林海安
- 作品数：25 被引量：15H指数：2
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- SOG高温力敏传感器的研制
- 林海安
- 阵列和模式识别与气敏传感器被引量：4
- 1995年
- 本文介绍几种模式识别方法，指出集成阵列和计算机模式识别是气敏传感器取得突破性进展的关键，有机材料是最有吸引力的敏感材料之一．
- 林海安吴冲若
- 关键词：模式识别阵列气敏传感器传感器
- 新型SOG压阻式力敏传感器的研制
- 1993年
- 本文介绍一种以玻璃作绝缘介质膜的SOG压力传感器,探讨了实现SOG材料良好键合的关键工艺,研究了以腐蚀自致停技术为核心的减薄成膜方法.结果表明,SOG传感器在高温、大压力方面颇具潜力.
- 林海安张家慰陈健黄明程
- 关键词：压力传感器键合工艺
- LB绝缘膜MIS少数载流子隧道二极管
- 1993年
- 采用单层(～0.5nm)或多层LB聚酰亚胺超薄膜,在掺杂浓度为1×10^(15)cm^(-3)的p—Si(100)衬底上制作了超薄MIS结构。通过掩模蒸铝形成顶部电极。I—V和C—V特性表明,样品具有少子隧道二极管特性。
- 林海安吴冲若石一心
- 关键词：MIS结构隧道二极管
- Al/LB绝缘膜/Si结构界面态研究
- 1993年
- I—V特性法表明单层LB聚酰亚胺膜(～0.5nm)MIS结构的界面态密度为10^(12)～10^(13)cm^(-2)eV^(-1)。对11和41层LB聚酰亚胺膜,DLTS测试得到的界面态密度分别为10^(12)～10^(13)和10^(11)～10^(12)cm^(-2)eV^(-1)。所有结果表明,在硅禁带中央附近具有较大的界面态密度。
- 林海安吴冲若石一心
- 关键词：LB膜聚酰亚胺MIS结构界面态
- 还原性气体对SnO_2表面势垒的影响被引量：1
- 1994年
- 建立了SnO_2表面势垒与表面氧化—还原过程的定量关系,其中考虑了氧的O^-形式吸附和还原性气体的电离吸附。其结果表明,还原性气体的电离是SnO_2表面化学物理过程的关键步骤之一。
- 林海安吴冲若
- 关键词：表面势垒二氧化锡
- 氧分压影响SnO_2气敏传感器响应的机理
- 1993年
- 本文报道了一种SnO_2气敏传感器敏感机理的新模型。SnO_2晶粒表面势垒由3个过程控制:(1)氧吸附(作电子受主)和脱附,(2)还原性气体吸附(作电子施主)和脱附,(3)表面氧化还原反应。据此可以很好地解释实验中发现的氧分压对气敏传感器响应的影响。
- 林海安吴冲若邱洁真
- 关键词：表面势垒施主气敏传感器氧分压
- 气敏传感器集成化的研究被引量：2
- 1993年
- 本文回顾了气敏传感器的发展史,针对限制气敏传感器发展的诸因素,提出了解决问题的思路;指出了集成化的关键在于敏感膜的设计和制备,最后讨论了几种有前途的集成气敏传感器单元。
- 林海安吴冲若
- 关键词：气敏传感器集成化气敏元件传感器
- 旋涂法制备ＳｎＯ２薄膜的ＸＲＤ、ＡＥＳ研究
- 林海安吴冲若
- 关键词：旋涂法
- Ta_2O_5薄膜的离子敏感特性
- 1994年
- 用磁控溅射法制备了Ｔ０ａ２Ｏ５薄膜，再用Ｃ－Ｖ法和ＪＦＥＴ外接薄膜电极法研究其稳定性和离子响应灵敏度．实验发现，在纯氧中沉积的厚２００ｎｍＴ２Ｏ５薄膜有较高的离子响应灵敏度和良好的稳定性．
- 吴冲若刘刚林海安邱洁真
- 关键词：稳定性
