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钟海舰

作品数：63 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划质检公益性行业科研专项项目更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 55篇专利
  • 6篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 6篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 3篇理学
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇文化科学
  • 1篇经济管理
  • 1篇矿业工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 16篇半导体
  • 12篇半导体测试
  • 10篇石墨
  • 10篇石墨烯
  • 8篇探针
  • 6篇原子力显微镜
  • 6篇针尖
  • 6篇光电
  • 6篇光谱
  • 5篇扫描探针显微...
  • 5篇声表面波
  • 5篇显微镜
  • 5篇金属
  • 5篇光学
  • 4篇等离激元
  • 4篇电学
  • 4篇真空阀
  • 4篇真空阀门
  • 4篇振动
  • 4篇迁移率

机构

  • 63篇中国科学院
  • 2篇中国科学院大...
  • 1篇苏州大学
  • 1篇中国科学技术...
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇苏州出入境检...

作者

  • 63篇钟海舰
  • 61篇徐科
  • 59篇刘争晖
  • 54篇徐耿钊
  • 45篇樊英民
  • 19篇黄增立
  • 16篇王建峰
  • 12篇邱永鑫
  • 12篇曾雄辉
  • 12篇周桃飞
  • 4篇杨辉
  • 3篇张竞存
  • 2篇黄凯
  • 2篇弓晓晶
  • 1篇秦华
  • 1篇郑利
  • 1篇黄奎
  • 1篇顾娟红
  • 1篇郑晨
  • 1篇张燚

传媒

  • 2篇电子显微学报
  • 1篇半导体技术
  • 1篇纺织学报
  • 1篇中国粉体技术
  • 1篇储能科学与技...
  • 1篇第十三届全国...
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 5篇2019
  • 7篇2018
  • 9篇2017
  • 3篇2016
  • 8篇2015
  • 2篇2014
  • 11篇2013
  • 12篇2012
  • 3篇2011
  • 1篇2010
共 63 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
半导体材料表面微区光电响应测量装置及测量方法
本发明提供一种半导体材料表面微区光电响应测量装置及测量方法，所述装置包括样品台，用于放置待测样品；原子力显微镜导电探针，与待测样品接触，原子力显微镜导电探针、待测样品及电源形成电学回路；波长连续可调的单色光路系统，使波长...
樊英民刘争晖徐耿钊钟海舰黄增立徐科
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一种杠杆夹持装置
本发明提出一种杠杆夹持装置，包括基板，以及设置于所述基板上的承载机构和夹持机构；所述夹持机构包括支座以及活动固定于所述支座上的杠杆；所述杠杆包括一抵持端，其中，所述杠杆具有所述抵持端与所述承载机构抵持的第一状态、以及所述...
徐耿钊刘争晖钟海舰樊英民徐科
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等离激元窄带吸收薄膜
本发明提供一种等离激元窄带吸收薄膜，包括基底层及设置于所述基底层表面的介质层，还包括设置在所述介质层表面的隔离层及设置在所述隔离层表面的介电颗粒层，所述介电颗粒层由多个介电颗粒按一定周期排列形成。本发明的优点在于：1、相...
黄增立王建峰刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民徐科
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电场增强结构
本发明提供一种电场增强结构，包括基底层及设置在所述基底层表面的介质层，还包括设置在所述介质层表面的隔离层及设置在所述隔离层表面的介电颗粒层，所述介电颗粒层由多个介电颗粒形成，所述介电颗粒的折射率大于所述隔离层的折射率。本...
黄增立王建峰刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民徐科
用于近场光学显微镜的探针及其制备方法
本发明提供一种用于近场光学显微镜的探针，包括悬臂梁基底、设置在所述悬臂梁基底上的半导体针尖，设置在半导体针尖上的两个金属电极，所述两个金属电极相对设置，所述半导体针尖与两个金属电极形成用于将光信号转换为电信号的金属-半导...
徐耿钊樊英民刘争晖钟海舰黄增立徐科
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材料表面局部光谱测量装置及测量方法
本发明提供材料表面局部光谱测量装置及测量方法，属于半导体测试技术领域。装置包括反应腔、光源和光谱仪，光源和光谱仪均与反应腔相连，反应腔又包括第一真空腔、第二真空腔、真空阀门、真空传递装置、聚焦离子束刻蚀装置和光路耦合装置...
徐耿钊刘争晖钟海舰樊英民曾雄辉周桃飞邱永鑫王建峰徐科
导电原子力显微镜的探针以及采用此探针的测量方法
一种导电原子力显微镜的探针，包括悬臂探针基底、针尖和设置在针尖表面的导电薄膜，所述导电薄膜的材料是石墨烯。本发明进一步提供了采用上述探针测量半导体局域导电性质的方法以及测量太赫兹波段无孔针尖近场光学探测的方法。本发明利用...
徐耿钊刘争晖钟海舰樊英民徐科
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多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法
本发明提供多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法，属于半导体测试领域。装置包括反应腔室、原子力显微镜、电子显微镜和样品台，样品台、原子力显微镜、电子显微镜均位于反应腔内；所述减薄待测样品的方法步骤为：将一样品置于反应腔室...
刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民曾雄辉王建峰周桃飞邱永鑫徐科
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材料界面的原位加工测试装置
本发明提供材料界面的原位加工测试装置，属于半导体测试技术领域。测试装置包括一第一真空腔室、一第二真空腔室、一真空管、一光路耦合装置和一传递装置；第一真空腔室与第二真空腔室通过真空管相连；真空管包括一真空阀门，用于控制第一...
徐耿钊刘争晖钟海舰樊英民曾雄辉王建峰周桃飞邱永鑫徐科
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半导体材料表面缺陷测量装置及表面缺陷测量方法
本发明提供半导体材料表面缺陷测量装置及表面缺陷测量方法，属于半导体测试领域。装置包括样品台、原子力显微镜导电探针、电压源、压电激振陶瓷、光学显微镜系统、单色仪、光电探测器和锁相放大器，电压源、压电激振陶瓷均与原子力显微镜...
刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民曾雄辉周桃飞邱永鑫王建峰徐科
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