肖诗洲
- 作品数：10 被引量：22H指数：2
- 供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>
- 飞秒激光微细加工工艺及微器件加工研究
- 飞秒激光脉冲经强聚焦后，可以在很低的平均输出功率下实现GW/cm<'2>量级的瞬时激发光强，与连续激光和长脉宽的脉冲激光相比，能以极低的脉冲能量获得超强光场，并且激光辐照区淀积的能量难以通过热扩散途径逸出辐照区域。在与物...
- 肖诗洲
- 关键词：飞秒激光微细加工微系统微光机电系统
- 文献传递
- 超衍射相位板设计
- 2007年
- 对超衍射理论进行了研究和分析,通过利用优化算法设计了对应于横向、纵向,特别是三维超衍射的3种二元相位元件;模拟结果表明在飞秒激光微加工系统中,考虑双光子效应,这种相位元件的超衍射性能尤为理想.讨论了光源的光谱范围对相位元件超衍射效果的影响,结果表明当光谱较窄时,超衍射性能几乎与使用单波长光源时一样.所设计的超衍射相位元件可以应用于飞秒激光加工系统.
- 谭又华肖诗洲郭锐王翔黄文浩
- 关键词：激光微加工优化算法压缩比
- 双光子三维微细加工重复率对表面形貌的影响
- 2008年
- 飞秒激光三维微细加工是一种集超快激光、CAD/CAM、光化学材料等技术于一体的新型加工方法,它采用单点扫描累积成型,由点成线,由线成面进行加工.要得到精细的三维微器件,不仅需要高加工分辨率,还须选用合适的扫描步距.我们采用不同重复率工艺参数进行实验,并对得到的表面质量进行了分析,优化了微器件加工的重复率参数.还基于自由基浓度理论和曝光等效性原理,对重复率影响表面质量进行了仿真.加工系统采用飞秒激光光源:脉宽为80fs,中心波长为800nm,重复频率为80MHz,输出功率为400mW;使用数值孔径(NA=1.25)浸油物镜聚焦;三维扫描使用PZT移动台;材料是新型聚丙烯类S-3负性光刻胶.实验中采用步距0.1,0.2,0.3,0.4μm得到不同平面,并测得其表面粗糙度,分析了重复率对微器件表面质量的影响.
- 郭锐肖诗洲刘剑锋黄文浩
- 关键词：双光子激发重复率粗糙度飞秒激光
- 飞秒激光微爆加工铌酸锂晶体
- 2008年
- 利用紧聚焦飞秒激光脉冲入射到铌酸锂(LiNbO3)晶体中引起微爆,可以在晶体内部进行微爆加工.与各向同性的熔融石英不同,因为铌酸锂晶体的各向异性,微爆加工点在垂直晶轴的截面上表现出强烈的各向异性.我们利用狭缝光阑对入射飞秒高斯光束进行整形,改变了光束的能量分布,成功地减小加工点的各向异性,获得尺寸较一致的微爆单元.另外发现由于折射率失配的存在,飞秒脉冲激光聚焦深度不一样时,微爆加工点在沿晶轴方向的截面形状和尺寸都有很大的变化,对此也进行了理论和实验上的分析.
- 肖诗洲郭锐程光华黄文浩
- 关键词：铌酸锂微爆激光微加工
- 原子力显微镜测量双光子成型点的弹性模量被引量：2
- 2006年
- 提出了一种飞秒激光双光子成型点弹性模量的测量及结果分析方法。借助于原子力显微镜,选用无针尖探针对成型点的力学性能进行了测试,建立了椭球-平面接触的弹性力学模型。考虑了成型点剩余部分形变对结果分析的影响,在标定微探针弹性系数和对粘附力进行分析的基础上,提取了力曲线中所包含的力学信息,推算出了成型点的弹性模量,得到了成型点的弹性模量低于宏观材料弹性模量的结论。
- 苏亚辉陈宇航董磊郑志军郭锐肖诗洲黄文浩
- 关键词：原子力显微镜弹性模量力学模型
- 一种微型转子的激光加工和光致旋转被引量：10
- 2006年
- 利用单束强聚焦激光产生的光学力可以驱动微型器件,具有无机械接触和无需导线等优点,为微型机电系统提供了一种新型的驱动方式。在自行研制的飞秒激光微细加工系统中,采用一种新型的丙烯酸酯紫外光固化树脂,通过双光子聚合加工出直径6μm的万字形微转子。利用光镊装置实现了微转子的俘获,并在激光功率50mW时实现了转速为200rpm的光致旋转。微型转子的光致旋转为实现微机械马达提供了一种有效手段。
- 祝安定刘宇翔郭锐肖诗洲黄文浩
- 关键词：激光加工
- 飞秒激光双光子成型点弹性模量测量与分析被引量：1
- 2005年
- 借助原子力显微镜,选用无针尖探针测量了材料为SCR500的成型点的力学性能,由于成型点的形状为椭球,根据测量方法建立了球-平面探针接触的Johnson-Kendall-Roberts弹性接触模型,考虑到成型点剩余部分形变对结果分析的影响,推算出单个成型点的弹性模量。测量和分析表明,双光子固化成型点的弹性模量大约为宏观材料的1/10。
- 苏亚辉郭锐董磊郑志军陈宇航肖诗洲黄文浩
- 关键词：原子力显微镜弹性模量力学模型
- 飞秒激光双光子微细并行加工方法被引量：6
- 2006年
- 飞秒激光三维微细加工技术具有真三维的制作能力和亚微米的加工分辨率等特点,因此获得越来越多的关注,但其串行工艺加工效率低是其技术难点．为了提高加工效率,搭建了一套飞秒激光并行加工平台,利用微透镜阵列实现飞秒激光分束聚焦,初步实现了双光子微细并行加工,在光敏树脂和玻璃上分别并行加工出多个二维结构,加工单点分辨率达到1．25μm．针对实验结果,对实验的加工一致性和分辨率进行分析,提出了进一步提高加工效率和加工一致性的方法．
- 曹伟丽肖诗洲郭锐程光华黄文浩
- 关键词：飞秒激光
- 用有限元法计算飞秒激光双光子成型点弹性模量被引量：2
- 2006年
- 采用有限元法对材料为SCR500的飞秒激光双光子成型点力学性能进行建模及仿真计算,得出了不同弹性模量下成型点与探针之间的作用力．进而利用原子力显微镜接触模式,选用无针尖探针,测量了成型点的力学性能,得出了相同位移载荷下成型点与探针之间的作用力．将测量结果和仿真结果进行比较,推算出成型点的弹性模量．分析结果表明,双光子固化成型点的弹性模量大约为宏观材料弹性模量的1／7．这为进一步研究双光子飞秒激光加工微器件的力学性能提供了基础．
- 苏亚辉郭锐董磊陈宇航肖诗洲黄文浩
- 关键词：有限元弹性模量
- 飞秒激光三维微细加工重复率对表面形貌的影响
- 飞秒激光三维微细加工是一种集超快激光，CAD/CAM，光化学材料等技术于一体的新型加工方法，他采用单点扫描累积成型，由点成线，由线成面进行加工。要得到精细的三维微器件，不仅需要高加工分辨率，还须选用合适的扫描步距。本文采...
- 郭锐肖诗洲邢昊黄文浩夏安东
- 关键词：飞秒激光表面形貌
- 文献传递
