胡晓宇
- 作品数：17 被引量：26H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划电子信息产业发展基金国家电子信息产业发展基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程理学更多>>
- 学位论文题目氮化镓有机化合物气相淀积（GaN MOCVD）设备控制系统研究
- GaN MOCVD设备是高亮度蓝光LED生产线中技术难度最大、价格最为昂贵的设备,其控制对象包括温控仪、流量计、压控仪、伺服电机、真空泵、露点仪、报警器、纯化器以及数量众多的I／O控制与联锁,控制系统十分复杂。目前,国内...
- 胡晓宇
- 关键词：模糊PID
- 文献传递
- MOCVD工艺中源材料用量计算方法被引量：3
- 2007年
- 介绍了MO源和气态源实际用量的计算原理与方法,并在中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的MOCVD设备中应用;提出了提高MO源利用率、降低工艺成本的三项措施。
- 胡晓宇何华云王慧勇
- 关键词：MOCVDMO源利用率反应器
- 基于数值模拟的MOCVD反应器设计与优化被引量：1
- 2008年
- 介绍了垂直喷淋式MOCVD反应器的最新计算机模拟仿真结果,并根据仿真结果对反应器的结构和参数进行了优化设计,应用在自行研制的用于GaN和四元化合物材料生长的设备中。
- 胡晓宇陈海昕
- 关键词：MOCVD反应器数值仿真利用率
- 基于以太网通讯模块的MOCVD设备控制系统设计被引量：2
- 2007年
- 根据MOCVD设备中控制量多、实时性强的要求,选用OMRON公司的10M以太网模块实现上位机与PLC之间的高速数据传输。介绍了以太网模块ETN21的安装与设置方法,给出基于UDP协议的以太网通讯程序。
- 胡晓宇杨友才何华云邹春艳王慧勇李学文
- 关键词：以太网MOCVDFINSPLC
- Modbus TCP通讯协议在高温MOCVD控制系统中的应用
- 2014年
- 介绍了四十八所自主研发的高温MOCVD设备及控制系统组成,并介绍了采用Modbus TCP协议实现旋转控制器与温控仪通讯的编程实例。
- 何华云林伯奇胡晓宇
- 关键词：MODBUSTCP
- MOCVD喷淋头的焊接工艺研究
- 2008年
- 喷淋头是MOCVD反应器中的关键部件,其设计和加工难度大。采用特殊的结构设计和合理工艺方法,配合加工工装和焊接夹具,选择合理的基准面和焊接参数,降低了加工难度。
- 胡晓宇彭志虹何华云王慧勇
- 关键词：MOCVD工艺方法焊接夹具
- 生产型GaN MOCVD(6片机)设备中的压力控制技术被引量：6
- 2006年
- 反应室压力控制稳定是保证工艺重复性和陡峭界面生长的关键之一。分析了影响压力控制精度的主要因素,介绍了采用软件、硬件结合的方法,通过闭环压力控制、差压控制、高精度流量控制和补偿气路设计等技术手段,实现高精度压力稳定性和无扰动气体切换,首次在国产生产型GaN-MOCVD(6片机)设备上生长出高质量的多量子阱蓝光LED外延材料。
- 何华云胡晓宇
- 关键词：GANMOCVD压力控制LED多量子阱
- 基于PLC的步进电机直接控制系统被引量：3
- 2009年
- 提出了一种简单实现PLC直接控制步进电机的方法,设计了直接控制步进电机系统的软硬件。并在反应离子刻蚀机中验证了该方法是可行的,工作可靠。
- 万喜新胡晓宇
- 关键词：PLC步进电机
- 高温MOCVD温度控制系统研究与设计被引量：3
- 2015年
- 温度控制技术是MOCVD控制系统关键技术之一,直接影响材料生长的质量。通过对温度控制系统的研究,分析了MOCVD温度控制特点,介绍了一种用于高温MOCVD设备的温度控制系统,着重讨论了温度串级控制及可变斜率控制方法在高温MOCVD设备中的应用。该系统控制效果良好,能进行稳定、均匀、高效的温度控制,为高温MOCVD的工艺研究奠下了坚实的基础。
- 林伯奇何华云毛朝斌魏唯胡晓宇
- 关键词：温度控制系统串级控制
- 氮化镓有机化合物气相淀积(gan mocvd)设备控制系统研究
- gan mocvd设备是高亮度蓝光led生产线中技术难度最大、价格最为昂贵的设备，其控制对象包括温控仪、流量计、压控仪、伺服电机、真空泵、露点仪、报警器、纯化器以及数量众多的i/o控制与联锁，控制系统十分复杂。目前，国内...
- 胡晓宇
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