陈丹儿
- 作品数：11 被引量：7H指数：2
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- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 安培力驱动的S型流道焊料喷射头
- 安培力驱动的S型流道焊料喷射头，涉及一种焊料微熔滴喷射装置。设有基体、喷嘴、加热室、加热圈、导电膜、压力传感器、泄气管和电磁阀；基体设有S型弯折状的流道，流道壁面上镀有导电膜，导电膜作为电极，基体设有电极导线引出孔，导电...
- 王凌云蔡建法郑成陈丹儿何勇王欢
- 文献传递
- 一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器
- 一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器，涉及一种压力传感器。设有上基板和下基板，上基板下表面设有上凹槽，下基板上表面设有下凹槽，上凹槽与下凹槽之间形成空腔；在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层，所述上金属层设有平面...
- 刘益芳陈丹儿郑成蔡建法王欢王凌云
- 文献传递
- 一种压力敏感结构
- 本实用新型涉及一种MEMS压力开关，具体涉及一种压力敏感结构；本实用新型的压力敏感结构，在硅盖板晶圆片上紧邻玻璃浆料密封环的两侧设置内、外参考墙，内、外参考墙之间设置玻璃浆料密封环，封装密封性能良好同时简化了器件结构，且...
- 刘益芳陈丹儿张瑶郑高峰
- 文献传递
- 一种内嵌式高温无线压力传感器
- 一种内嵌式高温无线压力传感器，涉及一种压力传感器。设有压力敏感膜、传感器上盖板、电容上下极板、电感线圈、传感器基座与压力参考腔；传感器上盖板上开有方形槽，构成压力敏感膜，传感器上盖板背面制作有电容上极板；传感器基座上开有...
- 王凌云周如海蔡建法郑成何勇陈丹儿
- 文献传递
- 一种压力敏感结构以及制备该压力敏感结构的方法
- 本发明涉及一种MEMS压力开关，具体涉及一种压力敏感结构以及制备该压力敏感结构的方法；本发明的压力敏感结构，在硅盖板晶圆片上紧邻玻璃浆料密封环的两侧设置内、外参考墙，内、外参考墙之间设置玻璃浆料密封环，封装密封性能良好同...
- 刘益芳陈丹儿张瑶郑高峰
- 文献传递
- 一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器
- 一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器，涉及一种压力传感器。设有上基板和下基板，上基板下表面设有上凹槽，下基板上表面设有下凹槽，上凹槽与下凹槽之间形成空腔；在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层，所述上金属层设有平面...
- 刘益芳陈丹儿郑成蔡建法王欢王凌云
- 压电式喷射点胶控制系统的电路设计被引量：1
- 2013年
- 基于新型压电式点胶头采用的双压电陶瓷的推挽驱动作为胶体喷射的作用机制,设计并搭建了压电式喷射点胶控制系统,完成了硬件与软件模块的组装调试,实现对下压电陶瓷信号的频率、占空比、幅值、上压电陶瓷信号幅值的连续可调,具备人机交互、清洗、喷射点数可调等功能。经测试,系统各参数达到预定指标,频率显示误差:±1.2 Hz;占空比显示误差:±1%;幅值显示误差:±8 mV。在驱动方波电压200 V、频率65 Hz、占空比20%、喷嘴直径250μm、供料压力4 bar、喷射高度3.5 mm的条件下,得到平均直径为1.07 mm左右的喷射胶滴,一致性误差为±2%。
- 陈丹儿王小萍王申梁楚尉李益盼周如海蔡建法王凌云
- 关键词：STC89C52RC压电陶瓷
- 无源MEMS压力开关的关键技术研究
- 面向于小体积、超长时间监测的简单气氛环境,微型、轻质、低功耗的无源MEMS压力开关具备良好的发展前景。为实现MEMS压力开关,必须解决开关结构设计、热鲁棒优化、复合基底封装等一系列关键技术。为此,本文主要研究工作如下:(...
- 陈丹儿
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- 安培力驱动的S型流道焊料喷射头
- 安培力驱动的S型流道焊料喷射头，涉及一种焊料微熔滴喷射装置。设有基体、喷嘴、加热室、加热圈、导电膜、压力传感器、泄气管和电磁阀；基体设有S型弯折状的流道，流道壁面上镀有导电膜，导电膜作为电极，基体设有电极导线引出孔，导电...
- 王凌云蔡建法郑成陈丹儿何勇王欢
- 文献传递
- 基于干湿法活化相结合的硅-硅低温键合被引量：4
- 2013年
- 针对传统的硅片低温键合方法,提出了一种将湿法活化与等离子体干法活化相结合的硅片直接键合方法.通过工艺参数实验得到了在等离子体活化时间为90s、预键合施加负载为1 500N时可以实现较好的键合.之后进行了此法与干法活化和湿法活化的对比实验,结果表明此法在获得较高键合强度的同时可以明显减少采用干法时在退火后空洞的产生,满足后续工艺的使用要求.最后用干湿结合的方法实现了带腔体硅片的键合,弥补了湿法活化在硅片键合上的运用限制.
- 王凌云王申陈丹儿梁楚尉周如海蔡建法杜晓辉
- 关键词：低温键合直接键合
