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谢会开

作品数：66 被引量：11H指数：2
供职机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 55篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 26篇自动化与计算...
  • 9篇电子电信
  • 7篇机械工程
  • 5篇理学
  • 2篇电气工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 16篇感器
  • 16篇传感
  • 16篇传感器
  • 9篇MEMS
  • 7篇电子设备
  • 7篇电阻
  • 7篇静电
  • 6篇电热
  • 6篇驱动臂
  • 6篇准直
  • 6篇吸合
  • 6篇光纤
  • 5篇压力传感器
  • 5篇压阻
  • 5篇力传感器
  • 5篇镜面
  • 5篇激光
  • 5篇光纤准直器
  • 4篇电热驱动
  • 4篇阵列式

机构

  • 56篇北京理工大学
  • 11篇清华大学
  • 8篇无锡微奥科技...
  • 1篇吉首大学
  • 1篇中国兵器工业...

作者

  • 66篇谢会开
  • 5篇刘理天
  • 4篇李国新
  • 4篇丁英涛
  • 4篇刘浩
  • 4篇霍力
  • 4篇罗斯特
  • 3篇孙曦庆
  • 2篇陈超
  • 2篇李卫
  • 2篇李志坚
  • 1篇许德华
  • 1篇费圭甫
  • 1篇温明生
  • 1篇张文超
  • 1篇钱佩信
  • 1篇赵晖
  • 1篇唐世洪
  • 1篇彭文

传媒

  • 2篇传感器技术
  • 1篇半导体技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇能源研究与利...
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇第三届全国敏...
  • 1篇全国纳米科学...

年份

  • 14篇2024
  • 25篇2023
  • 10篇2022
  • 2篇2021
  • 2篇2020
  • 2篇2018
  • 3篇1995
  • 2篇1994
  • 2篇1993
  • 3篇1992
  • 1篇1991
共 66 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于SOI与SiC的耐高温MEMS器件及其制备方法
本发明公开的一种基于SOI与SiC的耐高温MEMS器件及其制备方法，属于先进制造技术领域。本发明包括SiC、金属引线、金属电极、氧化硅绝缘层、SOI的器件层、SOI的埋氧层、SOI的基底层和空腔。SOI晶圆由三层结构组成...
汤跃谢会开岳晋标杨智文魏振南
基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人及其制作方法
本发明公开了一种基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人及其制作方法，涉及微型机器人技术领域，爬行机器人包括运动足和本体，本体的两侧分别设置有多个运动足，多个运动足的延伸方向相同，各运动足均包括悬臂梁和第一材料，悬臂梁的一端...
汤跃谢会开王晓毅杨智文岳晋标丁厚伯
一种硅基集成微晃动马达被引量：4
1995年
本文介绍一种硅基集成微晃动马达．该微马达的制作工艺非常简单，主要包括四次光刻（共三块版）、两次ＬＰＣＶＤ多晶硅膜淀积和两次ＬＴＯＳｉＯ２膜淀积．微马达转子和定子由厚度为４．２μｍ的多晶硅膜形成，转子与定子之间的空气间隙为２．０—２．５μｍ，转子的半径为４０—５０μｍ．初步测量结果表明，微晃动马达的最低驱动电压为４９Ｖ，最高转速估计可达６００ｒｐｍ。
孙曦庆谢会开刘理天李志坚钱佩信
关键词：硅基
集成磁芯的自卷曲电感
本发明涉及一种集成磁芯的自卷曲电感，用于提高磁芯填充的良率以及器件制造良率，属于MEMS加工制造领域。本发明的目的是为了优化3D自卷曲功率电感制造工艺，提高磁芯填充良率及器件制造速率，且实现器件全流程制造工艺与MEMS工...
杨恒张谢会开曹英超丁英涛严阳阳单崇书
背面引线离子敏感场效应器件(BSC-ISFET)的研制
谢会开
一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备
本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备；其中，所述透射式光开关包括基底，驱动装置以及静电吸合装置；所述基底形成有透光区域；所述驱动装置的一端与所述基底连接，所述驱动装置悬置于所述基底上，所述驱动装置被构...
谢会开肖磊王鹏丁英涛
文献传递
一种用于三维图像自动拼接的方法、计算机设备和介质
本发明公开了一种用于三维图像自动拼接的方法、计算机设备和介质，属于图像处理技术领域，包括获取待拼接的三维图像组，所述三维图像组包括至少一对针对相同目标不同视角的图像，并对其进行标准化处理和图像增强操作；采用SIFT算法提...
石鹏伟陈倩谢会开赵瑞凡
一种离轴激光雷达及其回波接收方法
本申请公开了一种离轴激光雷达及其回波的接收方法，该离轴激光雷达包括激光发射单元和激光接收单元，其中，激光接收单元包括：滤光片，用于对离轴激光雷达的的回波进行过滤，且滤光片为透光波长包含激光发射单元所发射激光波长的窄带滤光...
谢会开王鹏杨文
一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备
本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备；其中，透射式开关包括有框架、遮光元件、驱动装置以及静电吸合装置；框架形成有通道；遮光元件悬置于通道上，遮光元件被构造为用于开启或关闭通道；驱动装置的一端与框架连接...
谢会开王鹏
文献传递
双面光刻简易技术被引量：1
1992年
本文介绍用于半导体器件制造的两种简易双面光刻技术:一种是单版式对准,另一种是双版式对准。文中还详述了双版式双面光刻的全套工艺。实验表明,这两种双面对准方法经济实用,单版式双面对准误差<15μ,双版式双面对准误差<3μ,其光刻图形符合工艺要求。
谢会开李卫许德华
关键词：半导体器件光刻
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