齐克奇
- 作品数：22 被引量：35H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制被引量：2
- 2012年
- 针对基于剪切干涉原理的光刻投影物镜波像差检测设备中相移测量的需求,设计了一种移相装置.该装置采用了桥式放大机构,获得了较大放大比和相对紧凑的结构.从原理上对桥式放大机构进行了分析和讨论,得到了输入位移与其放大比之间的函数关系,并得到了其关系曲线.经过非线性有限元分析,对该装置的变形、受力和模态特性进行了验证.验证结果满足检测平台移相要求.
- 齐克奇向阳
- 关键词：波像差相移测量有限元
- 一种刚性与柔性导向相结合的角振动台
- 本发明为一种刚性与柔性导向相结合的角振动台，涉及振动测试技术领域，解决了现有技术中的在实际应用过程中角振幅较小的问题，并提高其使用寿命的技术问题。技术特征包括振动台底板，振动台底板通过振动台安装孔与外部框架固定连接；柔性...
- 齐克奇王少鑫王智沙巍方超杨永明
- 文献传递
- 电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究被引量：3
- 2019年
- 惯性传感器被广泛应用于地球重力场反演、等效原理验证等科学实验中,用来测量空间非保守力作用引起的微小加速度扰动以实现航天器的无拖曳控制。目前国内外正在大力开展的空间引力波探测计划中,惯性传感器作为核心测量载荷主要用于屏蔽外界噪声扰动,并通过静电控制和微推进器的测量及补偿实现测试质量在空间敏感轴方向自由漂浮运动。本文以静电悬浮式惯性传感器电容结构为基础,结合系统静电力驱动控制的工作原理,并以实际的加工条件为依据,对电极不对称性这一系统自身的误差来源展开分析,通过对各种不对称情况的系统性能影响比较分析,得到电极不对称性对于系统性能,特别是量程损失的影响显著。在此基础上结合实际加工条件得出将加工线度尺寸误差控制在10μm以内,面积不对称性控制在1%~2%之间的基本要求,以降低其对系统测量范围的限制,进而提高科学目标。
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- 关键词：惯性传感器量程
- 一种基于惠斯通电桥和锁相放大器的微K量级温度测量装置
- 一种基于惠斯通电桥和锁相放大器的微K量级温度测量装置涉及高精度信号测量领域，该装置包括：惠斯通桥路、锁相放大模块和模数转换模块；所述惠斯通桥路惠斯通电桥包括三个参考电阻、一个测温电阻和两个射随器；第一射随器的一端与所述测...
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- 文献传递
- 光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制被引量：8
- 2014年
- 根据用于光刻物镜波像差检测的剪切干涉原理,为了满足可见光原理样机对球面波的需求,设计了一种具有大行程、高精度、可自锁等优点的球面波发生装置。该球面波是通过针孔衍射的方法产生的。装置在结构上采用了二自由度串联柔性机构,并通过一种特殊的压电驱动器进行驱动。通过有限元方法对球面波发生装置在受力状态下的变形情况进行了仿真,分析结果确认了驱动器的驱动力满足要求,并对结构进行了模态分析。经实验测量,得出了该球面波发生装置的位移分辨率,且其输出位移也被证实具有较为良好的线性度。
- 齐克奇向阳
- 关键词：光刻物镜针孔有限元方法
- 一种光刻机投影物镜微调平机构
- 一种光刻机投影物镜微调平机构涉及投影光刻技术领域，该机构主要由安装基板、三个支撑调整杠杆机构、安装件和固定件构成，每个支撑调整杠杆机构由杠杆安装底座、调节杠杆、调整螺钉、轴、轴端盖、预紧弹簧和调整螺母等构成；支撑调整杠杆...
- 向阳齐克奇
- 一种并联二自由度柔性精密导向机构
- 本发明一种并联二自由度柔性精密导向机构，属于高精度定位技术领域，解决了现有技术只能在一个方向导向，无法应用于空间运动的技术问题；本发明包括定平台、过渡板、四根刚性杆Ⅰ、柔性铰链Ⅰ、动平台、四根刚性杆Ⅱ和柔性铰链Ⅱ；每根刚...
- 齐克奇向阳
- 一种六自由度正交惯性传感器
- 本发明公开了一种六自由度正交惯性传感器，属于空间精密测量技术领域。为克服传统惯性传感器精度低、结构复杂的技术问题，本发明包括：电极笼组件、置于所述电极笼组件内的测试质量；测试质量可通过静电力驱动方式相对于电极笼框架的中心...
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- 文献传递
- 并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量被引量：3
- 2017年
- 针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题,本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自由度微位移平台。该平台采用了4个对称布置的嵌套式平行导向机构,使得平台具有刚度对称和自解耦等特点。本文还对嵌套式平行导向机构的工作原理进行了分析。通过有限元方法仿真分析了微位移平台在不同受力状态下的变形情况,并对其进行了模态分析。经实验测量,证实了该平台具有自解耦功能,并得出了微位移平台的实际行程,且其输出位移也被证实具有较为良好的线性度。
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- 关键词：并联式有限元方法
- 光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制被引量：2
- 2012年
- 针对光刻物镜波像差检测平台上的针孔定位的需求,设计了一种并联式二维微定位机构,并对该装置的结构特点进行了讨论。该结构具有良好的自解耦功能和较低温度敏感度。并通过有限元方法对针孔定位装置在受力状态下的变形情况进行了模拟,并进行了模态分析,证实了该针孔定位装置具有的特性能够很好地满足光刻物镜波像差检测的针孔定位需求。
- 齐克奇
- 关键词：有限元方法
