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王颖
作品数:
93
被引量:32
H指数:2
供职机构:
北京大学
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医药卫生
文化科学
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合作作者
李婷
北京大学
张大成
北京大学
罗葵
北京大学
田大宇
北京大学
王玮
北京大学
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王颖
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2006
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2005
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2004
1篇
2003
1篇
2002
1篇
2000
2篇
1999
共
93
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中国当代文学期刊观察2007年第3期
被引量:1
2007年
赵晖
田雨
刘勇
刘勇
谢俊
王颖
王颖
朱晓科
关键词:
社会关系
中篇
晶体管型光电探测器及其制备方法
本公开提供一种晶体管型光电探测器,包括:第一电极;第二电极,第二电极与第一电极间隔开;沟道层,沟道层至少设置在第一电极与第二电极之间;光敏层,光敏层设计为p‑i‑n异质结结构,光敏层的材料由需要探测的波段所决定;以及介质...
周绍元
王颖
魏楠
张志勇
文献传递
对准键合精度检测系统
本发明涉及一种对准键合精度检测系统,其特征在于它包括:一显微镜,一螺旋游标测量目镜,一CCD摄像机,一图像显示器,一红外光源,所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上,所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量...
张大成
李婷
王颖
王兆江
郝一龙
王阳元
文献传递
纳米宽度梁结构的制备方法
本发明提供一种纳米宽度梁结构的加工方法,属于纳电子机械系统(NEMS)加工工艺领域。该方法的工艺流程包括:台阶刻蚀、纳米宽度侧墙形成、纳米宽度梁结构形成和纳米宽度梁结构释放四个步骤。本发明能够加工出纳米宽度的梁结构,准确...
范炜
张大成
李婷
罗葵
田大宇
李静
王颖
文献传递
“80后”的时尚写作——兼谈《十少年作家批判书》
被引量:17
2005年
王颖
关键词:
作家
气势
篇幅
《时代》
继电器及其制备方法
本发明提供了一种体硅MEMS继电器及其制备方法,属于微电子机械系统(MEMS)加工工艺技术领域。该继电器包括:一采用正向吸合驱动方式的由上、下两个部分组成的继电器本体,上部结构包括带有锚点和梁结构的单晶硅结构板,在单晶硅...
阮勇
张大成
郝一龙
王阳元
王丛舜
李婷
罗葵
田大宇
王玮
王颖
王兆江
文献传递
场效应晶体管侧墙的应力测试方法
本发明提供了一种场效应晶体管侧墙的应力测试方法,属于场效应晶体管制备技术领域。该方法包括:在衬底上制备台阶,形成栅结构;在栅结构上制备氮化硅或氧化硅,各向异性刻蚀形成侧墙结构;定义释放区域,释放侧墙,形成纳米梁结构;利用...
陈会军
张大成
李婷
罗葵
田大宇
李静
王颖
文献传递
微型射流泵及其制备方法
本发明提供了一种微型射流泵及其制备方法,泵体包括驱动结构和抽吸结构,驱动结构是由射流喷嘴和与之相连的驱动腔组成,驱动腔上设有驱动流体人口孔,抽吸结构包括抽吸入口端、抽吸流道和扩散出口,射流喷嘴位于扩散出口处,抽吸流道设在...
张大成
李修函
于晓梅
李婷
王颖
王阳元
文献传递
硅的腐蚀深度实时监控方法
本发明公开了一种硅的腐蚀深度实时监控方法,属于微电子机械系统加工工艺技术领域。本发明方法在相同条件下对硅腐蚀片和用于监控硅腐蚀片的腐蚀深度的硅陪片同时进行腐蚀,所述硅陪片包括位于硅陪片表面的腐蚀凹槽,位于腐蚀凹槽底面的腐...
严远
张大成
王玮
杨芳
李婷
王颖
罗葵
田大宇
SOI MEMS加工工艺研究
本文对SOI MEMS进行了研究,利用升华法进行释放,有效地避免了释放过程中的粘附效应,提高了成品率,利用该工艺加工出不同尺寸的谐振器,并对其谐振性能进行了初步测试.
李志宏
张大成
郝一龙
李婷
杨振川
王颖
赵立岩
刘诗美
武国英
关键词:
MEMS
微电子机械系统
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