殷源
- 作品数：9 被引量：20H指数：3
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- 发文基金：浙江省科技计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程轻工技术与工程更多>>
- 大截面SOI脊型波导单模条件的研究被引量：4
- 2005年
- 利用有限差分方法(FDM)对大横截面SOI(Silicon on insulator)脊型光波导的本征模进行了计算分析,从而确定了SOI脊型波导的单模条件,即归一化外脊高和归一化脊宽的关系 通过比较,进一步明确了归一化外脊高大于0. 5时现有的单模条件解析公式中常数项的取值为0. 3 同时,还对归一化外脊高小于0. 5时的单模条件也做了计算和讨论。
- 殷源戴道锌时尧成何赛灵
- 关键词：单模条件有限差分方法脊型波导
- 干涉型集成光波导器件设计与实验研究
- 迅速发展的光通信技术，对高性能低成本的光器件有着大量而迫切的需求，基于平面光波回路(PLC)的集成型光器件由于具有突出的性能成为了最有吸引力的选择之一．为了将来实现具有柔性和可重构的光网络，必需发展更多具有成本效益的光器...
- 殷源
- 关键词：平面光波回路优化设计
- 一种半导体晶圆表面缺陷的快速超高分辨检测系统
- 本申请提供一种半导体晶圆表面缺陷的快速超高分辨检测系统，包括：照明光源，以及布置所述照明光源的光路上耦合物镜、第一偏振片、偏振分光棱镜、平面单晶、二向色镜和显微物镜；第一相机，用于采集共焦扫描的图像；样品台，其上放置有检...
- 杨青庞陈雷徐良殷源刘旭
- 文献传递
- 用光热偏转法测量金刚石薄膜的热扩散率
- 殷源
- 一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统
- 本发明公开了一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统，包括光纤束、准直透镜、第一狭缝光阑、偏振分束镜、第一筒镜、第一二向色镜、第二二向色镜、DIC棱镜、第一物镜、晶圆、第二狭缝光阑、中继镜、第一线阵相机、第二物镜、反射镜、检偏器...
- 杨青王智庞陈雷林飞宏殷源
- 弯曲波导之间的耦合分析被引量：8
- 2002年
- 采用极坐标下的光束传播法分析了两条平行变曲波导的中心间距、曲率半径等因素对模式耦合的影响 ,得到了耦合长度、耦合强度随中心间距、曲率半径的变化规律 。
- 戴道锌殷源潘德荣何赛灵田毅
- 关键词：弯曲波导光束传播法平面光波导
- 一种半导体晶圆表面缺陷的快速超高分辨检测系统
- 本申请提供一种半导体晶圆表面缺陷的快速超高分辨检测系统，包括：照明光源，以及布置所述照明光源的光路上耦合物镜、第一偏振片、偏振分光棱镜、平面单晶、二向色镜和显微物镜；第一相机，用于采集共焦扫描的图像；样品台，其上放置有检...
- 杨青庞陈雷徐良殷源刘旭
- 文献传递
- 弱导波导多模干涉耦合器结构参量优化设计被引量：7
- 2002年
- 本文分析了以硅基底上二氧化硅波导为代表的弱导波导多模干涉 (MMI)耦合器件输入 (出 )波导位置及宽度和 MMI长度等结构参量对器件性能的影响 .提出了参量空间法 ,在给定工艺材料参量和多模波导宽度情况下 ,通过匹配各结构参量 ,制出均匀性好、附加损耗低的弱导波导多模干涉耦合器件 .
- 王谦何赛灵黄耐容殷源
- 关键词：结构参量优化设计
- 硅基底平面波导光通讯集成器件的模拟、设计及工艺
- 随着平面波导制作工艺的日益成熟,制造精度的不断提高,成本的持续下降,平面波导光集成器件尤其是Si基底上SiO[2,]平面波导集成器件在光通信系统中的应用更加重要和广泛,Y分支分束器、MMI耦合器、阵列波导光栅(AWG)和...
- 何赛灵殷源戴道锌盛钟延王谦吕俊周勤存
- 关键词：平面波导蚀刻衍射光栅波分复用光集成器件
- 文献传递
