石建平
- 作品数：112 被引量：89H指数：5
- 供职机构：安徽师范大学更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>
- 提高微细图形光刻分辨力的相移滤波技术研究被引量：4
- 2003年
- 详细研究了提高投影成像光刻分辨力的相移滤波技术的基本理论 ,给出了理论模型 ,进行了模拟计算 .对不同掩模图形设计制作的不同优化滤波器进行光刻对比实验并取得实验结果 .研究表明 ,相移滤波能显著提高部分相干成像系统光刻分辨力和增大焦深 ,同时能提高光能利用率 ,有利于提高光刻生产率 ,是一种有效提高光刻分辨力和焦深的波前工程技术 .
- 陈旭南石建平康西巧罗先刚秦涛
- 关键词：光能利用率
- 一种连续光束线性材料光子晶体倍频器
- 连续光束线性材料光子晶体倍频器，由光波入射口(1)、出射口(4)、金属外壳(2)、内部晶体(3)和基板(5)组成，其特征在于：内部晶体(3)由圆形空气孔光子晶体(6)、空气波导(10)、光栅(7)、圆形介质柱(9)、圆形...
- 石建平陈旭南罗先刚
- 文献传递
- 基于悬链线光栅超表面的片上轨道角动量检测结构及方法
- 本发明公开一种基于悬链线光栅超表面的片上轨道角动量检测方法，包括如下步骤：S1、调制激光波长为633nm的LG涡旋光束，将LG涡旋光束垂直入射至基于悬链线光栅超表面的片上轨道角动量检测结构上；S2、激发的SPPs通过耦合...
- 石建平陈盼盼米佳佳陈聪杜响
- 文献传递
- 节料型原子束发生器
- 节料型原子束发生器主要由坩埚，坩埚内芯，内外加热体的双加热坩埚炉，以及炉底板，隔热套，真空腔体等部分组成。原子束通过坩埚内芯和坩埚二个喷射口喷入真空腔内，由坩埚内芯喷射出的大部分原子因发散角较大，未能通过坩埚第二个喷射口...
- 陈旭南姚汉民李展罗先刚石建平陈献忠陈元培高洪涛秦涛
- 文献传递
- 金属薄膜计算全息片的编码方法
- 本发明揭示了一种金属薄膜计算全息片的编码方法包括以下步骤：1)根据目标图像f(x,y)的截止频率获取采样点数，将目标图像离散化为M*N大小的矩阵数据，并计算离散傅里叶变换谱F(u,v)；2)将全息片分为M*N大小的单元；...
- 石建平赵小童黄万霞吴彬左则文
- 文献传递
- 非线性光学材料电子束辐照下非线性系数的计算方法
- 一种非线性光学材料电子束辐照下非线性系数的计算方法，包含如下步骤：(1)根据实际的高速电子束流辐照条件(射线能量、束流强度和粒子速度)，计算出对应的辐照电场；(2)用量子计算软件Gaussian读入被辐照的非线性材料分子...
- 石建平崔执凤黄圆董可秀
- 文献传递
- 光瞳滤波提高点线图形光刻分辨率研究
- 为进一步提高部分相干投影成像系统的光刻分辨率和焦深,详细研究了光瞳滤波的基本理论,给出数学模型,进行模拟计算,取得计算结果和实验结果.理论分析和实验结果表明,光瞳滤波能显著提高投影成像系统光刻分辨率和焦深,是一种比较有效...
- 陈旭南石建平罗先刚康西巧
- 关键词：光瞳滤波光刻分辨率数学模型模拟计算
- 文献传递
- 用光梯度场控制原子制做纳米点阵研究
- 2002年
- 提出制做纳米点阵的一种新方法。用波长为 4 2 5 .5 nm的光梯度场操纵铬原子可制做出阵列密度达 2 .2 1× 10 7per/ mm2、理论半高宽度 (FWH M)可达 10 nm的纳米点阵。介绍用光梯度场操纵原子制做纳米点阵的原理 ,对原子束的准直进行分析 ,给出原子束在激光梯度场中聚焦的经典模型和量子模型并进行数值模拟。用光操纵原子制做纳米点阵使器件的阵列密度和尖端曲率得到大幅度提高 ,该器件作为发射极可以降低工作电压和提高发射电流。
- 陈献忠姚汉民陈旭南石建平
- 一种亚波长光刻新技术
- 本文打破传统靠缩短光刻波长提高光刻分辨率的思路,介绍一种利用波长比光刻波长小得多的等离子表面波,可穿过尺度很小的纳米孔和缝传播,实现用一般波长光进行亚波长光刻的物理原理与光刻方案,可大幅度提高超微细图形光学光刻分辨率,并...
- 陈旭南石建平陈献忠陈元培秦涛
- 关键词：纳米分辨率
- 文献传递
- 用亚稳态氩原子束制作纳米结构
- 2003年
- 纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分 ,原子光刻技术是纳米图形制作的一项新方法。对直流高压放电产生的亚稳态氩原子束进行准直减小其发散角 ,亚稳态原子在与之传播方向垂直的激光驻波场中发生淬火并沉积在基底上 ,破坏吸附在基底表面的SAM膜 (self_assembledmonolayers) ,结合刻蚀技术可制作出纳米量级的图形。给出该技术制作纳米图形的基本原理、方案、相关理论及模拟结果。
- 陈献忠高洪涛姚汉民陈旭南李展石建平陈元培
- 关键词：纳米结构制作
