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王长明
作品数:
2
被引量:14
H指数:1
供职机构:
中国石化股份有限公司
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发文基金:
中国石油化工集团公司科技攻关项目
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相关领域:
化学工程
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合作作者
郑学根
中国石化股份有限公司
阳晓辉
中国石化股份有限公司
邱晓生
中国石化股份有限公司
朱中南
华东理工大学化工学院
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2篇
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2篇
化学工程
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1篇
电子化学品
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乙腈
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高纯
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半导体
机构
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中国石化股份...
1篇
华东理工大学
作者
2篇
王长明
1篇
邱晓生
1篇
朱中南
1篇
阳晓辉
1篇
郑学根
传媒
1篇
安庆石化
1篇
石油化工
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1篇
2004
1篇
2001
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电子工业用化学品的研制开发进展
2001年
介绍了国内外电子工业用化学品的研制开发动向,包括主要品种的市场动向,新技术和新产品的开发动向,重点讨论了超净高纯化学试剂的发展状况。
王长明
朱中南
等
关键词:
电子化学品
超净高纯乙腈的研制
被引量:14
2004年
以工业乙腈为原料,采用干燥脱水-亚沸蒸馏-膜过滤组合工艺,制备出超净高纯乙腈,讨论了实验室洁净度、实验设备和器皿的材质、亚沸蒸馏次数、膜种类、膜孔径等因素对产品质量的影响。平行实验结果表明,在优化条件下,能够制备质量稳定的超净高纯乙腈产品,应用评价结果显示其清洗效果总体优于常规补充金属氧化物半导体级酸碱清洗液,可应用在半导体器件相应的清洗工艺中。
郑学根
邱晓生
王长明
阳晓辉
关键词:
高纯
乙腈
半导体
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