牛得草
- 作品数：5 被引量：4H指数：2
- 供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- 用有限元模拟的方法研究大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力被引量：2
- 2008年
- 建立了没有过渡层和有过渡层的有限元模型,对大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力进行了研究。分别计算了在常用金属材料钼、钨、镍作衬底和用镀有钛过渡层的钼作衬底的情况下,膜/衬底间的热应力分布情况。模拟与实验的结果表明,在大面积自支撑金刚石膜沉积过程中,采用镀有钛过渡层的钼作衬底有利于热应力的释放,从而可能制备出高质量的大面积无裂纹金刚石膜。
- 刘政李成明牛得草唐伟忠陈广超宋建华佟玉梅吕反修
- 关键词：有限元热应力
- 晶体结构对金刚石膜断裂强度的影响
- 本文应用XRD和SEM分析手段,对金刚石膜的晶体结构以及断面和生长面晶粒形貌特征进行了研究分析,探讨了晶体结构对金刚石膜的断裂强度的影响。研究结果表明,晶体取向的多样化对金刚石膜断裂强度有利;粗糙表面的晶粒间易产生V形口...
- 郭世斌王耀华牛得草吕反修唐伟忠佟玉梅
- 关键词：晶体结构金刚石膜
- 文献传递
- 晶体结构对金刚石膜断裂强度的影响
- 本文应用XRD和SEM分析手段,对金刚石膜的晶体结构以及断面和生长面晶粒形貌特征进行了研究分析,探讨了晶体结构对金刚石膜的断裂强度的影响.研究结果表明,晶体取向的多样化对金刚石膜断裂强度有利;粗糙表面的晶粒间易产生V形口...
- 郭世斌王耀华牛得草吕反修唐伟忠佟玉梅
- 关键词：晶体结构金刚石膜
- 文献传递
- 气体循环条件下等离子体喷射CVD金刚石膜的生长稳定性和品质被引量：1
- 2007年
- 在气体循环条件下采用H2、CH4和Ar的混合气体,利用100kW直流电弧等离子喷射CVD系统,在850和950℃下在Mo衬底上沉积了不同厚度的金刚石膜;并利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和Raman光谱对膜的形貌、品质、取向和残余应力进行了分析.结果表明:在850℃下,随着金刚石膜厚度的增加,膜的品质不断提高,残余应力逐渐减小,且残余应力为拉应力,膜的生长稳定性很好;在反应气体流速不变的条件下,相比950℃沉积的厚度为120μm的金刚石膜,在850℃下沉积的厚度为110μm的金刚石膜有更好的生长稳定性,膜的品质更高,残余应力更小.
- 牛得草李成明刘政郭世斌吕反修
- 关键词：CVD金刚石膜残余应力
- 大面积高质量金刚石自支撑膜热导率的影响因素研究被引量：2
- 2006年
- 通过Raman、XRD、SEM分析方法分别对大面积高质量金刚石自支撑膜的质量、晶体结构、晶粒尺寸进行研究,分析它们对金刚石自支撑膜热导率的影响。研究结果表明,金刚石自支撑膜的质量对热导率的影响较大,质量越好,热导率越接近于天然金刚石的热导率;并且金刚石自支撑膜中晶体[220]取向度越高,热导率越高。形核面晶粒尺寸越大,晶粒间的晶界就减少,有利于提高金刚石自支撑膜的热导率。
- 郭世斌吕反修王耀华牛得草唐伟忠佟玉梅
- 关键词：热导率晶体结构晶粒尺寸
