洗硅片新方法，其特征在于：该新方法是采用一个常压介质阻挡等离子体发生器，工作气体可以采用氧气、氧/氩混合气体或空气来产生高密度的自由基，并在一定气体压力下把放电等离子体区产生的高密度自由基由喷...
王守国赵玲利韩传余杨景华张朝前
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